技术特征：
技术总结
本发明提供一种用于制作柔性薄膜晶体管或柔性薄膜二极管的柔性金属衬底及其制备方法和应用，该柔性金属衬底附着在母体上，通过原子力显微镜在10×10μm的扫描范围下观察时，所述柔性金属衬底的均方根粗糙度<10nm。本发明采用金属作为衬底制备柔性薄膜晶体管或薄膜二极管，有效地解决了现有的有机柔性衬底不能承受高温处理的问题。结合高温热退火工艺，薄膜晶体管和二极管的电学性能和稳定性可以大幅提高。金属衬底的高热导率还可以将晶体管和二极管工作时散发的热量及时地传导出去，消除了热效应对器件的影响，进一步提高了其性能和稳定性。
技术研发人员：霍文星;梅增霞;梁会力;张永晖;崔书娟;隋妍心;杜小龙
受保护的技术使用者：中国科学院物理研究所
技术研发日：2018.01.30
技术公布日：2018.08.07