本发明涉及一种晶圆卡匣(wafercassette)，尤其涉及一种具有改良结构与强化精确度及强度的晶圆卡匣。
背景技术：
晶圆卡匣是一种用以夹持晶圆的装置，以利运送于设备之间以进行晶圆的处理或量测。储存于晶圆卡匣的晶圆可使用机械手(robotichand)或牙叉(fork)将其取出或置入。
传统晶圆卡匣于操作使用一段时间后，其精确度或强度会降低。举例而言，冷缩热胀会降低晶圆卡匣的精确度或强度。
传统晶圆卡匣的结构具有缺陷，经常使得机械手(特别是机械手的前端)因为错位而意外地撞到晶圆卡匣的底端，因而造成晶圆的弹落。
鉴于传统晶圆卡匣具较低精确度、强度且结构具缺陷，因此亟需提出一种新颖的晶圆卡匣，以改善其结构并强化精确度与强度。
技术实现要素：
鉴于上述，本发明实施例的目的之一在于提出一种晶圆卡匣，用以储存及运送晶圆。相较于传统晶圆卡匣，本实施例的晶圆卡匣具有强化精确度与强度，且可避免机械手意外地撞到晶圆卡匣。
根据本发明实施例，晶圆卡匣包含前面板及后面板，两者互相对立；至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有多个沟槽。每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有两端，分别枢接于前面板与后面板。长顶杆、长中杆与长底杆包含实心铁杆，其表面被包覆层所包覆。
根据本发明另一实施例，提供一种制造晶圆卡匣的方法。以射出成形制程，将包覆层包覆于多个实心铁杆的表面，以形成至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆。将每一个长顶杆、长中杆与长底杆的两端分别枢接于前面板与后面板，其中前面板与后面板互相对立。
本发明的有益效果在于，相较于传统晶片卡匣，本发明提出的晶片卡匣具有强化精确度与强度，且可避免机械手意外地撞到晶片卡匣。
附图说明
图1的透视图显示本发明实施例的晶圆卡匣，用以储存及运送晶圆。
图2显示图1的晶圆卡匣的另一透视图。
图3显示图2的长顶杆、长中杆及长底杆的部分放大视图。
图4a显示图1/图2的长顶杆的剖面视图。
图4b显示图1/图2的长中杆及长底杆的剖面视图。
其中，附图标记说明如下：
100晶圆卡匣
10晶圆
11前面板
12后面板
13长顶杆
14长中杆
15长底杆
16固定杆
17连接件
111实心铁杆
112包覆层
具体实施方式
图1的透视图显示本发明实施例的晶圆卡匣100，用以储存及运送晶圆。图2显示图1的晶圆卡匣100的另一透视图，其夹持一晶圆10，例如光学元件(如光学透镜或玻璃)。为了让内部结构更易于观看，图2所示的晶圆卡匣100省略了一些元件未画出来。
在本实施例中，晶圆卡匣100可包含前面板11及后面板12，两者互相对立。本实施例的晶圆卡匣100还可包含至少两根长顶杆13、至少两根长中杆14及至少两根长底杆15。每一个长顶杆13、长中杆14、长底杆15具有多个沟槽(groove)。沟槽可整个围绕长顶杆13、长中杆14、长底杆15，或者部分围绕长顶杆13、长中杆14、长底杆15。
如图1、图2所示实施例，两列晶圆卡匣并列在一起，其中一长顶杆13共用于该两列晶圆卡匣之间。然而，每一晶圆卡匣拥有自己的长中杆14及长底杆15。
每一个长顶杆13、长中杆14、长底杆15具有两端，分别枢接(pivotallyconnected)于前面板11与后面板12。因此，长顶杆13、长中杆14、长底杆15由上而下依序设置。
在本实施例中，位于同侧的长中杆14与长底杆15更通过至少一连接件17(图示使用三连接件)使两者固定在一起，因而强化晶圆卡匣100的精确度。
本实施例的晶圆卡匣100还可包含四固定杆16，设于前面板11与后面板12的四个角落，用以让晶圆卡匣100更稳固，因而强化晶圆卡匣100的强度。每一固定杆16具有两端，分别枢接于前面板11与后面板12。
图3显示图2的长顶杆13、长中杆14及长底杆15的部分放大视图，其夹持有晶圆10。根据本实施例的特征之一，晶圆10的底部承靠于两点(亦即两根长底杆15)，而非承靠于单一点。本实施例的晶圆卡匣100具两个(而非单一)且分开的长底杆15，使得机械手(robotichand)的前端不会因为错位而意外地撞到设于中间位置的单一长底杆，造成晶圆10的弹落。
图4a显示图1/图2的长顶杆13的剖面视图，且图4b显示图1/图2的长中杆14及长底杆15的剖面视图。根据本实施例的另一特征，长顶杆13、长中杆14、长底杆15可包含实心铁杆(solid-ironrod)111，其表面被包覆层112所包覆，该包覆层112可为聚合物(polymer)。本实施例的包覆层112包含聚醚醚酮(polyetherratherketone，peek)，其具有优良的机械及化学抗性，可抵抗高温及冷缩热胀。本实施例的长顶杆13、长中杆14、长底杆15使用实心铁杆111及聚醚醚酮(peek)的包覆层112，可强化晶圆卡匣100的强度与精确度，且能防止剥落与翘曲。在另一实施例中，于包覆该包覆层112之前，实心铁杆111的表面更经咬花处理(texturetreatment)使其表面粗糙化，改变实心铁杆111与包覆层112之间的交互作用，因而更能避免包覆层112的剥落。
在本实施例中，实心铁杆111为多角(polygon)实心铁杆，特别是八角(octagon)实心铁杆。由于实心铁杆111具有多边形(例如八边形)截面，而非圆形截面，使得晶圆10与长顶杆13、长中杆14、长底杆15之间为线接触，而非点接触，因而得以减轻应力集中以避免晶圆破碎。此外，前面板11、后面板12与长顶杆13、长中杆14、长底杆15的枢接处具有凹槽。特别的是，该凹槽的形状相应于实心铁杆111的多边形截面。因此，晶圆10可精确地接触于长顶杆13、长中杆14、长底杆15。
根据本实施例的又一特征，包覆实心铁杆111的包覆层112是使用射出成形(injectionmoulding)制程技术而一体成型制造的。详而言之，首先将实心铁杆111锁入具沟槽形状的模具内，再灌入包覆材料(例如聚醚醚酮)于实心铁杆111的周围，因而形成包覆层112围绕实心铁杆111，且于包覆层112的表面形成有沟槽。相较于使用电脑数值控制(cnc)工具所车出来的聚醚醚酮(peek)杆，本实施例的包覆层112不但可强化晶圆卡匣100的强度与精确度，且能防止剥落与翘曲。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的权利要求书的保护范围；凡其它未脱离发明所公开的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的权利要求书的保护范围内。