1.一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)进舟：将制绒后的硅片的送入扩散炉，待扩散炉升温至700～800℃后，通入氧气和大氮进行预氧化，预氧化时间控制在5～20min；
(2)磷沉积：调整扩散炉内温度为700～800℃，在低压条件下通入携带磷源的小氮、大氮和氧气进行沉积，时间为8～20min；
(3)升温推结：在低压条件下，分别在温度800～840℃和温度840～860℃各进行一次推结，携带大氮，时间为10～20min；
(4)降温氧化：降温至700～800℃，通入大氮和氧气进行氧化，时间为8～20min；
(5)出舟：停止升温，降温后出舟。
2.根据权利要求1所述的一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，其特征在于，步骤(1)中，氧气的流量为200～1000sccm，大氮的流量为800～2000sccm，炉内压力为50～100mbar。
3.根据权利要求1所述的一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，其特征在于，步骤(2)中，低压条件下为压力50～100mbar，POCl3流量20～100sccm，小氮的流量为50～100sccm，大氮的流量为500～1000sccm，氧气的流量为100～500sccm。
4.根据权利要求1所述的一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，其特征在于，步骤(3)中，低压条件下为压力1bar，大氮的流量为5000～10000sccm。
5.根据权利要求1所述的一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，其特征在于，步骤(4)中大氮的流量为5000～10000sccm，氧气的流量为500～5000sccm。