用于传输显示基板的传输系统和显示基板的生产设备的制作方法

本实用新型涉及设备制造技术领域，具体涉及一种用于传输显示基板的传输系统和一种包括该传输系统的显示基板的生产设备。

背景技术：

一般的，显示基板的大部分制作工艺中，需要利用滚轮传输显示基板。例如，在显示基板的极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography，EUV)工艺中，需要利用滚轮进行传输。

但是，传统的滚轮本体，主要由下述两种不同的材料制作形成，第一种为采用不锈钢材料制成，该种材料的滚轮本体在进行显示基板传输时，容易对显示基板造成划伤。第二种为采用聚酰亚胺材料制成，该种材料虽然不会造成对显示基板的划伤，但是该种材料的滚轮本体不具有静电防护能力，容易造成静电击穿，破坏显示基板。

因此，如何设计出一种能够有效释放静电且能够防止对承载物划伤的滚轮成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种用于传输显示基板的传输系统和一种显示基板的生产设备。

为了实现上述目的，本实用新型的第一方面，提供一种用于传输显示基板的传输系统，所述传输系统包括滚轮组件，所述滚轮组件包括滚轮轴和设置在所述滚轮轴上的多个滚轮，所述滚轮能够随所述滚轮轴转动，所述滚轮包括滚轮本体，所述滚轮本体包括两个端面和连接两个所述端面的传输面，所述滚轮本体由绝缘材料制成，所述滚轮轴能够导电，至少一个所述滚轮还包括导电件，该滚轮的滚轮本体的至少一个端面上设置有所述导电件，所述导电件与所述滚轮轴电连接，所述滚轮轴能够接地。

优选地，所述传输系统还包括机架，所述滚轮轴设置在所述机架上，所述机架上设置有第一接地端口。

优选地，所述传输系统还包括接地线，所述接地线的一端与所述第一接地端口电连接。

优选地，所述导电件的外轮廓的至少第一部分与所述滚轮本体的传输面上与该第一部分相邻的的第二部分之间的距离为1-5mm。

优选地，所述滚轮包括两个所述导电件，两个所述导电件分别固定于该滚轮的滚轮本体的两个端面上。

优选地，所述导电件的厚度为2-10mm。

优选地，所述滚轮本体的材料包括聚酰亚胺。

本实用新型的第二方面，涉及一种显示基板的生产设备，所述生产设备包括传输系统，所述传输系统包括前文所述的传输系统。

优选地，所述生产设备还包括电柜，所述电柜内设置有第二接地端口；当所述传输系统包括接地线时，接地线的另一端与所述第二接地端口电连接。

优选地，所述生产设备还包括用于光刻工艺的光源。

本实用新型的用于传输显示基板的传输系统，当显示基板和滚轮本体的传输面之间因摩擦或其他原因产生静电时，该静电会通过导电件和滚轮轴，最终能够释放到大地上。因此，能够有效保护显示基板，防止静电击穿显示基板，提高产品良率。

本实用新型的显示基板的生产设备，设置有上述结构的传输系统，在进行显示基板的生产传输中，当显示基板和滚轮本体的传输面之间因摩擦或其他原因产生静电时，该静电会通过导电件和滚轮轴，最终能够释放到大地上。因此，能够有效保护显示基板，防止静电击穿显示基板，提高产品生产良率。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型第一实施例中传输系统的结构示意图；

图2为本实用新型第二实施例中滚轮的结构示意图；

图3为图2所示滚轮的侧视图；

图4为本实用新型第三实施例中生产设备的结构示意图。

附图标记说明

100：传输系统；

110：滚轮组件；

111：滚轮轴；

112：滚轮；

112a：滚轮本体；

112b：端面；

112c：传输面；

112d：导电件；

120：机架；

121：第一接地端口；

130：接地线；

200：显示基板；

300：生产设备；

310：电柜；

311：第二接地端口。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

参考图1、图2和图3，本实用新型的第一方面，涉及一种用于传输显示基板200的传输系统100。该传输系统100包括滚轮组件110，所述滚轮组件110包括滚轮轴111和设置在所述滚轮轴111上的多个滚轮112，所述滚轮112能够随所述滚轮轴111转动。具体地，例如，该滚轮轴111的一端可以通过联轴器(图中并未示出)与电机(图中并未示出)连接，滚轮轴111的另一端可以与滚动轴承(图中并未示出)连接，因此，当电机转动时，驱动滚轮轴111旋转，从而可以带动多个滚轮112旋转，进而可以传输位于滚轮112上的显示基板200。当然，该滚轮轴111也可以与其他的驱动机构连接，以传输显示基板200。

上述滚轮112包括滚轮本体112a，所述滚轮本体112a包括两个端面112b和连接两个所述端面112b的传输面112c。上述滚轮本体112a由绝缘材料制成，上述滚轮轴111能够导电，至少一个所述滚轮112还包括导电件112d，该滚轮112的滚轮本体112a的至少一个端面112b上设置有所述导电件112d，所述导电件112d与所述滚轮轴111电连接，所述滚轮轴111能够接地。

具体地，在制作显示面板的过程中，往往包括多个制作工艺，例如，光刻和显影工艺，每个制作工艺中，需要利用滚轮传输显示基板200。利用本实施例结构的传输系统100传输显示基板200时，将显示基板200放置到滚轮本体112a的传输面112c上，利用驱动机构(图中并未示出，例如，电机)驱动滚轮112旋转，利用传输面112c和显示基板200之间的摩擦力，带动显示基板200移动，以便对显示基板200进行加工。显示基板200和传输面112c之间存在摩擦，因此会产生大量的静电，由于滚轮本体112a由绝缘材料制成，因此，静电电荷会在显示基板200和传输面112c之间积累，积累到一定程度后击穿空气，首先会释放到该导电件112d上。因此，在设置该导电件112d时，应当确保静电击穿空气后首先能够到达该导电件112d，而非首先到达显示基板200正面设置的导电层(图中并未示出)，例如，电路层。另外，该导电件112d与滚轮轴111电连接，该滚轮轴111能够接地，因此，静电击穿空气后到达导电件112d上的静电电荷能够通过滚轮轴111释放到大地上，完成静电的释放。

需要说明的是，对于导电件112d的具体结构并没有作出限定，例如，该导电件112d可以是具有良好导电性能的金属件。当然，该导电件112d还可以是其他的具有导电功能的结构。

进一步需要说明的是，对于滚轮轴111如何接地，并没有作出限定，该滚轮轴111可以直接或间接接地，例如，该滚轮轴111的一端可以与设置有滚动轴承(图中并未示出)的轴承座(图中并未示出)连接，至少轴承座的部分是与地直接接触的，从而该滚动轴111通过轴承座间接实现了接地这一技术手段。

本实施例结构的传输系统100，当显示基板200和滚轮本体112a的传输面112c之间因摩擦或其他原因产生静电时，该静电会通过导电件112d、滚轮轴111，最终能够释放到大地上。因此，能够有效保护显示基板200，防止静电击穿显示基板200，提高产品良率。

优选地，上述传输系统100还包括机架120。其中，上述滚轮轴111设置在所述机架120上，所述机架120上设置有第一接地端口121。

具体地，利用本实施例结构的传输系统100传输显示基板200时，显示基板200和传输面112c之间因摩擦或其他原因产生的静电，引入到导电件112d上，该静电进一步地引入与导电件112d电连接的滚轮轴111内，进一步地引入设置该滚轮轴111的机架120上，最终通过机架120上的第一接地端口121释放掉静电。

本实施例结构的传输系统100，机架120不仅可以作为滚轮组件110的承载件，而且，还实现了滚轮轴111接地这一技术手段。因此，除了能够稳固支撑该滚轮组件110传输显示基板200外，还能够有效释放显示基板200和传输面112c所产生的静电，有效保护显示基板200，能够避免静电击穿显示基板200，提高产品良率。

优选地，上述传输系统100还包括接地线130。其中，该接地线130的一端与上述第一接地端口121电连接，该接地线130的另一端可以与电柜中的第二接地端口电连接。下文第二个技术主题中将对此进行详细描述，这里先不赘述。

具体地，利用本例结构的传输系统100传输显示基板200时，显示基板200和传输面112c之间因摩擦或其他原因产生的静电，引入到导电件112d上，该静电进一步地引入与导电件112d电连接的滚轮轴111内，进一步地引入设置该滚轮轴111的机架120上，进一步地引入机架120上的第一接地端口121内，进一步地引入与该第一接地端口121电连接的接地线130内。引入接地线130的静电，例如，可以通过与该接地线130另一端电连接的第第二接地端口(该第二接地端口如前文所述，可以位于电柜中)释放掉静电。

本实施例结构的传输系统100，是利用机架120上设置的第一接地端口121进行释放静电的一种具体实施方式，利用与该第一接地端口121电连接的接地线130，将第一接地端口121所引入的静电通过接地线130释放掉，结构简单，能够有效降低该传输系统100的制作成本，同时，能够有效防止显示基板200和传输面112c之间因摩擦产生的静电击穿显示基板200，提高显示基板200的放电能力，提高产品的良率。

优选地，上述导电件112d的外轮廓的至少第一部分与所述滚轮本体112a的传输面112c上与该第一部分相邻的的第二部分滚轮本体之间的距离h为1-5mm。

参考图3，也就是说，上述的导电件112d的第一部分(图3中导电件112d顶端处)与滚轮本体112a的第二部分(图3中滚轮本体112a的顶端处，且该处与导电件112d的第一部分相邻)之间的距离h为1-5mm。

之所以这样设置，是因为本申请的发明人经过多次试验、反复修正的情况下，发现当导电件112d的第一部分与滚轮本体112a的第二部分存在上述距离关系时，才能够有效释放显示基板200和传输面112c因摩擦产生的静电，能够更有效地释放静电，相对于利用传统的滚轮进行传输显示基板200，采用本实施例结构的传输系统100中的滚轮112传输显示基板200，能够确保显示基板200的不良率从10.8％降低到1.5％。另外，基于显示基板200下垂量与因摩擦产生的损耗之间的关系，将第一部分和第二部分之间设置有安全距离(该安全距离大于1mm)，因此，还能够有效防止显示基板200与导电件112d接触，造成显示基板200被划伤或者导电件112d损坏，降低传输系统100的静电放电能力。因此，本实施例结构的传输系统100，能够有效保护显示基板200，有效提高产品良率。

优选地，为了能够进一步地彻底释放静电，上述滚轮112包括两个所述导电件112d。其中，两个所述导电件112d分别固定于该滚轮112的滚轮本体112a的两个端面112b上。

参考图3，优选地，上述导电件112d的厚度t为2-10mm。

本申请的发明人还发现，除了导电件112d的第一部分与滚轮本体112a的第二部分之间的距离能够影响静电释放程度以外，导电件112d的厚度t同样能够影响静电释放过程，经过多次试验以及反复修正，发明人发现，当导电件112d的厚度t在2-10mm时，能够进一步的有效释放显示基板200和传输面112c因摩擦产生的静电。因此，本实施例结构的传输系统100，能够有效保护显示基板200，有效提高产品良率。

优选地，上述滚轮本体112a的材料包括聚酰亚胺。

本实施例结构的传输系统100，采用由聚酰亚胺材料制成的滚轮本体112a，在进行显示基板200的传输时，能够避免滚轮本体112a对显示基板200造成划伤等不良现象，能够有效保护显示基板。

优选地，作为上述导电件112d的第一种具体实施方式，导电件112d可以采用金属贴片，该金属贴片可以粘结在导电件112d的两个端面112b上，该金属贴片的形状可以呈环形，呈环形的金属贴片的外轮廓的每处边缘与该处边缘对应的滚轮本体112a的传输面112c的边缘距离均可以在1-5mm，也就是说，该环形的金属贴片与滚轮本体112a同轴设置。另外，该环形的金属贴片中间的通孔用于放置滚轮轴111，该金属贴片与滚轮轴111接触，以实现电连接，传导静电。结构简单，且能够有效释放静电，有效保护显示基板200，提高产品良率。

优选地，作为上述导电件112d的第二种具体实施方式，导电件112d可以采用金属膜层，该金属膜层可以通过电镀等其他方式镀到滚轮本体112a的端面112b上，该种结构的传输系统100，相对金属贴片的方式，由于膜层与滚轮本体112a之间连接更加稳固，因此，该结构的传输系统100，能更有效地释放所产生的静电，提高产品良率。

参考图4，本实用新型的第二方面，涉及一种显示基板的生产设备300。其中，该生产设备300包括传输系统，所述传输系统包括前文记载的传输系统100。

本实施例结构的生产设备300，设置有上述结构的传输系统100，在进行显示基板200的生产传输中，当显示基板200和滚轮本体112a的传输面112c之间因摩擦或其他原因产生静电时，该静电会通过导电件112d、滚轮轴111，最终能够释放到大地上。因此，能够有效保护显示基板200，防止静电击穿显示基板200，提高产品生产良率。

优选地，上述生产设备300还包括电柜310。其中，该电柜310内设置有第二接地端口311，该第二接地端口311相当于该电柜310内的接地点。当该生产设备300中的传输系统100的结构包括接地线130时，该接地线130的另一端与所述第二接地端口311电连接。

需要说明的是，电柜310内所设置的第二接地端口311，不仅仅为上文中的接地线130提供接地点，还为电柜310中其他的用电设备提供接地点，从而可以简化整个系统的结构，能够降低该生产设备的成本。

具体地，利用本实施例结构的生产设备300处理显示基板200时，当显示基板200和传输面112c之间因摩擦或其他原因产生的静电时，该静电可以引入到导电件112d上，进一步地引入与导电件112d电连接的滚轮轴111内，进一步地引入设置该滚轮轴111的机架120上，进一步地引入机架120上的第一接地端口121内，进一步地引入接地线130内，最终通过与该接地线130电连接的第二接地端口311释放掉静电。因此，能够有效保护显示基板200，防止静电击穿显示基板200，提高产品良率。

优选地，上述生产设备300还包括用于光刻工艺的光源(图中并未示出)。

本实施例结构的生产设备300，用于对显示基板200进行光刻处理，例如，极紫外光刻处理。显示基板200在进行光刻时，因为光电效应等原因，显示基板200更容易产生静电，因此，光刻生产设备中利用该传输系统100，能够有效释放产生的静电，防止静电击穿显示基板200造成破坏，有效提高显示基板200的良率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。