技术总结
本实用新型公开了一种扩散炉用的三氯氧磷源瓶支架，包括能够搁置在所述扩散炉的恒温槽上的板状架体，所述架体上设有用于观察所述恒温槽内液位的观察孔、添加/抽放所述恒温槽内液体的进出液口、一个或多个能够容置所述三氯氧磷源瓶的容置槽。本实用新型利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，避免源瓶倾斜，保证扩散效果，增加了扩散工序的安全性；利用容置槽搁置三氯氧磷源瓶，阻止三氯氧磷源瓶与水直接接触，当源瓶意外破裂时不至于与水发生反应，保证安全；观察孔方便日常检查、观察恒温槽内液位；进出液口方便抽放恒温槽内液体或向恒温槽内添加新液；另外，观察孔与进出液口可兼做提手使用，方便安装拆卸该支架。
技术研发人员：张衡;蒋万昌;郭梦龙;王海超
受保护的技术使用者：合肥海润光伏科技有限公司;太仓海润太阳能有限公司
文档号码：201720771056
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2018.05.08