技术总结
本实用新型提供一种晶圆托盘，适于放置晶圆，包括托盘底部和托盘壁，至少所述托盘壁与所述晶圆边缘接触的部分为坡面。本实用新型的晶圆托盘不仅克服了晶圆易滑落，甚至造成晶圆碎裂的问题，而且解决了对晶圆进行测试时，由于晶圆与不洁净的表面接触而造成的较为严重的污染，从而导致分析结果异常，只能对其中一面进行分析的问题。
技术研发人员：程燕英;刘睿
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201621167918
技术研发日：2016.11.01
技术公布日：2017.04.26