砷化镓晶圆用除氧托盘的制作方法

文档序号:11101032阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,包括:

底座,开设有贯通所述底座且用于安装所述砷化镓晶圆的安装孔,所述安装孔的侧壁上设有限位凸起;

定位组件,能够与所述底座固定连接,且所述定位组件与所述限位凸起能够分别与所述砷化镓晶圆的相对的两个表面的边缘相抵接而夹持固定所述砷化镓晶圆;

其中,所述底座和所述定位组件的熔点均在1000℃以上。

2.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述定位组件包括环形板和螺纹紧固件,所述螺纹紧固件能够穿设于所述环形板后与所述底座固定连接,而将所述环形板与所述底座固定连接,其中,所述环形板能够与所述砷化镓晶圆的边缘相抵接,并与所述限位凸起共同配合夹持固定所述砷化镓晶圆,所述环形板和所述螺纹紧固件的熔点均在1000℃以上。

3.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述环形板上开设有多个沿所述环形板的内圈间隔设置的缺口。

4.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,当所述环形板固定在所述底座上时,所述环形板与所述安装孔共轴设置,所述环形板的内径小于所述安装孔的直径,且所述环形板的内径与所述安装孔的直径相差不超过2毫米。

5.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述环形板的厚度为0.1毫米~2毫米。

6.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述环形板为钼板或钽板。

7.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,还包括透明的限位板,所述限位板能够收容于所述安装孔内,并能够与所述限位凸起相抵接,所述限位板能够与所述底座共同配合形成用于安装所述砷化镓晶圆的容置槽,当所述限位板收容于所述安装孔内时,所述限位板和所述定位组件共同配合夹持固定所述砷化镓晶圆,所述限位板的熔点在1000℃以上。

8.根据权利要求7所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述限位板为氧化铝板或碳化硅板。

9.根据权利要求7所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述限位板的厚度为300微米~800微米。

10.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用除氧托盘,其特征在于,所述安装孔为圆形,所述限位凸起沿所述安装孔的一个开口设置一周,并与所述安装孔共轴设置,所述限位凸起的内圈的半径与所述安装孔的半径相差不超过1毫米。

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