一种光电效应增强的放电装置的制作方法

文档序号:19120584发布日期:2019-11-13 01:36阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种利用光电效应提高放电效率的装置。该方法利用光电效应在放电电极或腔体上产生光电子,从而提高放电电离的稳定性,降低放电电压,并将产生的离子利用电场透镜传输。

技术研发人员:赵晓峰
受保护的技术使用者:赵晓峰
技术研发日:2018.05.05
技术公布日:2019.11.12
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