技术总结
本发明公开了一种利用多光栅进行半导体激光外腔反馈光谱合束的装置，包括激光器阵列、快轴准直镜、合束镜、第一级光栅、合束部件、第二级光栅和反馈元件。所述激光器阵列包括M个激光器线阵，每个激光器线阵包括多个激光单元；每一个激光器线阵上的多个激光单元分别通过所述快轴准直镜准直后平行出射至合束镜合束至第一级光栅上，形成一束激光束；M束激光束从第一级光栅出射经合束部件再次合束至第二级光栅上，再通过反馈元件进行波长锁定，得到高功率、高光束质量的半导体直接输出激光。本发明可同时实现对多个激光线阵的光谱合束，其光束质量相当于单个激光单元，输出功率远超单个激光线阵的半导体激光光源。
技术研发人员：肖伟;潘华东;廖新胜;靳嫣然;朱建胜
受保护的技术使用者：苏州长光华芯光电技术有限公司
文档号码：201710008261
技术研发日：2017.01.05
技术公布日：2017.05.24