一种半导体芯片制造设备的制作方法

文档序号:14965572发布日期:2018-07-18 02:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体芯片制造设备,包括固定箱(1),其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有第一电机(2),并且第一电机(2)的输出轴固定连接有丝杆(3),所述丝杆(3)的表面螺纹连接有套管(4),并且套管(4)的表面固定连接有转轴(5),所述转轴(5)的表面套设有螺纹杆(6),所述转轴(5)贯穿固定箱(1)且延伸至固定箱(1)的外部,所述转轴(5)延伸至固定箱(1)外部的一端固定连接有转柄(23),所述螺纹杆(6)的表面螺纹连接有移动块(7),并且移动块(7)的底部固定连接有喷头(8),所述喷头(8)的左侧连通有进液管(9),并且喷头(8)的右侧连通有高压进气管(10),所述固定箱(1)内壁的一侧固定连接有静电发生器(11),并且固定箱(1)内壁的底部固定连接有第二电机(12),所述第二电机(12)的输出轴固定连接有转动装置(13),所述转动装置(13)的中部贯穿有驱动轴(14),并且驱动轴(14)的顶端固定连接有金属圆盘(15),所述金属圆盘(15)的顶部设置有半导体芯片(16),并且金属圆盘(15)底部的两侧均通过支撑柱与固定箱(1)内壁的底部转动连接,所述金属圆盘(15)的两侧均固定连接有支撑架(17),并且支撑架(17)的底部固定连接有压紧装置(18)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述转动装置(13)包括转动轮(131),所述转动轮(131)的中部与第二电机(12)的输出轴固定连接,所述转动轮(131)的中部固定连接有转杆(132),所述转杆(132)远离转动轮(131)的一端固定连接有转头(133),并且转头(133)的表面通过斜槽(134)转动连接有转盘(135),所述转盘(135)的中部与驱动轴(14)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述压紧装置(18)包括固定板(181),并且固定板(181)的顶部与支撑架(17)的底部固定连接,所述固定板(181)的底部固定连接有伸缩杆(182),并且伸缩杆(182)的表面套设有伸缩弹簧(183),所述伸缩杆(182)的底端固定连接有压板(184)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的顶部固定连接有滑槽(19),并且移动块(7)的顶部通过滑块与滑槽(19)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)内壁的一侧开设有移动槽(20),并且套管(4)的表面通过滑块与移动槽(20)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片制造设备,其特征在于:所述固定箱(1)的底部固定连接有底板(21),并且底板(21)底部的两侧均固定连接有底脚(22)。

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