一种逆导型IGBT的制作方法

文档序号:11956075阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种逆导型IGBT,在N型高阻半导体材料表面形成P型区(1),所述P型区表面沿器件横向方向并列交替形成N型发射区(3)和P型体接触区(4);在N型发射区(3)中部具有贯穿P型区(1)且底部与N型高阻半导体相接触的介质槽(2),介质槽中具有位于槽内壁的绝缘介质层(21)和由绝缘介质层(21)包围的导电材料(22),由介质槽中的导电材料(22)引出栅电极,形成槽栅结构;所述N型发射区(3)和P型体接触区(4)的共同引出端为发射极电极;在N型高阻半导体材料的背面,沿器件横向方向由连续交替变换的N型区(51)和P型区(52)形成集电区,所述N型区(51)和P型区(52)的共同引出端为集电极;所述集电区的正上方具有电场截止区(6),电场截止区(6)与集电区之间在器件纵向方向上有距离,电场截止区(6)由沿器件横向方向连续交替变换的重掺杂N型区和轻掺杂P型区组成;所述器件横向方向和器件纵向方向位于同一水平面且相互垂直。

2.根据权利要求1所述的一种逆导型IGBT,其特征在于,所述电场截止区(6)中的重掺杂N型区域沿器件横向方向上的宽度均相等,所述电场截止区(6)中的轻掺杂P型区域沿器件横向方向上的宽度均相等。

3.一种逆导型IGBT,在N型高阻半导体材料表面形成若干个P型阱区(1),在P型阱区表面沿器件横向方向并列形成N型发射区(3)和P型体接触区(4),N型发射区(3)靠近P型阱区(1)边缘,P型体接触区(4)远离P型阱区(1)边缘,,二者的共同引出端为发射极电极,所述N型发射区(3)与P型阱区(1)边缘有间距;在两相邻P型阱区(1)中的两个相邻N型发射区(3)之间的半导体表面覆盖栅介质,栅介质表面覆盖导电材料形成平面栅结构,并引出栅电极;在N型高阻半导体材料的背面,由交替变换的N型区(51)和P型区(52)形成集电区,所述N型区(51)和P型区(52)的共同引出端为集电极电极;所述集电区的正上方具有电场截止区(6),电场截止区(6)与集电区之间在器件纵向方向上有距离,电场截止区(6)由沿器件横向方向连续交替变换的重掺杂N型区和轻掺杂P型区组成。

4.根据权利要求3所述的一种逆导型IGBT,其特征在于,电场截止区(6)中的重掺杂N型区域沿器件横向方向上的宽度均相等,轻掺杂P型区域沿器件横向方向上的宽度也相等。

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