技术总结
本发明公开了一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构及制备方法。石墨烯由低温固态碳源法在非蓝宝石介质材料上直接制备，得到复合衬底，再在复合衬底的石墨烯上生长出三族氮化物微米柱，得到一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构。本发明技术方案解决了在某些介质材料上三族氮化物无法成核生长的难题，拓宽了三族氮化物外延用介质衬底的范围。尤其是使用石墨烯/石英复合衬底外延三族氮化物，可以有效降低外延成本。本发明流程简单易行，原材料价廉易得，适合规模化生产。
技术研发人员：曹冰;赵恩;漆林;李宗尧;杨松;王钦华
受保护的技术使用者：苏州大学
文档号码：201710104757
技术研发日：2017.02.24
技术公布日：2017.05.31