一种氯化物体系制备铜镓碲薄膜的方法与流程

文档序号:15697906发布日期:2018-10-19 19:21阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种氯化物体系制备铜镓碲薄膜材料的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗玻璃基片,然后将TeO2、CuCl2和GaCl3先后放入溶剂中,配制澄清透明溶液,用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜,自然晾干,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥,可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量,得到铜镓碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得铜镓碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性,这种新工艺为制备高性能的铜镓碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。

技术研发人员:刘科高;李静;许超;赵忠新;刘宏
受保护的技术使用者:山东建筑大学
技术研发日:2018.05.28
技术公布日:2018.10.19
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