一种大跨距石英舟的制作方法

本实用新型涉及石英舟，特别涉及一种大跨距石英舟。

背景技术：

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片 制造业。石英舟是扩散时的常用工具。扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN 结的工艺环节，是太阳能电池制造的关键技术。现有的石英舟通常在连接杆上开槽为硅片形 成一个置放区间，用于扩散时对硅片的承载，现有的石英舟跨距较短，重量大。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种大跨距石英舟。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种大跨距石英舟，包括上槽棒、位于所述上槽棒下方的下槽板，设置在所述上槽棒两端的端板，所述端板背离上槽棒一侧设有顶杆，所述上槽棒位于所述端板顶面两侧，所述下槽板位于所述端板中下方，所述上槽棒中部设有与所述下槽板连接的支撑杆，所述上槽棒截面为L形，所述上槽棒一侧设有上槽口，所述下槽板截面为长方形且下槽板截面高度比所述下槽板截面宽度大，所述下槽板顶面设有下槽口，所述上槽口轴线与所述上槽棒轴线夹角为87°，所述下槽口的开口轴线与所述下槽板轴线夹角为87°。

上述设计中通过支撑杆对上槽棒和下槽板中部进行加强，提升石英舟的整体强度；上槽棒截面为L形，下槽板截面长方形使得上槽棒和下槽板强度高重量轻，所述上槽口轴线与所述上槽棒轴线夹角为87°，所述下槽口的开口轴线与所述下槽板轴线夹角为87°，便于改变上槽棒和下槽板的承载力且防止所载石墨片晃动。

作为本设计的进一步改进，所述支撑杆轴线与水平面夹角为45°，支撑效果好。

作为本设计的进一步改进，所述上槽口和所述下槽口开口处均设有夹角为60°的“八”字口，便于所载石墨片的插入

作为本设计的进一步改进，所述下槽板为两个且之间间隙为1.5倍所述下槽板截面宽度，提高下槽板的承载力。

作为本设计的进一步改进，所述下槽板截面宽度与所述下槽板截面高度比值为1:2，下槽板的强度高。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过支撑杆对上槽棒和下槽板中部进行加强，提升石英舟的整体强度；上槽棒截面为L形，下槽板截面长方形使得上槽棒和下槽板强度高重量轻，所述上槽口轴线与所述上槽棒轴线夹角为87°，所述下槽口的开口轴线与所述下槽板轴线夹角为87°，便于改变上槽棒和下槽板的承载力且防止所载石墨片晃动。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的正面结构示意图。

图2是本实用新型的侧面结构示意图。

图3是本实用新型的上槽口和下槽口侧面结构示意图。

图4是本实用新型的上槽口和下槽口俯视结构示意图。

在图中1.端板，2.下槽板，3.上槽棒，4.支撑杆，5.上槽口，6.顶杆，7.下槽口，8.“八”字口。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

实施例：一种大跨距石英舟，包括上槽棒3、位于所述上槽棒3下方的下槽板2，设置在所述上槽棒3两端的端板1，所述端板1背离上槽棒3一侧设有顶杆6，所述上槽棒3位于所述端板1顶面两侧，所述下槽板2位于所述端板1中下方，所述上槽棒3中部设有与所述下槽板2连接的支撑杆4，所述上槽棒3截面为L形，所述上槽棒3一侧设有上槽口5，所述下槽板2截面为长方形且下槽板2截面高度比所述下槽板2截面宽度大，所述下槽板2顶面设有下槽口7，所述上槽口5轴线与所述上槽棒3轴线夹角为87°，所述下槽口7的开口轴线与所述下槽板2轴线夹角为87°。

上述设计中通过支撑杆4对上槽棒3和下槽板2中部进行加强，提升石英舟的整体强度；上槽棒3截面为L形，下槽板2截面长方形使得上槽棒3和下槽板2强度高重量轻，所述上槽口5轴线与所述上槽棒3轴线夹角为87°，所述下槽口7的开口轴线与所述下槽板2轴线夹角为87°，便于改变上槽棒3和下槽板2的承载力且防止所载石墨片晃动。

作为本设计的进一步改进，所述支撑杆4轴线与水平面夹角为45°，支撑效果好。

作为本设计的进一步改进，所述上槽口5和所述下槽口7开口处均设有夹角为60°的“八”字口8，便于所载石墨片的插入

作为本设计的进一步改进，所述下槽板2为两个且之间间隙为1.5倍所述下槽板2截面宽度，提高下槽板2的承载力。

作为本设计的进一步改进，所述下槽板2截面宽度与所述下槽板2截面高度比值为1:2，下槽板2的强度高。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。