1.一种无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1.将BiI3、碘乙胺、RbI按化学计量比1:1.8~2.2:0.8~1.2配比混 合研磨15分钟,得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料;
S2.将步骤S1得到的钙钛矿材料放入模具中在5~150MPa压力下压制成钙钛矿靶材;
S3.将步骤S2得到的钙钛矿靶材放入真空磁控溅射台进行磁控溅射,薄膜厚度达到50~1500nm后放气,得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜。
2.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,在BiI3、碘乙胺、RbI研磨前加入DMF或异丙醇,研磨后进行烘干,得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。
3.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,BiI3、碘乙胺、RbI混合研磨后,加热到100~300℃,冷却取出,得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。
4.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,BiI3、碘乙胺、RbI混合研磨后,在氩气保护 下加热到100~600℃,冷却取出,得到无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿材料。
5.根据权利要求1~4任一项所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S1中,BiI3、碘乙胺、RbI按化学计量比1:2:1配比。
6.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S2中,钙钛矿材料压制后进行真空密封得到钙钛矿靶材。
7.根据权利要求1或6所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S2中,所述钙钛矿材料在10~100MPa压力下压制。
8.根据权利要求1所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方 法,其特征在于,步骤S3中进行磁控溅射前将真空磁控溅射台抽真空至10-4~10-6Pa充入氩 气至0.5~0.8Pa。
9.根据权利要求1或8所述的无铅有机无机阳离子共同杂化钙钛矿薄膜的制备方法,其特征在于,步骤S3中,磁控溅射薄膜达到100~1000nm后放气取出。