压电设备、探测器、电子设备及超声波图像装置的制作方法

文档序号:11956372阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电设备,其特征在于,具备:

弹性膜,至少部分形成绝缘性的表面区域,至少在所述表面区域具有非晶质结构或随机取向;

压电体,设置在所述弹性膜上,具有与所述弹性膜接触的第一面以及与该第一面相反一侧的第二面,在俯视时对应于所述表面区域的取向区域进行(100)择优取向;

第一电极,与所述压电体电连接;

第二电极,与所述压电体电连接,在所述俯视时与所述取向区域相对应地在与上述第一电极之间形成间隙。

2.根据权利要求1所述的压电设备,其特征在于,所述压电体由钙钛矿型结构的过渡金属氧化物形成。

3.根据权利要求2所述的压电设备,其特征在于,所述压电体的所述第一面由取向控制层形成,所述取向控制层由钙钛矿型结构的过渡金属氧化物形成。

4.根据权利要求3所述的压电设备,其特征在于,所述取向控制层由A端包含铋且B端包含铁和钛的钙钛矿型结构的过渡金属氧化物形成。

5.根据权利要求3或4所述的压电设备,其特征在于,所述取向控制层的电阻值在106Ωcm以上。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的压电设备,其特征在于,所述取向控制层是(100)择优取向。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的压电设备,其特征在于,所述压电体包括层叠于所述取向控制层的Pb(ZrTi)O3层。

8.根据权利要求7所述的压电设备,其特征在于,在所述取向控制层含有Pb。

9.根据权利要求8所述的压电设备,其特征在于,所述取向控制层是连续层。

10.根据权利要求8所述的压电设备,其特征在于,所述取向控制层是不连续层。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的压电设备,其特征在于,在所述间隙,在所述压电体的所述第二面形成有槽。

12.一种探测器,其特征在于,具备:权利要求1至11中任一项所述的压电设备、以及支承所述压电设备的箱体。

13.一种电子设备,其特征在于,具备:

权利要求1至11中任一项所述的压电设备;以及

处理电路,与所述压电设备连接且对所述压电设备的输出进行处理。

14.一种超声波图像装置,其特征在于,具备:

权利要求1至11中任一项所述的压电设备;

处理电路,与所述压电设备连接且对所述压电设备的输出进行处理,生成图像;以及

显示装置,显示所述图像。

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