技术总结
本发明公开了一种基于低压扩散炉的超低浓度POCl3高温扩散方法，包括以下步骤：(1)进舟；(2)磷沉积；(3)升温推结；(4)降温氧化；(5)出舟。奔放买那个针对现有扩散工艺所存在的技术缺陷，从载气用量、方阻均匀性、稳定性等方面综合考虑，优化了整个扩散工艺，在50～100mBar低压环境下，采用低温沉积、高温分步无氧推进方式，实现了超低POCL3浓度的磷扩散，POCl3浓度只有常规工艺的10％，本发明具有载气用量少、方阻、结深均匀性好、表面死层少等特性，能够明显的提升电池片的开路电压Uoc，降低载气用量和工艺运行时间，保证方阻均匀性、稳定性。
技术研发人员：孙涌涛;彭兴;董方
受保护的技术使用者：横店集团东磁股份有限公司
文档号码：201610651296
技术研发日：2016.08.10
技术公布日：2016.12.07