半导体乘载盘及其乘载单元的制作方法

文档序号:12653275阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体乘载盘,包含有复数个乘载单元,各该乘载单元包含:

一基底,具有一第一面以及一位于该第一面的反侧的第二面,该第一面上设有一凹槽;

复数个支撑件,设置于该基底的第一面上,环绕该凹槽;各该支撑件的内侧分别具有一抵靠斜面;

其特征在于:该基底的第一面上设置有至少一延伸槽。

2.如权利要求1所述的半导体乘载盘,其特征在于,该延伸槽与该凹槽连通。

3.如权利要求1所述的半导体乘载盘,其特征在于,该延伸槽可容置一半导体元件的一个接脚。

4.如权利要求1所述的半导体乘载盘,其特征在于,该延伸槽可同时容置一半导体元件的复数个接脚。

5.如权利要求1所述的半导体乘载盘,其特征在于,在该第二面上设置有复数个填补件,而相邻的两个该填补件间分别形成一凹口;相邻的两个该支撑件间分别形成一缺口;当两个半导体乘载盘上下堆叠在一起时,上方半导体乘载盘的填补件会嵌入下方半导体乘载盘的缺口,下方半导体乘载盘的支撑件则会嵌入下方半导体乘载盘的凹口。

6.一种半导体乘载盘的乘载单元,包含:

一基底,具有一第一面以及一位于该第一面的反侧的第二面;

复数个支撑件,设置于该基底的第一面上;各该支撑件的内侧分别具有一抵靠斜面;

其特征在于:该基底的第一面上设置有至少一延伸槽。

7.如权利要求6所述的半导体乘载盘的乘载单元,其特征在于,该基底的第一面上设置有一凹槽,该延伸槽与该凹槽连通。

8.如权利要求6所述的半导体乘载盘的乘载单元,其特征在于,该延伸槽可容置一半导体元件的一个接脚。

9.如权利要求6所述的半导体乘载盘的乘载单元,其特征在于,该延伸槽可同时容置一半导体元件的复数个接脚。

10.如权利要求6所述的半导体乘载盘的乘载单元,其特征在于,在该第二面上设置有复数个填补件,而相邻的两个该填补件间分别形成一凹口;相邻的两个该支撑件间分别形成一缺口;当两个半导体乘载盘上下堆叠在一起时,上方半导体乘载盘的填补件会嵌入下方半导体乘载盘的缺口,下方半导体乘载盘的支撑件则会嵌入下方半导体乘载盘的凹口。

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