技术特征：
技术总结
本发明提供一种多晶硅薄膜、薄膜晶体管的制作方法、设备、显示基板。多晶硅薄膜的制作方法包括：在基板上沉积非晶硅薄膜；对所述非晶硅薄膜进行晶化处理，得到由非晶硅薄膜转换成的多晶硅过渡薄膜；使所述多晶硅过渡薄膜发生塑性形变，使所述多晶硅过渡薄膜存储形变能；对具有形变能的多晶硅过渡薄膜进行激光退火处理，使所述多晶硅过渡薄膜在激光退火过程中，受形变能驱动以发生再结晶转换为多晶硅薄膜。本发明的方案能够消除多晶硅薄膜中晶粒与晶界所存在的缺陷，在应用于薄膜晶体管的有源层时，可降低薄膜晶体管的漏电流，以保证显示画面的稳定驱动。
技术研发人员：李海旭;曹占锋;姚琪;张锋;党宁;高斐
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2017.07.21
技术公布日：2017.11.21