一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架的制作方法

文档序号:14385299阅读:来源:国知局
一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架的制作方法

技术特征:

1.一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,包括能够搁置在所述扩散炉的恒温槽上的板状架体,所述架体上设有用于观察所述恒温槽内液位的观察孔、添加/抽放所述恒温槽内液体的进出液口、一个或多个能够容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。

2.根据权利要求1所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述架体的材质为不锈钢,所述容置槽通过冲压所述架体使所述架体向下凹陷形成。

3.根据权利要求1所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述容置槽内径大于所述三氯氧磷源瓶的外径,所述容置槽的壁体上设有若干个能够与所述三氯氧磷源瓶的瓶体接触的凸起。

4.根据权利要求3所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述凸起通过冲压所述容置槽的壁体使所述壁体向内凹陷形成。

5.根据权利要求3所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述凸起为曲面形状。

6.根据权利要求1所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述架体的朝向所述恒温槽的表面上还设有多个吸盘。

7.根据权利要求6所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述架体的朝向所述恒温槽的表面上设有多个分别与各个所述吸盘的端部紧配合的固定孔。

8.根据权利要求1所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述观察孔为圆孔,所述进出液口为方孔。

9.根据权利要求1所述的扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架,其特征在于,所述架体为矩形,其各个顶角为圆角。

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