光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器的制作方法

文档序号:12616744阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器,其特征在于,所述激光器的谐振腔为微柱腔,所述微柱腔具有一定形状,该形状能支持回音壁模式作为激光器的谐振模式;所述微柱腔的外径最小为激光器激射波长量级;

所述微柱腔包括欧姆接触层、光栅层、上盖层、有源区和下盖层;

所述欧姆接触层连接所述微柱腔的顶部中央,其外沿位于所述微柱腔外沿之内,用于避免给激光器的工作模式造成额外损耗;

所述光栅层位于所述微柱腔的顶部外沿,所述光栅层上设有光栅,所述光栅层通过光栅对光场的散射形成激光器垂直方向的输出;所述光栅的周期数M等于所述微柱腔所支持的回音壁模式的角量子数m;

所述上盖层位于所述光栅层下方,用来控制所述光栅层与回音壁模式作用的大小,从而控制激光器输出的大小;

所述有源区位于所述上盖层下方,用来给所述激光器提供增益,所述有源区采用张应变的量子阱材料,使激光器的工作模式为TM模式即其主要磁场平行于有源区平面;

所述下盖层邻接所述有源区下部;所述下盖层位于衬底之上。

2.根据权利要求1所述的光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器,其特征在于,在所述欧姆接触层下方的特定区域形成高阻区;所述高阻区包括所述有源区上方紧邻所述有源区的部分所述上盖层、所述有源区,以及所述有源区下方的紧邻所述有源区的部分所述下盖层。

3.根据权利要求2所述的光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器,其特征在于,在所述光栅层的上面或有源区的下方添加反射镜,将所述光栅垂直的双向输出转变成单向输出,并且输出的大小通过光栅层与其上面添加的反射镜之间、或者有源区与下面反射镜之前的间隔层的厚度来控制。

4.根据权利要求1所述的光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器,其特征在于,所述光栅的形状能选择为矩形、三角形、梯形、正弦形状。

5.根据权利要求1所述的光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器,其特征在于,所述微柱的截面形状为圆形、圆环形、多边形或任意的满足支持回音壁模式的形状。

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