技术总结
本发明涉及一种氮化镓功率三极管的制作方法，包括：在衬底上表面生长氮化镓层、铝镓氮层，对铝镓氮层、部分氮化镓层进行蚀刻分隔成多个岛；沉淀第一、第二金属层，第一金属层形成多个第一、第二电极单元，第二金属层形成第三电极单元，第一电极单元的第一金属层沉淀在一个岛上，第二电极单元的第一金属层沉淀在相邻的两个岛上；覆盖钝化层，在第一、第二以及第三电极单元打开钝化层窗口，对特性不合格的岛进行去除；覆盖第三金属层，对第三金属层进行分离，形成第一、第二、第三电极。本发明通过化整为零的方式，在制作时就剔除了不合格的部分，提高成品三极管器件的性能，大大增加三极管器件的良品率。
技术研发人员：张葶葶;朱廷刚;李亦衡;王东盛;苗操;魏鸿源;严文胜
受保护的技术使用者：江苏能华微电子科技发展有限公司
文档号码：201710075199
技术研发日：2017.02.10
技术公布日：2017.06.20