技术特征:
技术总结
本发明涉及半导体技术领域,公开了一种双层彩色滤光器及其形成方法,包括:提供固态影像器件,在固态影像器件上形成第一彩色滤光片层;刻蚀第一彩色滤光片层,形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器;在第一滤光器的第一凸面轮廓上形成第二彩色滤光片层;刻蚀第二彩色滤光片层,形成具有第二凸面轮廓的第二滤光器。本发明通过在固态影像器件上形成具有第一凸面轮廓的第一滤光器和具有第二凸面轮廓的第二滤光器,而不需要形成微透镜,能够更加有效地对光进行聚光和过滤,从而能够提高图像传感器的性能并降低生产成本和制造难度。
技术研发人员:张东亮;金子贵昭;黄晓橹
受保护的技术使用者:德淮半导体有限公司
技术研发日:2018.08.28
技术公布日:2019.01.04