一种硅片整形装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其涉及一种硅片整形装置。

背景技术：

太阳能电池制造领域中，扩散工序采用高温长时间将杂质原子扩散进硅片中，整体耗能较高。传统的扩散工序中，常常需要使用石英舟来盛放药品后置于石英管或者炉子内进行加热，从而使得药品产生化学反应，之后，需要将石英舟取出。而在进行电池片扩散工序前，需将承载盒中的太阳能电池片插入石英舟，目前太阳能电池片基本是通过人工插片方式插入石英舟中，其缺点在于人工插片后其硅片放置位置各有偏差，如通过人工调整的话操作生产效率低、劳动强度大，而且效果不理想，另外，现有的一种整形机构，仅通过硅片在石英舟上的X向进行整形，硅片边缘在石英舟上进行摩擦，容易造成边缘有磨损或碎裂等现象，造成产品的合格率低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种硅片整形装置，对硅片抬高再规整的放置在石英舟上，实现整形。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片整形装置，包括硅片整形机构，所述硅片整形机构分别安装于用于限位硅片的石英舟的左右两侧，两侧所述硅片整形机构分别对称安装；

所述硅片整形机构包括X向驱动部、Z向驱动部、转接支撑部和整形接触部；

所述X向驱动部的驱动方向垂直于所述石英舟的中轴线，且其输出端的端面朝向所述石英舟，所述Z向驱动部纵向安装于所述X向驱动部的输出端的端面，所述Z向驱动部的输出端通过所述转接支撑部安装有所述整形接触部，所述Z向驱动部控制所述L型支撑部和所述整形接触部的上升运动。

进一步的说明，所述转接支撑部为L型支撑部。

进一步的说明，所述整形接触部为一字型构件，其一字方向与所述X向驱动部的驱动方向相互垂直。

进一步的说明，所述整形接触部为尼龙板条。

进一步的说明，所述X向驱动部为前推气缸。

进一步的说明，所述Z向驱动部为上升气缸。

进一步的说明，所述硅片整形机构还包括Y向滑轨和Y向限位构件，所述Y向滑轨的导向与所述石英舟的中轴线相互平行，所述X向驱动部通过滑块可滑动的安装于所述Y向滑轨，所述Y向滑轨设置有限位孔，所述Y向限位构件通过锁定气缸安装于所述滑块，且其通过所述锁定气缸的上下驱动控制可卡入或离开所述限位孔内。

进一步的说明，所述限位孔排列设置有多个。

本实用新型的有益效果：对硅片进行抬高整形，可避免硅片在与石英舟的接触面上进行摩擦式的整形；可根据石英舟的位置来进行调整，无需调整负重的石英舟的位置来进行整形，具有方便性和可调整性。

附图说明

图1是本实用新型的一个实施例的结构示意图；

图2是本实用新型的一个实施例的侧视示意图；

图3是本实用新型的一个实施例的硅片整形机构的结构示意图。

其中：硅片整形机构1、X向驱动部11、Z向驱动部12、转接支撑部13、整形接触部14。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1-图3所示，一种硅片整形装置，包括硅片整形机构1，所述硅片整形机构1分别安装于用于限位硅片的石英舟的左右两侧，两侧所述硅片整形机构1分别对称安装；

所述硅片整形机构1包括X向驱动部11、Z向驱动部12、转接支撑部13和整形接触部14；

所述X向驱动部11的驱动方向垂直于所述石英舟的中轴线，且其输出端的端面朝向所述石英舟，所述Z向驱动部11纵向安装于所述X向驱动部11的输出端的端面，所述Z向驱动部12的输出端通过所述转接支撑部13安装有所述整形接触部14，所述Z向驱动部12控制所述L型支撑部13和所述整形接触部14的上升运动。

本申请硅片整形装置设置有两组驱动，一组X向前推驱动，一组Z向上升驱动，通过两组驱动可将放在石英舟不规整的太阳硅片进行整形，两侧的整形接触部14先由X向驱动部12的驱动移动到硅片的下方，随后由Z向驱动部12驱动其上升，将其接触到的硅片太高，将硅片统一规整后，再将硅片规整的轻轻放置在石英舟内，达到整形的效果，对硅片进行抬高整形，可避免硅片在与石英舟的接触面上进行摩擦式的整形。

进一步的说明，所述转接支撑部13为L型支撑部。通过转接支撑部13的设置，可避免X向驱动部12前推时，Z向驱动部不会碰撞到硅片或石英舟上，且其L型结构的设置，长杆为X向，短杆为Z向，优选为L型板件结构，可提供稳定的支撑力。

进一步的说明，所述整形接触部14为一字型构件，其一字方向与所述X向驱动部11的驱动方向相互垂直。为一字型构件，对多个硅片进行统一整形，规整后整体具有一致性。

进一步的说明，所述整形接触部14为尼龙板条。整形接触部14与硅片直接接触，选用刚性低的材料作为接触部，可有效的避免硅片边缘的损裂。

进一步的说明，所述X向驱动部11为前推气缸。

进一步的说明，所述Z向驱动部12为上升气缸。

进一步的说明，所述硅片整形机构1还包括Y向滑轨和Y向限位构件，所述Y向滑轨的导向与所述石英舟的中轴线相互平行，所述X向驱动部11通过滑块可滑动的安装于所述Y向滑轨，所述Y向滑轨设置有限位孔，所述Y向限位构件通过锁定气缸安装于所述滑块，且其通过所述锁定气缸的上下驱动控制可卡入或离开所述限位孔内。

硅片整形机构1设置有Y向调整结构，用于Y向调整硅片整形机构1的位置，可手动调整或电动控制，根据石英舟的位置来进行调整，无需调整负重的石英舟的位置来进行整形，具有方便性和可调整性。

进一步的说明，所述限位孔排列设置有多个。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。