本实用新型涉及一种基板处理装置，更加详细地涉及一种基板处理装置，为了在被处理基板表面涂覆药液，在供给药液的过程中减少流入至药液的气泡的含量。
背景技术：
在制造LCD等平板显示器的工艺中，伴随在由玻璃等制作的被处理基板的表面涂覆抗蚀剂等药液的涂覆工艺。尤其，最近涂覆于被处理基板的表面的药液的粘度逐渐变高，据此气泡的产生对药液涂覆质量产生的影响逐渐变大。
在平板显示器的尺寸小的现有技术中，使用了如下旋转涂覆方法：在被处理基板的中央部涂覆药液的同时，使得被处理基板旋转，据此，在被处理基板的表面涂覆药液。
但是，随着显示器画面的尺寸逐渐成为大型化，几乎不使用旋转涂覆方式，而使用如下方式的涂覆方法：使得具有与被处理基板的宽度相对应的长度的狭缝形态的药液喷嘴和被处理基板进行相对移动，同时从药液喷嘴向被处理基板的表面涂覆药液。
换句话说，如图1所示，基板处理装置8包括：平台60，其支撑基板G；药液喷嘴70，其以与基板G的宽度一样长的宽度形成，并且沿着用附图标号70d来表示的方向与基板G进行相对移动，从而在基板G的表面以一定厚度涂覆药液99；药液供给装置80，其向药液喷嘴70供给药液99。
就如此构成的基板处理装置8而言，将基板G和药液喷嘴70进行相对移动的同时在基板G的表面涂覆药液99的一次工艺中所使用的量的药液99填充于药液分配泵1后，通过药液喷嘴70涂覆药液。更加具体地，如图2所示，使得药液99从筒90填充至缓冲器81，通过开放泵填充阀83a而从缓冲器81通过药液供给管83向药液分配泵82内部的腔室(未图示)填充将要在一次基板涂覆工艺中使用的量的药液99后，开放喷嘴开闭阀83b，从而在基板G和药液喷嘴20进行相对移动70d的同时，在基板G的表面涂覆药液99。
此时，如图3所示，为了将从筒90通过供给管90L向附图标号99x1供给后填充于缓冲器81的药液99供给至药液分配泵82，在缓冲器81的上侧加压高压的氮气，被气体加压的药液通过药液供给管83移动至药液分配泵1。
但是，在用气体对填充于缓冲器81的药液99进行加压的过程中，由于根据亨利定律的气体的量流入至药液99，因此导致如下问题：移送至药液分配泵1的药液99中含有气 泡99a，同时降低药液的涂覆质量。尤其，随着药液99的粘度逐渐变高，药液99中含有的气泡99a对被处理基板的涂覆质量产生更加大的不良影响，因此迫切需要一种更加降低在涂覆于被处理基板G的药液99中所含有的气泡的含量的方案。
技术实现要素：
为了解决如上所述的问题，本实用新型的目的在于，在被处理基板的表面涂覆药液的工艺中，抑制因含有气泡的药液涂覆于被处理基板而导致涂覆质量下降。
据此，其目的在于，更加可靠地提高在被处理基板的表面上的药液涂覆质量，并且提高工艺的效率。
为了实现如上所述的目的，本实用新型提供一种基板处理装置，基板处理装置在被处理基板的表面涂覆药液，所述基板处理装置的特征在于，包括：收容缓冲器，其收容向所述被处理基板的表面供给的药液；药液移送泵，其通过从所述缓冲器延长的第一配管得到药液的供给，从而供给药液，并且位于与所述收容缓冲器相同的高度或者下侧；药液喷嘴，其将从所述药液移送泵得到供给的药液涂覆于所述被处理基板。
如上所述，本实用新型中，在收容缓冲器的下侧设置药液移送泵，从而可利用填充于收容缓冲器的药液的位能而供给至药液移送泵，因此可以解决在现有技术中存在的如下问题：在通过加压气体来供给至药液移送泵的过程中，在药液中含有气泡，从而降低涂覆质量。
换句话说，本实用新型中，从所述收容缓冲器通过第一配管传递至所述药液移送泵的药液可以因重力而自然下降并被移送。
此时，所述第一配管从所述收容缓冲器的底面延长至所述药液移送泵，从而在药液通过第一配管移送至药液移送泵的过程中，填充于收容缓冲器的药液可从下侧通过重力顺畅地移送至药液移送泵。
此时，在所述收容缓冲器中，排气口可以形成于药液的收容高度的上侧。据此，在填充于收容缓冲器的药液通过第一配管移送至药液移送泵的期间，在收容缓冲器内的空气空了的空间的体积变化的情况下，也可以使得药液顺畅地移送至药液移送泵。
另外，根据本实用新型的其他实施形态，代替在收容缓冲器的上侧形成排气口，也可以以与填充于收容缓冲器的药液通过第一配管移送至药液移送泵的量一样的量，从筒向收容缓冲器供给药液，从而使得收容缓冲器内的空的空间的体积保持一定。
在此，如果构成为当收容缓冲器内的药液开始通过第一配管移送至药液移送泵之后， 从筒向收容缓冲器补充药液，则与药液未通过第一配管移送至药液移送泵的情况相比，收容缓冲器内的空的空间保持稍微膨胀的状态，同时成为比大气压稍微低的负压状态，因此可获得如下有利的效果：可以完全去除收容缓冲器内的气体根据亨利定律而溶解于药液的效果。
另外，在所述第一配管还设置有气泡感知传感器，气泡感知传感器在所述药液从所述收容缓冲器移送至所述药液收容部的期间，对气泡的含量进行测量，如果通过所述气泡感知传感器测量出通过所述第一配管的药液中含有规定的含量以上的气泡，则关闭所述第一配管，因此可以防止含有基准值以上气泡的药液涂覆于被处理基板。
在此，所述药液移送泵可适用为叶片泵、离心泵、线性泵等多种形态的泵形态。此时，优选地，为了在抽吸药液的工艺中切断气体流入，所述药液移送泵设置有药液收容部，从而可以抑制在泵推挤药液的过程中气泡被溶解于药液，所述泵为对通过所述第一配管流入的药液进行物理加压并推挤的方式的泵。
例如，所述药液移送泵可构成为活塞泵，活塞泵包括：气缸，其形成有流入端口和流出端口，并且形成有所述药液收容部，流入端口与所述第一配管相连接，流出端口排出被推挤的药液；活塞，其在所述气缸的内部进行往复移动，同时加压面对所述药液进行物理推挤。
在此，所述流出端口形成于与所述活塞进行往复移动的所述加压面相面对的位置，从而在将移送至药液移送泵的药液收容部的药液朝向药液喷嘴供给的过程中，被活塞加压的药液通过流出端口直接排出，因此在药液从药液移送泵排出的过程中，可以抑制在药液内产生气泡。
此时，所述活塞的所述加压面形成为与所述气缸的相对面相同的形状，所述气缸的相对面与所述加压面相面对，在药液从药液收容部排出的过程中，使得药液的涡流最小化，并且抑制由药液涡流引起的气泡的产生。
并且，所述活塞进行往复移动的所述气缸内的第一空间和药液流入后被排出的所述药液收容部通过柔韧性材料的密封膜被分开，就所述密封膜而言，一部分固定于所述活塞，从而随着所述活塞的往复移动一起移动，据此可以抑制随着活塞的往复移动而在活塞周边的药液产生气泡。
并且，所述密封膜利用埋头螺丝固定于所述活塞的加压面，从而在密封膜和活塞的固定结构中以没有凸出的部分的形式构成，因此在活塞的加压面周边可以抑制由药液的涡流引起的气泡产生。
此外，所述流入端口可构成为位于所述活塞的往复移动通道的侧面。此时，在所述活塞以不遮挡所述流入端口的形式后退的状态下，可以起到将药液从所述收容缓冲器供给至所述药液收容部的作用。据此，在药液收容部被充分确保的状态下，药液从收容缓冲器移送至药液移送泵，因此药液可以从收容缓冲器顺畅地流入至药液移送泵。
另外，根据本实用新型的其他实施形态，所述活塞从遮挡所述流入端口的状态向不遮挡所述流入端口的状态后退移动的同时，也可以从所述收容缓冲器向所述药液收容部供给药液。据此，对药液收容部施加较弱的负压，从而由于重力和负压而产生的吸引力使得药液从收容缓冲器移送至药液收容部，据此可提高药液的移送效率。
另外，所述药液移送泵也可以直接与药液喷嘴相连接，但是，优选地，在所述药液移送泵和所述药液喷嘴之间设置有药液分配泵，药液分配泵利用预定的压力将所述药液供给至所述药液喷嘴。
并且，所述药液分配泵在所述药液喷嘴的上侧位于与所述药液喷嘴靠近的位置，据此，可以利用在药液分配泵进行控制的加压力而精密地对药液的喷射压进行调节，同时精确地对向被处理基板的表面喷射的药液的每单位时间喷射量进行控制。
据此，位于收容缓冲器的下侧的药液移送泵设置于药液分配泵的下侧，从药液移送泵排出的药液供给至药液分配泵，同时经过两步骤的移送将药液喷射并涂覆于被处理基板的表面。
如此构成的基板处理装置还包括平台，使得所述被处理基板放置于平台，所述药液喷嘴相对于所述被处理基板进行移动，同时从所述药液喷嘴向所述被处理基板的表面涂覆药液。
此外，根据本实用新型的基板处理装置还包括：悬浮平台，其使得所述被处理基板悬浮；移送部件，其在所述悬浮平台上移送所述被处理基板，所述药液喷嘴也可以在以悬浮的状态移送的所述被处理基板的表面涂覆药液。
在此，所述悬浮平台利用超声波振动使得所述被处理基板悬浮，因此与空气喷射方式相比，可以使得被处理基板的温度保持一定，从而可以获得如下优点：抑制因被处理基板的温度差异而产生的药液的污点现象。
如上面说明的一样，本实用新型中，使得药液移送泵位于收容缓冲器的下侧，收容缓冲器收容向被处理基板的表面供给的药液，并且利用药液的位能将药液从收容缓冲器供给至药液移送泵，据此，可以获得如下有利效果：防止因利用气体进行加压而以在药液内产生气泡的状态被涂覆，从而使得基板的涂覆质量提高。
此外，本实用新型中，在收容缓冲器和药液移送泵之间设置有气泡感知传感器，据此，可以获得如下效果：事先防止含有基准值以上气泡的药液涂覆于被处理基板，从而预防涂覆不良。
并且，本实用新型中，以与填充于收容缓冲器的药液通过第一配管移送至药液移送泵的量一样的量，从筒向收容缓冲器供给药液，从而使得收容缓冲器内的空的空间的体积保持一定，据此，可以获得如下效果：也可以利用药液的位能而顺畅地移送药液。
不仅如此，本实用新型中，收容缓冲器内的药液开始通过第一配管移送至药液移送泵之后，从筒向收容缓冲器补充药液，因为药液没有填充于收容缓冲器内，从而填充有气体的空的空间保持比大气压稍微低的负压状态，据此，可以获得如下有利的效果：可以完全去除收容缓冲器内的气体根据亨利定律而溶解于药液的效果。
并且，本实用新型中，构成为活塞泵，活塞泵包括在气缸的内部进行往复移动的活塞，将药液收容部的流出端口形成于与活塞进行往复移动的加压面相面对的位置，从而在从药液移送泵排出药液的过程中，具有抑制在药液内产生气泡的效果。
此外，本实用新型中，将药液移送泵的活塞加压面的形状形成为和与其相面对的气缸的相对面相同的形状，从而在从药液收容部排出药液的过程中，也可以获得如下优点：使得药液的涡流最小化，抑制由药液涡流引起的气泡的产生。
尤其，本实用新型中，以利用物理加压力进行推挤的方式将药液供给至药液分配泵，因此可以获得如下有利效果：保障在不产生气泡的状态下不仅移送100cp以上的中等粘度药液，而且还移送1000cp以上的高等粘度药液。
据此，本实用新型可获得如下效果：可以更加可靠地提高为了涂覆于被处理基板的表面而供给的药液的质量。
附图说明
图1是示出一般的基板处理装置的构成的立体图。
图2是示出图1的药液供给构成的概略图。
图3是示出图2的缓冲器的构成的图。
图4是示出根据本实用新型的一个实施例的基板处理装置的构成的立体图。
图5是沿着图4的截断线V-V的截面图。
图6a及图6b是图4的“A”部分的放大图，是用于说明收容缓冲器和基板移送泵的详细构成及作用的图。
具体实施方式
以下，参照附图，对根据本实用新型的一个实施例的基板处理装置100进行详细说明。但是，在说明本实用新型时，为了使得本实用新型的要旨清楚，省略针对公知的功能或者构成的具体说明。
图4是示出根据本实用新型的一个实施例的基板处理装置的构成的立体图，图5是沿着图4的截断线V-V的截面图，图6a及图6b是图4的“A”部分的放大图，是用于说明收容缓冲器和基板移送泵的详细构成的图。
如图所示，根据本实用新型的一个实施例的基板处理装置100包括：悬浮平台110，其设置于框架2上，通过由振动器V产生的超声波振动来使得悬浮力110p产生；移送部件120，其以夹紧通过悬浮平台110的悬浮力110p而悬浮的被处理基板G的状态进行移送；起重台架130，其根据需要可以沿着轨道132移动，在药液涂覆处理工艺中处于停止的状态；药液喷嘴140，其固定于连接起重台架130的联杆器135，并且向以悬浮的状态移送的被处理基板G的表面喷射药液；药液分配泵150，其通过精确的压力控制来向药液喷嘴140供给药液；药液移送泵160，其向药液分配泵150供给一次用量的药液；收容缓冲器170，其位于药液移送泵160的上侧，从筒90得到药液99的供给并收容，然后利用药液99的位能供给至药液移送泵160的药液收容部160c。
就所述悬浮平台110而言，通过振动器V使得多个振动板振动，同时在其上面形成由超声波振动而产生的悬浮力110p。根据本实用新型的其他实施例，悬浮平台110设置有多个空气喷射孔，从而也可以通过空气喷射力来产生悬浮力110p。据此，供给于悬浮平台110的被处理基板G保持因悬浮力110p而悬浮的状态。
就所述移送部件120而言，空气轴承120b沿着移送轨道122以悬浮的状态移动，移送轨道122沿着悬浮平台110的两侧排列，在放置有被处理基板G的位置施加吸入压120a。由此，被处理基板G以吸附固定于移送部件120的状态沿着移送部件120的位置一起移动。
所述药液喷嘴140在被处理基板G利用移送部件120通过下侧的期间喷射药液99，从而将药液涂覆于被处理基板G的表面。
就从药液喷嘴140喷射的药液而言，应在整个喷射口保持均匀地喷射压，因此对药液的喷射压进行调节的药液分配泵150配置于与药液140喷嘴靠近的位置。优选地，如图5所示，药液分配泵150配置为靠近联杆器135的上侧，从而精确地对从药液分配泵150排出99x3的药液的压力进行调节。
所述收容缓冲器170通过药液供给管71从筒90得到药液99的供给，筒99保管规定的涂覆量的药液99。由此，如图6a及图6b所示，保持为在收容缓冲器170收容有药液99的状态。
在收容缓冲器170的底面形成有与延长至药液移送泵160的药液收容部161c的第一配管72相连接的流出端口170a，从而在每一次对被处理基板G进行药液涂覆处理工艺时，药液99通过第一配管72供给至药液移送泵160。
在此，利用与药液移送泵160相比位于上侧的收容缓冲器170内的药液99的位能来将收容于收容缓冲器170的药液供给至药液移送泵160。换句话说，如果开放第一配管72的开闭阀72a，则因重力而通过第一配管72供给至药液移送泵160的药液收容部161c。此时，在收容缓冲器170的上侧形成有排气孔170x，为了防止因在收容缓冲器170内没有填充药液99的空的空间170c的压力变动而导致药液99无法通过重力顺畅地排出99x1，可以形成有排气口170a。
另外，如果收容于收容缓冲器170内的药液99的量有变动，则可以使得每单位时间通过第一配管72供给至药液移送泵160的流量发生变动，因此，以与通过第一配管72供给至药液移送泵160的药液的量一样的量，从筒90向收容缓冲器170补充供给99x0药液。
如上所述，代替通过用气体来加压而将药液从收容缓冲器170移送至药液分配泵150，使得收容缓冲器170位于药液移送泵160的上侧，并且利用重力等位能来以自然下降的形态移送至药液移送泵160，在药液移送泵160利用活塞等通过物理加压来移送药液99，据此，可以防止在药液99产生气泡，由此可以提高涂覆于被处理基板G的药液涂覆质量。此时，优选地，收容缓冲器170位于药液移送泵160的上侧，但是即使收容缓冲器170位于与药液移送泵160相同的高度，而且即使收容于收容缓冲器170的药液的水位比药液移送泵160的位置高，也可以利用重力等位能以没有气泡的状态向药液移送泵160移送高粘度的药液。
另外，在收容缓冲器170的内部可以设置有对被收容的药液99进行搅拌的搅拌器177，并且以搅拌药液99的形式构成。据此，药液内的一部分成分不会沉淀，而是在整体上保持均匀的密度分布，从而可以将均匀化的状态的药液涂覆于被处理基板G。
另外，根据本实用新型的其他实施形态，也可以在收容缓冲器170的上侧不形成排气口170a。与此同时，以与填充于收容缓冲器170的药液99通过第一配管72向药液移送泵160移送的量一样的量，从筒90向收容缓冲器170供给99x0药液99，并且在收容缓冲器170内的药液99开始通过第一配管72向药液移送泵160移送而使得空的空间170c的体积稍微 膨胀的状态下，可以从筒90向收容缓冲器170补充供给99x0药液99。
由此，与药液未通过第一配管72向药液移送泵160移送时相比，收容缓冲器170内的空的空间170c保持稍微膨胀的状态，因此空的空间170c的压力保持为比大气压稍微低的负压状态，据此，可以防止气体根据亨利定律而溶解于收容在收容缓冲器170的药液99的同时，相反地诱导药液99中含有的气泡排出至空的空间170c，因此可以获得在从收容缓冲器170向药液移送泵160移送的药液99内完全去除气泡的有利效果。
另外，在第一配管72设置有气泡感知传感器180，气泡感知传感器180对通过重力而被移送的药液99内的气泡量进行感知，在药液99内含有超过规定的值的气泡的情况下，开闭阀72a、73x全部被关闭，从而防止含有大量气泡的药液99涂覆于被处理基板G。
所述药液移送泵160接收从收容缓冲器170以自然下降的方式供给至药液收容部161c的无气泡的药液99，从而以药液收容部161c的体积缩小的方式向药液施加加压力，进而以没有产生气泡的状态向药液分配泵150供给药液。
根据本实用新型的其他实施形态，虽然包括通过药液移送泵160直接向药液喷嘴140供给药液的构成，但是为了能够精确地对在药液喷嘴140的喷射口的喷射压进行调节，药液分配泵150应位于靠近药液喷嘴140的位置，因此，根据本实用新型的优选实施形态，经过药液移送泵160向精确地对药液的喷射压进行调节的药液分配泵150供给药液的两个步骤。而且，药液移送泵160位于与收容缓冲器170相同的高度或者下侧，因此难以将药液移送泵160配置于靠近药液喷嘴140的位置。如上所述，根据通过两个步骤供给药液的构成，可以获得如下优点：更加确定地去除气泡，同时精确地对在药液喷嘴140的喷射压进行调节，从而提高药液的涂覆质量。
药液移送泵160可以适用叶片泵等公知的多种形态的泵。根据本实用新型的一个实施形态，药液移送泵160可形成为活塞泵，活塞泵包括：气缸161，其设置有内部空间；活塞162，其在气缸161内部往复移动；密封膜163，其为了调节药液收容部161c的体积，将活塞162所处的区域和药液99被收容的区域分开，同时由柔韧性材料形成。
在此，活塞162由比气缸161的内部截面稍微小的截面形成，并且以活塞杆162b利用操作装置进行往复移动的形式得到控制，据此在气缸161内部进行往复移动。此时，操作装置由线性马达形成，从而可以可靠地往返规定的长度的往复移动冲程，并且可以更加准确地保持药液的喷射量和喷射压。
并且，通过柔韧性材料的密封膜163将活塞162进行往复移动的气缸161内的第一空间162c和药液流入后被排出99x2的药液收容部161c分开，所述密封膜163利用埋头螺丝162 a固定于活塞162，从而随着活塞162的往复移动而一起移动的同时反复折叠与展开。据此，收容于药液收容部161c的药液渗透至活塞162和气缸161的内壁之间缝隙，同时抑制随着活塞162的往复移动而在活塞周边产生气泡，并确保密封性。
此外，密封膜163利用埋头螺丝162a固定于活塞162的加压面162s，据此在密封膜163和活塞162的固定结构中以没有凸出的部分的形式形成，因此可以在活塞162进行往复移动的期间抑制在加压面162s周边的药液产生由涡流引起的气泡。
如图6a及图6b所示，流入端口161i位于活塞162的往复移动通道的侧面，药液99从收容缓冲器170向流入端口161i流入，流出端口161o形成于与活塞162的加压面162s相面对的面，药液以从药液收容部161c向药液分配泵150移送的形式被排出99x2。据此，在将向药液移送泵160的药液收容部161c移送的药液供给至药液分配泵150的过程中，被活塞162加压的药液通过流出端口161o直接被排出99x2，因此可以在药液99从药液移送泵160被排出99x2的过程中抑制在药液内产生气泡。
并且，药液移送泵160的活塞162的所述加压面162s形成为和气缸161的相对面161s相同的形状，气缸161的相对面161s与加压面162s相面对，从而在活塞162从图6a所示的活塞162的后退状态向图6b所示的活塞162的前进状态移动的过程中，在活塞162的加压面162s和气缸161的相对面161s之间使得在药液产生涡流的现象最小化，从而在药液从药液收容部161c通过流出端口161o被排出99x2的过程中，抑制由药液涡流引起的气泡的产生。
另外，就药液99从收容缓冲器170供给99x1至药液移送泵160的药液收容部161c的过程而言，如图6a所示，在活塞162为了不遮挡位于往复移动通道的侧面的流入端口161i而后退的状态下，可以以从收容缓冲器170向药液收容部161c供给药液的形式起作用。
如上所述，在药液收容部161c的体积充分变大的状态下，药液99从收容缓冲器170向药液移送泵160移送99x1，据此，药液可以顺畅地从收容缓冲器流入至药液移送泵。
根据本实用新型的其他实施形态，在活塞162从遮挡流入端口161i的状态向不遮挡流入端口161i的状态后退移动的动作中，也可以从收容缓冲器170向药液收容部161c供给99x1药液99。在此情况下，随着药液收容部161c的体积膨胀，药液收容部161c的压力成为比大气压稍微低的负压，因此，由于药液99从收容缓冲器170向药液收容部161c移动99x1的原因力，因而附加由因药液99的位能而产生的重力和药液收容部161c的负压而产生的吸引力，从而可以提高药液的移送效率。在此实施例中，具有如下优点：即使是收容缓冲器170位于与药液移送泵160相同的高度的情况，也可以移送药液。
如上所述，就流入至药液移送泵160的药液收容部161c的药液99而言，如图6b所示，通过活塞162前进而缩小药液收容部161c的体积，据此，可以通过与活塞加压面162s相面对的相对面161s的流出端口161o向药液分配泵150以无气泡的状态供给药液。
根据如此构成的本实用新型的基板处理装置100构成为，使得药液移送泵160位于与收容缓冲器170相同的高度或者下侧，收容缓冲器170收容涂覆于被处理基板G的表面的药液99，利用药液的位能从收容缓冲器170向药液移送泵160供给药液，并且将药液从药液移送泵160供给至配置于靠近药液喷嘴140的上侧的药液分配泵150，据此可以获得如下效果：可以使得在涂覆于被处理基板G的药液产生的气泡最小化，从而提高基板的涂覆质量，针对1000cp以上的高粘度的药液，也可以抑制气泡的产生的同时可靠地进行移送，在收容缓冲器和药液移送泵之间设置气泡感知传感器，据此事先防止含有基准值以上气泡的药液涂覆于被处理基板，从而预防涂覆不良，因此可以更加可靠地提高以涂覆于被处理基板的表面的形式供给的药液的质量。
以上，以示例的形式对本实用新型的优选实施例进行了说明，但是本实用新型的范围并非仅限于如上所述的特定实施例，而且可以在记载于专利权利要求书的范围内适当地进行变更。另外，在附图中举例说明了喷射口和吸入口分别形成一个的构成，但是，也可以在气缸的外周面以相隔90度、120度、180度的间距的形式形成两个以上吸入口。
标号说明
100:基板处理装置 110:悬浮平台
120:移送部件 130:起重台架
140:药液喷嘴 150:药液分配泵
160:药液移送泵 161:气缸
162:活塞 162s:加压面
161s:相对面 170:收容缓冲器
163:密封部件