卡盘的吊装机构的制作方法

技术总结
本实用新型提供的卡盘的吊装机构，卡盘用于承载晶片，且在该卡盘上设置有安装孔，用以安装吊装机构。吊装机构包括：吊杆，在吊杆的下端设置有限位部，该限位部与安装孔相配合，用以限制吊杆在竖直方向上的位移自由度。固定组件用于使所述限位部相对于所述卡盘固定不动。

技术研发人员：王雅菊;焦明洁
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201620757059
技术研发日：2016.07.18
技术公布日：2016.12.28