气体清洗用过滤器的制作方法

本发明涉及用在收纳容器上的气体清洗用过滤器，该收纳容器在对由半导体晶片等构成的基板进行收纳、保管、搬运、运输等时使用。

背景技术：

作为用于收纳由半导体晶片构成的基板并将其在工厂内的工序中搬运的收纳容器，从以往就已知具有容器主体和盖体的收纳容器。

容器主体具有在一个端部形成有容器主体开口部且另一端部被封闭的筒状的壁部。盖体能够相对于容器主体开口部装拆，且能够封闭容器主体开口部。通过由盖体封闭该容器主体，而在收纳容器内形成有收纳基板等的收纳空间。收纳空间由容器主体的壁部和盖体的内表面包围而形成，能够收纳多个基板。

在为盖体的部分且是当封闭容器主体开口部时与收纳空间相对的部分上设有前保持器。前保持器当由盖体封闭容器主体开口部时，能够支承多个基板的缘部。此外，与前保持器成对地，在壁部上设有里侧基板支承部。里侧基板支承部能够支承多个基板的缘部。里侧基板支承部在由盖体封闭容器主体开口部时，与前保持器联动地支承多个基板，由此在使相邻的基板彼此以规定间隔分离而并列的状态下，保持多个基板(参照专利文献1～2)。

此外，在容器主体上设有过滤器。根据需要在过滤器内部设有止回阀。从过滤器穿通并从收纳容器的外部向收纳空间，由将氮气等非活性气体或水分去除(1％以下)的干燥空气(以下称为清洗气体)进行气体清洗。止回阀防止基于气体清洗而填充至收纳空间的气体泄漏(参照专利文献3～4)。

在为了将上述过滤器安装至容器主体而设的贯穿孔(连通开口)中，安装有上述过滤器。此时，为了将容器主体和过滤器设为密封构造，过滤器的壳体(护环)是由弹性材料形成的(专利文献5)。此外，为了进行气体清洗，需要使气体清洗装置的清洗端口与过滤器紧密接触。由于在该情况下过滤器的壳体也是由弹性材料形成的，所以在清洗端口被按压至过滤器上时，供清洗端口抵接的部分的过滤器壳体会弹性变形，能够使清洗端口的前端与过滤器紧密接触。由此，能够有效地由清洗气体对收纳容器的收纳空间进行气体清洗。在先技术文献

专利文献1：日本专利第4204302号公报

专利文献2：日本专利第4201583号公报

专利文献3：日本专利第5241607号公报

专利文献4：日本特开第2007-533166号公报

专利文献5：日本专利第5213440号公报

如前述那样，作为过滤器壳体的材质而使用弹性材料，由此能够将收纳容器和过滤器容易地密封，还能够确保过滤器与清洗端口之间的紧密性，能够进行有效的气体清洗。但是，过滤器壳体的供清洗气体通过的通气空间也由弹性材料形成，清洗气体会接触到该弹性材料，并向收纳空间流动。弹性材料是吸湿、吸水率高且逸气多的材料。

近年来，要求半导体工序的细微化和半导体芯片的成品率的提高。由此，对收纳半导体晶片的收纳容器也要求了尽可能地降低来自构成收纳容器的材质的有机气体或氯气等的逸气、和容器内部的湿度。

由此，存在如下问题，即虽然进行利用清洗气体的气体清洗，但是清洗气体会从由弹性材料成形的过滤器壳体的通气空间穿过，由此弹性材料中所含的水分和对半导体晶片不利的逸气会含在清洗气体中，从而不能将收纳容器的内部的环境维持于清洁的状态。由于该问题，存在半导体芯片的成品率下降的问题。

虽然若通过低逸气、低吸湿、低吸水性的树脂来构成过滤器壳体，则能够解决上述的问题，但是在该情况下，由于弹性降低，从而与清洗端口之间的紧密性会降低，存在颗粒或不希望的气体、水分会从清洗端口与过滤器的间隙进入至收纳容器内部的问题。或者，存在由于过滤器壳体与清洗端口之间的紧密性的下降，而导致清洗气体从清洗端口的前端部泄漏，气体清洗的效率下降的问题点。由此，在以往，具有无法同时解决上述问题点的课题。

技术实现要素：

本发明的目的在于，提供一种气体清洗用过滤器，其能够通过清洗气体有效地置换收纳容器的收纳空间内的气体，且能够维持收纳容器内部的清洁度。

本发明提供一种气体清洗用过滤器，其安装在收纳容器的连通开口上，该收纳容器通过容器主体和盖体而在内部形成有收纳空间，其中，所述容器主体在一个端部具有容器主体开口部，所述盖体能够相对于所述容器主体开口部装拆且能够封闭所述容器主体开口部，所述连通开口形成在所述容器主体或者所述盖体的至少任意一个上且能够使所述收纳容器的外部空间与所述收纳空间连通，所述气体清洗用过滤器的特征在于，具有：过滤器壳体，其具有能够使所述收纳容器的外部空间的气体与所述收纳空间的气体通气的通气空间；和衬垫，其形成在所述过滤器壳体的所述收纳空间的外侧且以将形成所述通气空间的一部分的喷嘴部的外周面覆盖的方式形成，所述过滤器壳体由热塑性树脂形成，所述衬垫由弹性体形成。

此外，优选为，气体清洗用过滤器前端部由在所述喷嘴部的前端部形成在所述收纳空间的外侧方向上的喷嘴前端部、和在所述衬垫的前端部形成在所述收纳空间的外侧方向上的衬垫外侧前端部构成，在该气体清洗用过滤器前端部中，当用于清洗所述收纳容器的内部气体的气体清洗装置的清洗端口与所述气体清洗用过滤器前端部抵接，执行气体清洗时，所述喷嘴前端部的位置与抵接在所述气体清洗用过滤器前端部上的所述衬垫外侧前端部的位置相同，或者向所述收纳空间的外侧方向突出。

而且，优选为，在所述清洗端口与所述气体清洗用过滤器前端部抵接之前，所述衬垫外侧前端部的位置与所述喷嘴前端部的位置相同，或者向所述收纳空间的外侧方向突出。

或者，优选为，在所述清洗端口与所述气体清洗用过滤器前端部抵接之前，所述喷嘴前端部的位置与所述衬垫外侧前端部的位置相比向所述收纳空间的外侧方向突出。

而且，优选为，所述衬垫为单体的状态下的所述衬垫外侧前端部的内径的形状比所述喷嘴前端部的外径小。

并且，优选为，在所述过滤器壳体的所述通气空间内，具有将气体的流通方向限制为固定方向的止回阀机构。

发明效果

根据本发明，能够提供一种气体清洗用过滤器，其能够有效地进行基于清洗气体的收纳容器的收纳空间内的气体的置换，且能够维持收纳容器内部的清洁度。由此，由于能够延长半导体晶片暴露在非活性气体或干燥空气中的比例，所以能够提高基于半导体晶片所制造的半导体芯片的成品率。而且，能够在短时间内有效地进行基于清洗气体的气体置换，因此使工序缩短，也有助于降低成本。

附图说明

图1是表示在收纳容器1上安装有本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80，且收纳有基板w的状态的分解立体图。

图2是表示在收纳容器1上安装有本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的状态的下方立体图。

图3a是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的上方立体图。

图3b是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的下方立体图。

图4是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的分解立体图。

图5是表示将本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80安装于收纳容器1上的部分的剖视图。

图6是将图5中的气体清洗用过滤器前端部406的附近放大的剖视图。

图7a是将本发明的第2实施方式的气体清洗用过滤器80a的气体清洗用过滤器前端部406a的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接之前的状态的图。

图7b是将本发明的第2实施方式的气体清洗用过滤器80a的气体清洗用过滤器前端部406a的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接后的状态的图。

图8a是将本发明的第3实施方式的气体清洗用过滤器80b的气体清洗用过滤器前端部406b的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800b抵接之前的状态的图。

图8b是将本发明的第3实施方式的气体清洗用过滤器80b的气体清洗用过滤器前端部406b的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800b抵接后的状态的图。

图9是表示本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c的分解立体图。

图10是本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c的供气用的气体清洗用过滤器的剖视图。

图11是本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c的排气用的气体清洗用过滤器的剖视图。

具体实施方式

(第1实施方式)

以下，参照附图说明本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80。图1是表示在收纳容器1上安装有本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80，且收纳有基板w的状态的分解立体图。图2是表示在收纳容器1上安装有本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的状态的下方立体图。图3a是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的上方立体图。图3b是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的下方立体图。图4是表示本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80的分解立体图。图5是表示将本发明的第1实施方式的气体清洗用过滤器80安装于收纳容器1上的部分的剖视图。图6是将图5中的气体清洗用过滤器前端部406的附近放大的剖视图。

在此，为了方便说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向，将其相反的方向定义为后方向，将这双方合并定义为前后方向。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向，将其相反的方向定义为下方向，将这双方合并定义为上下方向。此外，将从后述的第2侧壁26朝向第1侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向，将其相反的方向定义为右方向，将这双方合并定义为左右方向。

此外，收纳在收纳容器1中的基板w(参照图1)为圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、水晶晶片等，是用于工业的薄片。本实施方式的基板w为直径300mm～450mm的硅晶片。

如图1所示，收纳容器1收纳由上述那样的硅晶片构成的基板w而用作工序内容器或用作出货容器，其中，工序内容器在工厂内的工序中搬运基板，出货容器用于通过陆运方式、空运方式、海运方式等的运输方式来运输基板，且收纳容器1具有容器主体2、盖体3、作为侧方基板支承部的基板支承板状部5、里侧基板支承部(未图示)、和作为盖体侧基板支承部的前保持器(未图示)。

容器主体2具有在一个端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有收纳空间27。收纳空间27由壁部20包围而形成。在为壁部20的部分且是形成收纳空间27的部分上，配置有基板支承板状部5。如图1所示，在收纳空间27内能够收纳多个基板w。

基板支承板状部5以在收纳空间27内成对的方式设在壁部20上。基板支承板状部5在容器主体开口部21没有由盖体3封闭时，与多个基板w的缘部抵接，由此能够在使相邻的基板w彼此以规定间隔分离而并列的状态下，支承多个基板w的缘部。在基板支承板状部5的里侧，设有里侧基板支承部(未图示)。

里侧基板支承部(未图示)以在收纳空间27内与前保持器(未图示)成对的方式设在壁部20上。里侧基板支承部(未图示)在容器主体开口部21由盖体3封闭时，与多个基板w的缘部抵接，由此能够支承多个基板w的缘部的后部。

盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部31(图1等)装拆，并能够封闭容器主体开口部21。前保持器(未图示)设在如下部分上，该部分为盖体3的部分且是在容器主体开口部21由盖体3封闭时与收纳空间27相对的部分。前保持器(未图示)以在收纳空间27的内部与里侧基板支承部(未图示)成对的方式配置。

前保持器(未图示)在容器主体开口部21由盖体3封闭时，与多个基板w的缘部抵接，由此能够支承多个基板w的缘部的前部。前保持器(未图示)在容器主体开口部21由盖体3封闭时，与里侧基板支承部(未图示)协作来支承多个基板w，由此能够在使相邻的基板w彼此以规定间隔分离而并列的状态下保持多个基板w。

收纳容器1由塑料等的树脂构成，在无特别说明的情况下，作为该材料的树脂例如可以列举出：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这些热塑性树脂、和这些树脂的合金等。对于这些成形材料的树脂，在付与导电性的情况下，可以选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。此外，为了提高刚性也可以添加玻璃纤维或炭纤维等。

以下具体地说明各部分。

如图1等所示，容器主体2的壁部20具有里侧壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25和第2侧壁26。里侧壁22、上壁23、下壁24、第1侧壁25、以及第2侧壁26由上述的材料构成，且一体成形地构成。

第1侧壁25与第2侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第1侧壁25的后端、以及第2侧壁26的后端全部与里侧壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1侧壁25的前端、以及第2侧壁26的前端构成开口周缘部31，该开口周缘部31具有与里侧壁22相对的位置关系，且形成大致长方形状的容器主体开口部21。

开口周缘部31设在容器主体2的一个端部，里侧壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面、即里侧壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第1侧壁25的内表面、以及第2侧壁26的内表面形成由这些面包围的收纳空间27。形成在开口周缘部31上的容器主体开口部21与由壁部20包围而在容器主体2的内部形成的收纳空间27连通。在收纳空间27中最多能够收纳25张基板w。

如图1所示，在为上壁23以及下壁24的部分且是开口周缘部31的附近的部分上，形成有向着收纳空间27的外侧凹陷的闩卡合凹部40a、40b、41a、41b。闩卡合凹部40a、40b、41a、41b在上壁23以及下壁24的左右两端部附近各形成1个，共计4个。

如图1所示，在上壁23的外表面，与上壁23一体成形地设有肋28。该肋28是为了提高容器主体的刚性而设的。

此外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘29。顶部凸缘29是在amhs(自动晶片搬运系统)、pgv(晶片基板搬运台车)等将收纳容器1吊下时，在收纳容器1中成为被钩挂而被吊下的部分的部件。

如图1以及图2所示，在下壁24的四角，作为通气路而形成有作为连通开口的贯穿孔45。在本第一实施方式中，下壁24的前方的2处贯穿孔45是用于使容器内部的气体排出的排气孔，后方的2处贯穿孔45是用于向容器内部供给气体的供气孔。在供气孔与排气孔的贯穿孔45中，分别配置有气体清洗用过滤器80。

如图3a、图3b、图4、图5所示，气体清洗用过滤器80具有作为过滤器壳体90的第1壳体100和第2壳体200、过滤体150、衬垫300。第1壳体100由上部第1壳体101和下部第1壳体102构成，在上部第1壳体101与下部第1壳体102之间夹持有过滤体150。上部第1壳体101与下部第1壳体102通过超声波熔敷固定。

如图1或图2所示，在本实施方式中，气体清洗用过滤器80以使上部第1壳体101成为收纳空间27侧的方式配置于容器主体2的下壁24。气体清洗用过滤器80也可以安装在下壁24以外的壁部、盖体上。

在气体清洗用过滤器80的配置于收纳空间27侧的上部第1壳体101上，形成有收纳空间侧开口120，在气体清洗用过滤器80的收纳容器1的外部空间侧，形成有收纳空间外侧开口121。这些开口经由气体清洗用过滤器80的内部的通气空间110而使收纳容器1的内部与外部空间连通。

通过上述构成，气体清洗用过滤器80能够使气体从过滤体150穿过而在从容器主体2的外部空间向收纳空间27的方向(以下定义为“收纳空间的内侧方向”)上、或者在从收纳空间27向容器主体2的外部空间的方向(以下定义为“收纳空间的外侧方向”)上通过。此时，过滤体150会阻止气体中所含的颗粒等通过。

如图5所示，在上部第1壳体101上，设有与收纳空间侧开口120连通的上部通气空间111。在下部第1壳体102上形成有喷嘴部103，该喷嘴部103向着收纳空间的外侧方向(图5中为下方向)突出形成且具有大致环状筒形状。在喷嘴部103的收纳空间的外侧方向的前端部上，形成有喷嘴前端部106。而且，在下部第1壳体102上，形成有与上部通气空间111连接的下部通气空间112，且与形成在喷嘴部103的内部的喷嘴部通气空间113连接。由此，通过上部通气空间111、下部通气空间112、喷嘴部通气空间113，形成了使气体清洗用过滤器80的收纳空间侧开口120与收纳空间外侧开口121连通的通气空间110。

而且，在下部第1壳体102上，以在喷嘴部103的半径方向外侧以环状覆盖的方式形成有螺纹部104。在喷嘴部103与螺纹部104之间，形成有用于保持后述的衬垫300的空间，在喷嘴部103与螺纹部104之间，设有供衬垫在收纳空间的内侧方向(图5中的上方向)上抵接的衬垫抵接部105。

以将下部第1壳体102的喷嘴部103的外周面覆盖的方式设有大致圆筒状的弹性体的衬垫300。在该大致圆筒状的衬垫300的收纳空间的外侧方向上形成有衬垫外侧前端部306，在收纳空间的内侧方向上形成有与衬垫抵接部105抵接的衬垫内侧前端部305。为了使衬垫300通过第2壳体200而与第1壳体100固定，而与衬垫外侧前端部306相比在收纳空间的内侧方向上形成有作为层差的衬垫肩部304。此外，在衬垫外侧前端部306上，形成有与下部第1壳体102的喷嘴部103的喷嘴前端部106的外周抵接的衬垫内径凸部310。衬垫内径凸部310将衬垫300与喷嘴部103密封。为此，衬垫300的衬垫内径凸部310的内径(衬垫外侧前端部306的内径)比喷嘴前端部106的外径形成得小。由此，衬垫300利用其弹性以使衬垫外侧前端部306向喷嘴前端部106压入的方式组装。

喷嘴前端部106与衬垫外侧前端部306构成气体清洗用过滤器前端部406，与气体清洗装置的清洗端口800抵接，执行气体清洗。在本第1实施方式中，在气体清洗用过滤器前端部406与清洗端口800抵接之前，喷嘴前端部106与衬垫外侧前端部306的位置相同，且将喷嘴前端部106与衬垫外侧前端部306的收纳空间的外侧方向的表面设为相同高度。

在第2壳体200的内径面上，设有与下部第1壳体102的螺纹部104卡合的螺纹。通过将第2壳体200螺入至螺纹部104，而由第2壳体200的第2壳体按压部210来按压衬垫300的衬垫肩部304，并将衬垫300的衬垫内侧前端部305向下部第1壳体102的衬垫抵接部105按压，由此衬垫300固定在第1壳体100上。此时构成为，衬垫肩部304的第2壳体200的第2壳体按压部210所按压的方向，成为第2壳体200向第1壳体100螺入时的移动方向，螺入第2壳体200时衬垫300上所施加的力(第2壳体固定力)由下部第1壳体102的衬垫抵接部105支承。由此，即使将衬垫300固定在第1壳体100上，也能够确保衬垫外侧前端部306与喷嘴前端部106的气密性。

而且，第2壳体200不仅能够将衬垫300固定在第1壳体100上，也能够用于将气体清洗用过滤器80固定在下壁24上。在将气体清洗用过滤器80固定在下壁24上时，在气体清洗用过滤器80与下壁24的贯穿孔45之间使用o型圈114来密封。

对于第1壳体100、第2壳体200，使用了逸气产生量少、吸水性、吸湿性少的环烯烃聚合物。除了环烯烃聚合物以外，也可以使用在规定的吸水率、吸湿率以下、规定的逸气产生量以下的热塑性树脂，例如能够使用聚碳酸酯和聚醚酰亚胺、聚醚醚酮等树脂。此外，对于衬垫300，作为弹性部件而使用了聚烯烃弹性体。除了聚烯烃弹性体以外，还能够使用聚对苯二甲酸丁二醇酯和聚乙烯等树脂或聚乙烯弹性体等弹性体、硅橡胶或氟橡胶等橡胶材料。

在上述这样的气体清洗用过滤器80中，基于气体清洗装置进行的气体的置换(气体清洗)如以下所述地进行。

当收纳容器1在工厂内的工序中作为工序内容器被使用时，在容器主体2中，下壁24位于下部且上壁23位于上部。使用了该收纳容器1的气体清洗用过滤器80的气体清洗的方法具有由盖体3封闭容器主体2的容器主体开口部21来进行的情况、和在将盖体3从收纳容器1上拆除的状态下进行的情况这两种。以下进行由盖体3封闭了容器主体2的状态下的说明。

容器主体2在其容器主体开口部由盖体3封闭的状态下，在设在容器主体2的下壁24的贯穿孔45中的气体清洗用过滤器80的气体清洗用过滤器前端部406上，抵接有气体清洗装置的清洗端口800的清洗端口前端部802。由于在第1壳体100的喷嘴部103的开口周边部上设有作为弹性体的衬垫300，所以在清洗端口800抵接了时能够确实地实现清洗端口前端部802与气体清洗用过滤器前端部406之间的气密性(密封)。之后，清洗气体由气体清洗装置供给，从清洗气体流通路801供给的清洗气体从作为通气空间110的喷嘴部通气空间113、下部通气空间112、上部通气空间111通过而供给至收纳容器1的收纳空间27。此时，清洗气体会从过滤体150通过，由此不需要的颗粒不会进入至收纳空间27内。收纳容器1的内部的气体从其他的气体清洗用过滤器80向收纳容器1的外部排出，实施气体清洗。

在进行上述的气体清洗时，清洗气体流通路801的直径比气体清洗用过滤器80的收纳空间外侧开口121小，清洗端口的外形比喷嘴前端部106的外形大，因此从清洗气体流通路801排放的清洗气体会全部供给至喷嘴部通气空间113，能够使清洗气体完全不与作为弹性体的衬垫300接触地进行气体清洗。

根据上述构成的第1实施方式的气体清洗用过滤器80，能够获得以下这样的效果。

为了能够确实地取得清洗端口800与气体清洗用过滤器80抵接时的气密性，弹性体的衬垫300是有用的。但是，由于衬垫300为弹性体，所以当清洗气体接触到该弹性体的衬垫300时，会导致衬垫300所含的水分和会对收纳物即基板造成不良影响的物质包含在清洗气体中，且其会被排放至收纳容器1的收纳空间27。由此，有可能阻碍气体清洗之目的、即降低收纳容器1的收纳空间内的水分(湿度)，但是在本实施方式中，由于弹性体未存在于供清洗气体通过的通气空间中，所以在气体清洗中不会向收纳容器1内的收纳空间27排放从衬垫300所排出的水分和会对基板造成不良影响的物质，能够对收纳容器1内的收纳空间27提供低湿度且清洁的环境。

而且，通过构成为使衬垫外侧前端部306的内径比衬垫300为单体(即，在将衬垫300组装在气体清洗用过滤器80上之前)的状态下的喷嘴前端部106的外径小，而提高衬垫300与喷嘴部103的紧密性。由此，在通过第2壳体200将衬垫300安装在第1壳体100上的状态下，能够使下部第1壳体102与衬垫300确保气密性。由此，能够防止洗涤气体清洗用过滤器80时的洗涤液侵入至下部第1壳体102与衬垫300的间隙301，从而能够缩短随后的干燥时间。

(第2实施方式)

接下来，参照图7a和图7b说明本发明的第2实施方式的气体清洗用过滤器80a。图7a是将本发明的第2实施方式的气体清洗用过滤器80a的气体清洗用过滤器前端部406a的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接之前的状态的图。图7b是将本发明的第2实施方式的气体清洗用过滤器80a的气体清洗用过滤器前端部406a的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接后的状态的图。

第2实施方式的气体清洗用过滤器是气体清洗用过滤器前端部的形状与第1实施方式的气体清洗用过滤器不同的实施例。除此以外的构成与第1实施方式的气体清洗用过滤器80的构成相同，由此对与第1实施方式中的各构成相同的构成标记相同的附图标记并省略说明。

如图7a所示，在气体清洗用过滤器80a与清洗端口800抵接之前的状态下，衬垫外侧前端部306a与第1壳体100的喷嘴部103的喷嘴前端部106相比向收纳空间的外侧方向突出。

当为了进行气体清洗，气体清洗用过滤器80a与清洗端口800抵接时，如图7b所示，作为弹性体的衬垫300a被清洗端口800按压而使衬垫外侧前端部306a的一部分变形(衬垫外侧前端变形部307a)。通过该变形，清洗端口800的清洗端口前端部802与喷嘴部103抵接。

喷嘴部103的喷嘴前端部106与清洗端口800的清洗端口前端部802抵接，清洗端口800的外周由衬垫外侧前端变形部307a密封。由此，在本实施方式中，即使在清洗端口800与气体清洗用过滤器80a抵接之前，衬垫外侧前端部306a与喷嘴前端部106相比向收纳空间的外侧方向突出，在实施气体清洗时，也与第1实施方式相同地，清洗气体不会与作为弹性体的衬垫300a接触，在气体清洗中不会向收纳容器1内的收纳空间27排放从衬垫300a所排出的水分和对基板造成不良影响的物质，能够对收纳容器1内的收纳空间27提供低湿度且清洁的环境。

而且，使衬垫外侧前端部306a变形来使清洗端口800与喷嘴部103抵接，因此能够提高清洗端口800与衬垫外侧前端部306a的紧密性，更有效地将来自清洗端口800的清洗气体向收纳空间27排放。

(第3实施方式)

接下来，参照图8a和图8b说明本发明的第3实施方式的气体清洗用过滤器80b。图8a是将本发明的第3实施方式的气体清洗用过滤器80b的气体清洗用过滤器前端部406b的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接之前的状态的图。图8b是将本发明的第3实施方式的气体清洗用过滤器80b的气体清洗用过滤器前端部406b的附近放大的剖视图，是表示与清洗端口800抵接后的状态的图。

第3实施方式的气体清洗用过滤器是气体清洗用过滤器前端部的形状、和清洗端口前端部的形状与第1实施方式的情况不同的实施例。除此以外的构成与第1实施方式的气体清洗用过滤器80的构成相同，因此对与第1实施方式中的各构成相同的构成标记相同的附图标记并省略说明。

如图8a所示，第1壳体100的喷嘴部103的喷嘴前端部106与衬垫300b的衬垫外侧前端部306b相比向收纳空间的外侧方向突出。而且，清洗端口前端部802b不是平坦面，形成有具有比喷嘴部103的外径大的内径的清洗端口环状凸部803b。

当为了进行气体清洗，气体清洗用过滤器80b与清洗端口800b抵接时，如图8b所示，清洗端口800b的清洗端口环状凸部803b的内侧的清洗端口前端部802b的部分与喷嘴部103的喷嘴前端部106抵接。此时，清洗端口环状凸部803b咬入至与喷嘴前端部相比向收纳空间的内侧凹陷的、作为弹性体的衬垫300b的衬垫外侧前端部306b的一部分且使其变形(衬垫外侧前端变形部307b)。

喷嘴部103的喷嘴前端部106与清洗端口800b的清洗端口前端部802b抵接，清洗端口800b的外周由衬垫外侧前端变形部307b密封。由此，在本实施方式中，即使在清洗端口800b与气体清洗用过滤器80b抵接之前，衬垫外侧前端部306b与喷嘴前端部106相比向收纳空间的外侧方向突出，在实施气体清洗时，也与第1实施方式同样地，清洗气体不会与作为弹性体的衬垫300b接触，在气体清洗中不会向收纳容器1内的收纳空间27排放从衬垫300b所排出的水分和对基板造成不良影响的物质，能够在收纳容器1内的收纳空间27中提供低湿度且清洁的环境。

(第4实施方式)

接下来，参照图9至图11说明本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c、80d。图9是表示本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c的分解立体图。图10是本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80c的供气用的气体清洗用过滤器的剖视图。图11是本发明的第4实施方式的气体清洗用过滤器80d的排气用的气体清洗用过滤器的剖视图。

第4实施方式的气体清洗用过滤器80c、80d是在第1实施方式的气体清洗用过滤器中，追加了将清洗气体的流通方向控制为固定方向的作为止回阀机构的工作部件500c的情况下的实施例。除此以外的构成与第1实施方式的气体清洗用过滤器80的构成相同，因此对与第1实施方式中的各构成相同的构成标记相同的附图标记并省略说明。

图9、图10的气体清洗用过滤器80c是用于从收纳容器1的外部空间向收纳空间27供给清洗气体的气体清洗用过滤器。

在第1实施方式的第1过滤器壳体100c的通气空间110的中途，配置了将清洗气体的流通方向控制为固定方向的作为止回阀机构的工作部件500c。为了将该工作部件500c内置于第1过滤器壳体100c中，在将第1实施方式的下部第1壳体的喷嘴部去除而得到的下部第1壳体102c上，设有用于将上述工作部件500c保持在内部的内部壳体400c。

在内部壳体400c的收纳空间的外侧方向上，形成有喷嘴前端部106c，且以将其外周部覆盖的方式设有衬垫300c。在衬垫300c上，与第1实施方式同样地形成有衬垫肩部304c。为了将衬垫300c固定在第1壳体上，通过第2壳体200的第2壳体按压部210按压衬垫300c的衬垫肩部304c，将其与内部壳体400c一同向下部第1壳体的收纳空间的内侧方向推入。

作为止回阀机构的工作部件500c由阀体502c、和用于将阀体502c向固定方向弹压的弹簧501c构成。在图10的实施方式中，在内部壳体400c的内部的通气空间110中，在收纳空间的外侧方向上配置阀体502c，将用于将阀体502c向内部壳体400c的内表面弹压的弹簧501c配置在阀体502c与下部第1壳体102c之间。

衬垫300c的衬垫外侧前端部306c与内部壳体400c的喷嘴前端部106c的位置关系与第1实施方式相同，因此省略说明。

该气体清洗用过滤器80c用与第1实施方式的清洗方法相同的方法向收纳空间27供给清洗气体。此时，阀体502c向收纳空间的内侧方向移动，清洗气体从通气空间110通过而从收纳容器1的外部向收纳空间27供给。当清洗气体的供给停止时，阀体502c通过弹簧501c关闭通气空间110。由此，防止气体从收纳空间27向收纳容器1的外部的排出。

此外，图11的气体清洗用过滤器80d是用于将清洗气体从收纳空间27向收纳容器1的外侧排出的气体清洗用过滤器。与图9和图10的气体清洗用过滤器80c之间的不同仅在于，作为止回阀机构的工作部件的阀体502c与弹簧501c在上下方向上变得相反。

当从气体清洗用过滤器80c供给至收纳空间27的清洗气体在收纳空间27中成为固定压力以上时，气体清洗用过滤器80d的工作部件500d的阀体502c向收纳空间的外侧方向移动，气体从收纳空间27向收纳容器1的外部排出。之后，当成为固定压力以下时，阀体502c回到原来的位置，气体从收纳空间27向收纳容器1的外部的排出停止。

根据上述构成的第4实施方式的气体清洗用过滤器，在第1实施方式的效果的基础上，能够将止回阀机构内置于过滤器内部，能够控制清洗气体向收纳容器1的收纳空间27的供给、或者从收纳空间27的排出，能够进行更有效的气体清洗。

附图标记说明

1收纳容器

2容器主体

3盖体

24下壁

45贯穿孔(连通开口)

80、80a、80b、80c、80d气体清洗用过滤器

90过滤器壳体

100、100c第1壳体

101、101c上部第1壳体

102、102c下部第1壳体

103喷嘴部

105衬垫抵接部

106、106c喷嘴前端部

110通气空间

111上部通气空间

112下部通气空间

113喷嘴部通气空间

120收纳空间侧开口

121收纳空间外侧开口

150过滤体

200第2壳体

210第2壳体按压部

300、300a、300b、300c衬垫

305衬垫内侧前端部

306、306a306b、306c衬垫外侧前端部

307a、307b衬垫外侧前端变形部

310、310a、310b衬垫内径凸部

400c内部壳体

406、406a、406b、406c气体清洗用过滤器前端部

500c、500d工作部件(止回阀机构)

501c弹簧

502c阀体

800、800b清洗端口

801、801b清洗气体流通路

802、802b清洗端口前端部

803b清洗端口环状凸部

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