一种同位素电磁分离器用离子源的气化放电装置的制作方法

文档序号:11762438阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种同位素电磁分离器用离子源的气化放电装置,设置在同位素电磁分离器的离子源上,其特征是:包括弧放电室(15)及与所述弧放电室(15)后部相连的坩埚(8),设置在所述弧放电室(15)顶部的阴极(5)和灯丝(4),所述弧放电室(15)、坩埚(8)直接密封连接。

2.如权利要求1所述的气化放电装置,其特征是:所述弧放电室(15)包括设置在所述弧放电室(15)后部、通过坩埚接口(23)与所述坩埚(8)连通的蒸汽分配室(7),设置在所述坩埚接口(23)上的船形板(24),还包括通过蒸汽分配板(30)与所述蒸汽分配室(7)相隔离的放电室(14),所述放电室(14)顶端设置有电子窗(6);所述阴极(5)靠近所述电子窗(6),所述电子窗(6)距离所述放电室(14)的边缘为0.5mm,所述阴极(5)包括直热式阴极和间热式阴极两种,所述直热式阴极寿命大于24小时;所述弧放电室(15)、坩埚(8)之间的密封为端面密封。

3.如权利要求2所述的气化放电装置,其特征是:所述蒸汽分配板(30)通过设置在所述蒸汽分配室(7)与所述放电室(14)之间的分配板插槽(22)设置在所述弧放电室(15)内部。

4.如权利要求3所述的气化放电装置,其特征是:所述分配板插槽(22)为3mm深的60°燕尾槽。

5.如权利要求2所述的气化放电装置,其特征是:所述电子窗(6)通过所述放电室(14)顶端的电子窗插槽(20)设置在所述放电室(14)上。

6.如权利要求5所述的气化放电装置,其特征是:所述电子窗插槽(20)为3mm深的60°燕尾槽。

7.如权利要求2所述的气化放电装置,其特征是:所述放电室(14)上还能够设置所述离子源的引出缝电极(3),所述引出缝电极(3)设置在引出缝面板(32)上,所述引出缝面板(32)设置在所述放电室(14)前部。

8.如权利要求7所述的气化放电装置,其特征是:所述引出缝面板(32)通过设置在所述放电室(14)前部的引出缝面板插槽(21)设置在所述放电室(14)前部。

9.如权利要求8所述的气化放电装置,其特征是:所述引出缝面板插槽(21)为3mm深的60°燕尾槽。

10.如权利要求1所述的气化放电装置,其特征是:所述弧放电室(15)、坩埚(8)采用高纯石墨或不锈钢制作。

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