技术总结
本实用新型涉及一种基板处理装置，其包括：收容缓冲器，其收容向被处理基板的表面供给的药液；药液移送泵，其依靠重力通过从所述缓冲器延长的第一配管得到药液的供给，从而供给药液，并且位于所述收容缓冲器的下侧，从而提供如下一种基板处理装置，利用药液的位能从收容缓冲器向药液移送泵供给药液，据此，防止因用气体来加压而以在药液内产生气泡的状态进行涂覆，从而提高基板的涂覆质量。
技术研发人员：赵康一
受保护的技术使用者：凯斯科技股份有限公司
技术研发日：2017.12.28
技术公布日：2018.08.28