利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置的制作方法

文档序号:12066597阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,包括激光器阵列(1)、快轴准直镜(2)、合束镜(3)、第一级光栅(4)、合束部件(5)、第二级光栅(6)和反馈元件(7),其中:

所述激光器阵列(1)包括M个激光器线阵,每个激光器线阵包括多个激光单元;

每个激光器线阵上的多个激光单元分别通过所述快轴准直镜(2)准直后平行出射至合束镜(3)合束至第一级光栅(4)上,形成一激光束;

M束激光束从第一级光栅(4)出射经合束部件(5)再次合束至第二级光栅(6)上,再通过反馈元件(7)进行波长锁定,得到高功率、高光束质量的半导体直接输出激光。

2.根据权利要求1所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,所述合束镜为聚焦透镜(3)。

3.根据权利要求1所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,所述合束部件(5)为反射镜、透镜或棱镜中的一种或两种。

4.根据权利要求1所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,所述第一级光栅(4)为高线对数的光栅,第二级光栅(6)为低线对数光栅。

5.根据权利要求1所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,还包括慢轴准直镜(8)和光束旋转镜(9),每个激光器线阵上的多个激光单元分别通过所述快轴准直镜(2)准直后,通过光束旋转镜(9)将每个激光单元的快轴光斑与慢轴光斑进行旋转,然后通过慢轴准直镜(8)将慢轴光斑进行准直后平行出射至合束镜(3)。

6.根据权利要求1所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,所述合束部件(5)包括反射镜(10)和聚焦镜(11),M个激光束从第一级光栅(4)出射经反射镜(10)将各束激光束指向性调节一致后通过聚焦镜(11)再次合束至第二级光栅(6)上。

7.根据权利要求6所述的一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置,其特征在于,反射镜(10)呈夹角布置,以使M束激光束从第一级光栅(4)出射后以与第二级光栅相匹配的角度入射至第二级光栅(6)上以达到合束的目的。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1