氮化镓功率三极管的制作方法与流程

文档序号:12724882阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氮化镓功率三极管的制作方法,包括:在衬底上表面生长氮化镓层,在所述的氮化镓层上表面再生长铝镓氮层,其特征在于:还包括:

对所述的铝镓氮层、部分所述的氮化镓层进行蚀刻,将所述的铝镓氮层、部分所述的氮化镓层分隔成多个相互独立的岛;

沉淀第一金属层、第二金属层,所述的第一金属层形成多个第一电极单元和多个第二电极单元,所述的第二金属层形成第三电极单元,形成所述的第一电极单元的第一金属层沉淀在一个所述的岛上,形成所述的第二电极单元的第一金属层同时沉淀在两个相邻所述的岛上;

覆盖钝化层,在所述的第一电极单元、第二电极单元以及第三电极单元打开钝化层窗口,测试每个所述的岛的电学特性,对特性不合格的岛进行去除;

覆盖第三金属层,对所述的第三金属层进行分离,所述的第三金属层连接多个所述的第一电极单元形成第一电极,所述的第三金属层连接多个所述的第二电极单元形成第二电极,所述的第三金属层连接所述的第三电极单元形成第三电极。

2.根据权利要求1所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:向所述的特性不合格的岛上的第一电极单元的钝化层窗口注入绝缘胶液,并进行固化。

3.根据权利要求2所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:所述的绝缘胶液包括聚酰亚胺树脂。

4.根据权利要求1所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:在所述的第一电极、第二电极以及第三电极的第三金属层上进行布线,与外部封装管脚相连接,构成三极管。

5.根据权利要求1所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:每个所述的岛的长度为50-200微米,宽度为20-60微米。

6.根据权利要求1所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:测试每个所述的岛的电学特性包括正向导通及反向击穿特性。

7.根据权利要求1所述的氮化镓功率三极管的制作方法,其特征在于:所述的第三金属层采用蚀刻或liftoff工艺进行分离。

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