生长在玻璃衬底上的LED外延片的制作方法

文档序号:11487453阅读:来源:国知局

技术特征:

1.生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,包括生长在玻璃衬底上的铝金属层,生长在铝金属层上的银金属层,生长在银金属层上的AlN缓冲层,生长在AlN缓冲层上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的n型掺杂GaN薄膜,生长在n型掺杂GaN薄膜上的InGaN/GaN多量子阱,生长在InGaN/GaN多量子阱上的p型掺杂GaN薄膜。

2.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述铝金属层的厚度为150~200μm。

3.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述银金属层的厚度为100~300nm。

4.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述AlN缓冲层的厚度为5~50nm。

5.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述GaN缓冲层的厚度为50~80nm。

6.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述非掺杂GaN层的厚度为200~300nm。

7.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述n型掺杂GaN薄膜的厚度为3~5μm。

8.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述InGaN/GaN量子阱为7~10个周期的InGaN阱层/GaN垒层,其中InGaN阱层的厚度为2~3nm;GaN垒层的厚度为10~13nm。

9.根据权利要求1所述的生长在玻璃衬底上的LED外延片,其特征在于,所述p型掺杂GaN薄膜的厚度为300~350nm。

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