技术总结
本实用新型公开了一种微波等离子体系统的波导同轴转换器，用于连接水平安装的调谐器(3)和垂直安装的同轴线导体部件，内部具有中空腔体，所述腔体的一端具有敞开口且所述敞开口与所述调谐器(3)的输出端口连接，所述腔体安装有锥体(4)，沿所述锥体(4)轴线开有第一圆孔，同轴线内导体(5)插于所述第一圆孔中。该波导同轴转换器有效地解决了微波等离子体系统使用稳定性较差等问题。本实用新型还公开了一种包括上述波导同轴转换器的微波等离子体系统。
技术研发人员：高玉桥;孙效义;连海洲
受保护的技术使用者：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
文档号码：201720989624
技术研发日：2017.08.09
技术公布日：2018.02.09