1.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的照明设备，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个偏振照明偏转元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个照明偏转元件经配置以沿着第一照明方向引导所述初级照明光束的具有第一偏振的第一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个照明偏转元件进一步经配置以沿着第二照明方向引导所述初级光束的具有正交于所述第一偏振的第二偏振的第二部分以便形成第二检验光束，所述第二照明方向不同于所述第一照明方向；及
物镜，其经配置以将具有所述第一偏振的所述第一检验光束聚焦到衬底的第一区域上，所述物镜进一步经配置以将具有所述第二偏振的所述第二检验光束聚焦到所述衬底的第二区域上，所述第一区域与所述第二区域空间分离。
2.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述第一偏振包括：
s偏振及p偏振中的至少一者。
3.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述第二偏振包括：
s偏振及p偏振中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述一或多个偏振照明偏转元件包括：
一或多个双折射光学元件。
5.根据权利要求4所述的照明设备，其中所述一或多个双折射光学元件包括：
单渥拉斯顿棱镜、双渥拉斯顿棱镜、罗雄棱镜及塞拿蒙棱镜中的至少一者。
6.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述一或多个照明偏转元件经配置以沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的具有第一偏振的一部分以便形成第一检验光束，所述第一照明方向与所述初级光束方向基本上共线。
7.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述一或多个照明偏转元件经配置以使所述初级照明光束的具有第一偏振的一部分沿着第一照明方向偏转以便形成第一检验光束，所述第一照明方向不同于所述初级照明方向。
8.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
9.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
10.根据权利要求1所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
11.根据权利要求1所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
12.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的照明设备，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个角度选择元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个角度选择元件经配置以沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的具有高于选定值的数值孔径值的一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个角度选择元件进一步经配置以使所述初级照明光束的具有低于所述选定值的数值孔径值的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转以便形成第二检验光束；及
物镜，其经配置以将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上，所述物镜进一步经配置以将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。
13.根据权利要求12所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件包括：
一或多个楔形板。
14.根据权利要求12所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
15.根据权利要求12所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
16.根据权利要求12所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
17.根据权利要求12所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
18.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的照明设备，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个角度选择元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个角度选择元件经配置以沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个角度选择元件进一步经配置以使所述初级照明光束的一部分具有不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转以便形成第二检验光束；及
物镜，其经配置以将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上，所述物镜进一步经配置以将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。
19.根据权利要求18所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件包括：
一或多个楔形板。
20.根据权利要求18所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
21.根据权利要求18所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
22.根据权利要求18所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
23.根据权利要求18所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
24.一种用于检验衬底的用不同偏振的光照明的两个或两个以上空间分离的区域的检验系统，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个偏振照明偏转元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个照明偏转元件经配置以沿着第一照明方向引导所述初级照明光束的具有第一偏振的第一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个照明偏转元件进一步经配置以沿着第二照明方向引导所述初级光束的具有正交于所述第一偏振的第二偏振的第二部分以便形成第二检验光束，所述第二照明方向不同于所述第一照明方向；及
物镜，其经配置以将具有所述第一偏振的所述第一检验光束聚焦到衬底的第一区域上，所述物镜进一步经配置以将具有所述第二偏振的所述第二检验光束聚焦到所述衬底的第二区域上，所述第一区域与所述第二区域空间分离；
第一图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第一区域反射的照明；及
第二图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第二区域反射的照明，所述第一图像传感器及所述第二图像传感器定位于所述检验系统的共用图像平面中。
25.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述第一偏振包括：
s偏振及p偏振中的至少一者。
26.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述第二偏振包括：
s偏振及p偏振中的至少一者。
27.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述一或多个偏振照明偏转元件包括：
一或多个双折射光学元件。
28.根据权利要求27所述的照明设备，其中所述一或多个双折射光学元件包括：
单渥拉斯顿棱镜、双渥拉斯顿棱镜、罗雄棱镜及塞拿蒙棱镜中的至少一者。
29.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
30.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
31.根据权利要求24所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
32.根据权利要求24所述的照明设备，其进一步包括：
一组收集光学器件，其经配置以收集从所述第一区域及所述第二区域反射的照明且将从所述第一区域及所述第二区域反射的所述经收集照明引导到所述第一图像传感器及所述第二图像传感器。
33.根据权利要求24所述的照明设备，其进一步包括：
光束导引光学器件，其经配置以将所述第一检验光束及所述第二检验光束引导到所述衬底上。
34.根据权利要求24所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
35.一种用于用不同数值孔径的光检验衬底的两个或两个以上空间分离的区域的检验系统，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个角度选择元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个角度选择元件经配置以沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的具有高于选定值的数值孔径值的一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个角度选择元件进一步经配置以使所述初级照明光束的具有低于所述选定值的数值孔径值的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转以便形成第二检验光束；
物镜，其经配置以将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上，所述物镜进一步经配置以将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上；
第一图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第一区域反射的照明；及
第二图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第二区域反射的照明，所述第一图像传感器及所述第二图像传感器定位于所述检验系统的共用图像平面中。
36.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件包括：
一或多个楔形板。
37.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
38.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
39.根据权利要求35所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
40.根据权利要求35所述的照明设备，其进一步包括：
一组收集光学器件，其经配置以收集从所述第一区域及所述第二区域反射的照明且将从所述第一区域及所述第二区域反射的所述经收集照明引导到所述第一图像传感器及所述第二图像传感器。
41.根据权利要求35所述的照明设备，其进一步包括：
光束导引光学器件，其经配置以将所述第一检验光束及所述第二检验光束引导到所述衬底上。
42.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
43.根据权利要求35所述的检验系统，其进一步包括：
光圈，其定位于收集光瞳处或附近，所述光圈经配置以阻挡来自所有场点的具有选定数值孔径值范围的光。
44.根据权利要求43所述的光圈，其中所述选定数值孔径值范围与由角度偏转元件传输的所述检验光束的所述部分的所述数值孔径值共轭。
45.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件及光圈经配置以使一或多个检验区域以明场模式成像。
46.根据权利要求35所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件及光圈经配置以使一或多个检验区域以暗场模式成像。
47.一种用于检验衬底的两个或两个以上空间分离的区域的检验系统，其包括：
照明源，其用于产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
一或多个角度选择元件，其定位于所述初级照明光束内，所述一或多个角度选择元件经配置以沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的一部分以便形成第一检验光束，所述一或多个角度选择元件进一步经配置以使所述初级照明光束的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转以便形成第二检验光束；
物镜，其经配置以将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上，所述物镜进一步经配置以将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上；
第一图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第一区域反射的照明；及
第二图像传感器，其经配置以收集从所述衬底的所述第二区域反射的照明，所述第一图像传感器及所述第二图像传感器定位于所述检验系统的共用图像平面中。
48.根据权利要求47所述的照明设备，其中所述一或多个角度选择元件包括：
一或多个楔形板。
49.根据权利要求47所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个宽带源。
50.根据权利要求47所述的照明设备，其中所述一或多个照明源包括：
一或多个窄带源。
51.根据权利要求47所述的照明设备，其进一步包括：
准直透镜，其经配置以对所述初级照明光束的照明进行准直。
52.根据权利要求47所述的照明设备，其进一步包括：
一组收集光学器件，其经配置以收集从所述第一区域及所述第二区域反射的照明且将从所述第一区域及所述第二区域反射的所述经收集照明引导到所述第一图像传感器及所述第二图像传感器。
53.根据权利要求47所述的照明设备，其进一步包括：
光束导引光学器件，其经配置以将所述第一检验光束及所述第二检验光束引导到所述衬底上。
54.根据权利要求47所述的照明设备，其中所述衬底包括：
一或多个半导体晶片。
55.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的方法，其包括：
产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
利用一或多个偏振照明偏转元件沿着第一照明方向引导所述初级照明光束的具有第一偏振的第一部分以便形成第一检验光束；
利用所述一或多个偏振照明偏转元件沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向引导所述初级照明光束的具有正交于所述第一偏振的第二偏振的第二部分以便形成第二检验光束；
将具有第一偏振的所述第一检验光束聚焦到所述衬底的第一检验区域上；及
将具有第二偏振的所述第二检验光束聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。
56.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的方法，其包括：
产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的具有高于选定值的数值孔径值的一部分；
利用一或多个角度选择元件使所述初级照明光束的具有低于所述选定值的数值孔径值的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转；
将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上；及
将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。
57.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的方法，其包括：
产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的一部分；
利用一或多个角度选择元件使所述初级照明光束的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转；
将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上；及
将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上。
58.一种用于在衬底上产生两个或两个以上空间分离的检验区域的方法，其包括：
产生沿着初级照明方向引导的初级照明光束；
沿着第一照明方向传输所述初级照明光束的具有高于选定值的数值孔径值的一部分；
利用一或多个角度选择元件使所述初级照明光束的具有低于所述选定值的数值孔径值的一部分沿着不同于所述第一照明方向的第二照明方向偏转；
将所述初级照明光束的所述经传输部分聚焦到所述衬底的第一检验区域上；
将所述初级照明光束的所述经偏转部分聚焦到所述衬底的与所述第一检验区域空间分离的第二检验区域上；及
将从所述第一及第二检验区域反射的照明引导穿过定位于收集光瞳内的光圈，所述光圈经配置以阻挡具有选定数值孔径值范围的光以形成明场及暗场模式图像。