1.一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，其特征在于，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。
2.根据权利要求1所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述第一圆孔的圆心在所述锥体(4)的轴线上，所述锥体(4)的侧母线为直线；
所述锥体(4)通过螺钉或者焊接固定在所述波导同轴变换器的底面上。
3.根据权利要求1所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述第一圆孔的孔径与所述同轴线内导体(5)的直径相同。
4.根据权利要求1所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述波导同轴转换器为长方体，所述敞开口为长方形口，所述敞开口的尺寸与所述调谐器(3)的输出端口尺寸相同。
5.根据权利要求4所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述敞开口处具有法兰盘，所述敞开口和所述调谐器(3)的输出端口通过法兰连接。
6.根据权利要求1-5任一项所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述波导同轴转换器的顶面开设有第二圆孔，所述第二圆孔与同轴线外导体(6)相连接，所述第二圆孔的孔径与所述同轴线外导体(6)的内径相同。
7.根据权利要求6所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述第二圆孔的外周具有用于定位所述同轴线外导体(6)的沉孔。
8.根据权利要求1-5任一项所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述波导同轴变换器的底面内有水冷通道(7)。
9.根据权利要求8所述的波导同轴转换器，其特征在于，所述波导同轴变换器的所述敞开口的对侧通过挡板密封，所述挡板采用螺钉或焊接与所述波导同轴变换器的底面和顶面连接，所述挡板里面形状为弧面或者平面。
10.一种微波等离子体系统，包括水平安装在运动载台上的微波头(1)、隔离器(2)、调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件、等离子体谐振腔(8)以及连接所述调谐器(3)和所述同轴线导体部件的波导同轴转换器，其特征在于，所述波导同轴转换器具体为权利要求1至9任一项所述的波导同轴转换器。