一种高亮度发光二极管芯片及其制备方法与流程

文档序号:11136738阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高亮度发光二极管芯片,所述高亮度发光二极管芯片包括反光层、基板、N型半导体层、发光层、P型半导体层、电子阻挡层、透明导电层、钝化保护层、以及P型电极和N型电极,所述N型半导体层、所述发光层、所述P型半导体层依次层叠在所述基板的第一表面上,所述P型半导体层上设有延伸至所述N型半导体层的凹槽,所述电子阻挡层设置在所述P型半导体层上,所述透明导电层设置在所述电子阻挡层和所述P型半导体层上,所述P型电极设置在所述透明导电层上,所述N型电极设置在所述N型半导体层上,所述反光层设置在所述基板的第二表面上,所述基板的第二表面为与所述基板的第一表面相反的表面,其特征在于,所述钝化保护层包括沉积在所述透明导电层和所述N型半导体层上的第一子层、以及沉积在所述凹槽的侧壁上的第二子层,所述第二子层沉积的厚度大于所述第一子层沉积的厚度。

2.根据权利要求1所述的高亮度发光二极管芯片,其特征在于,所述第一子层沉积的厚度为200~400埃,所述第二子层沉积的厚度为2300~2500埃。

3.根据权利要求1或2所述的高亮度发光二极管芯片,其特征在于,所述反光层包括多个依次层叠的反光子层,所述反光子层包括依次层叠的至少两种折射率不同的氧化层,所述反光子层的厚度为所述发光层的发射主波长的四分之一。

4.根据权利要求3所述的高亮度发光二极管芯片,其特征在于,所述氧化层采用Ta2O5、ZrO2、Al2O3、TiO2、SiO2中的任一种。

5.根据权利要求3所述的高亮度发光二极管芯片,其特征在于,所述反光子层的层数为2~40层。

6.根据权利要求1或2所述的高亮度发光二极管芯片,其特征在于,所述透明导电层采用氧化铟锡或者ZnO。

7.一种高亮度发光二极管芯片的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:

在基板的第一表面上依次生长N型半导体层、发光层、P型半导体层;

在所述P型半导体层上形成延伸至所述N型半导体层的凹槽;

在所述P型半导体层上形成电子阻挡层;

在所述电子阻挡层和所述P型半导体层上形成透明导电层;

在所述透明导电层上设置P型电极,在所述N型半导体层上设置N型电极;

在所述透明导电层、所述凹槽的侧壁和所述N型半导体层上沉积钝化保护层;

对所述基板的第二表面进行减薄和研磨,所述基板的第二表面为与所述基板的第一表面相反的表面;

在研磨后的所述基板的第二表面上形成反光层,得到半成品;

对所述半成品进行划裂和测试,得到发光二极管芯片;

其中,所述钝化保护层包括沉积在所述透明导电层和所述N型半导体层上的第一子层、以及沉积在所述凹槽的侧壁上的第二子层,所述第二子层沉积的厚度大于所述第一子层沉积的厚度。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述在所述透明导电层、所述凹槽的侧壁和所述N型半导体层上沉积钝化保护层,包括:

在所述透明导电层、所述凹槽的侧壁和所述N型半导体层上沉积所述第二子层;

采用光刻工艺和刻蚀工艺去除所述透明导电层和所述N型半导体层上沉积的所述第二子层;

在所述透明导电层、所述凹槽的侧壁和所述N型半导体层上沉积所述第一子层;

采用光刻工艺和刻蚀工艺去除所述P型电极所在的区域、所述N型电极所在的区域、以及所述凹槽的侧壁上沉积的所述第一子层。

9.根据权利要求7或8所述的制备方法,其特征在于,所述第一子层沉积的厚度为200~400埃,所述第二子层沉积的厚度为2300~2500埃。

10.根据权利要求7或8所述的制备方法,其特征在于,所述反光层包括多个依次层叠的反光子层,所述反光子层包括依次层叠的至少两种折射率不同的氧化层,所述反光子层的厚度为所述发光层的发射主波长的四分之一。

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