可调节电荷量的等离子体工艺设备的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及可以根据基板的物理性质相应地调节到达基板的等离子体离子等电荷量的等离子体工艺设备。等离子体工艺设备具备电荷测量器和控制部。电荷量测量器是在基板区域测量电荷量。控制部是控制施加于离子源的电源，使从电荷量测量器接收的测量电荷量收敛于基板的最佳电荷量。

技术研发人员：黄允硕;许闰成
受保护的技术使用者：发仁首路先株式会社
技术研发日：2017.04.04
技术公布日：2018.11.23