一种便于维护的基座的制作方法

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种便于维护的基座。

背景技术：

目前化学法钨沉积机台(lamwcd机台)的每个工艺腔体有4个基座。然而工艺腔体内的制程处于高温且含氟化物的工作环境中，这种工作环境会导致基座上固定轮挡的陶瓷螺钉和弹性垫圈容易损坏，主要指陶瓷螺钉的顶部容易断裂，从而需要对陶瓷螺钉和弹性垫圈进行更换。

如图1所示，现有技术中基座1内包括陶瓷螺钉6，而且陶瓷螺钉6为实心设计，陶瓷螺钉6与基座1之间设有螺帽3，螺帽3上方设有缓冲装置5，即缓冲装置5位于基座1的安装通孔内，较难拆卸。当陶瓷螺钉6或缓冲装置5损坏需要更换时，因为陶瓷螺钉6较难拆卸和缓冲装置5安装在螺帽3上方，所以需要将整个基座1进行拆卸才能进一步进行更换陶瓷螺钉6或缓冲装置5的操作，更换完之后还要重新安装整个基座1，耗时耗力，极大程度的影响机台的运行时间和运行效果。

技术实现要素：

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种便于维护的基座旨在无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

具体技术方案如下：

一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；

轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；

轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；

固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；

固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。

优选的，便于维护的基座，其中，固定螺栓为中空结构，中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键。

优选的，便于维护的基座，其中，内花键为内六角。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的下半部分设有用于安装螺母的凹槽。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的直径小于凹槽的长度。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔和台阶孔的中心位置与基座的中心位置处于同一直线上。

优选的，便于维护的基座，其中，缓冲装置为弹簧垫圈。

优选的，便于维护的基座，其中，缓冲装置可装卸地设置在固定螺栓和轮挡之间。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明现有技术中基座的结构示意图；

图2为本发明一种便于维护的基座的结构示意图；

图3为本发明一种便于维护的基座的俯视图。

附图标记：1、基座，11、凹陷，12、安装通孔，2、轮挡，21、台阶孔，211、第一台阶，212、第二台阶，3、螺母，31、凹槽，4、固定螺栓，41、内花键，5、缓冲装置，6、陶瓷螺钉。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

如图2-3所示，本发明提供的一种便于维护的基座1，如图2-3所示，本发明提供的一种便于维护的基座1，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，基座1设置有长方体的凹陷11，凹陷11底部设置有截面可以是圆形的安装通孔12，还包括轮挡2和固定螺栓4；

轮挡2形状适配凹陷11，并被设置于凹陷11中；

轮档设置有台阶孔21，轮档设置于凹陷11中时台阶孔21的位置与安装通孔12对应；相较于现有技术，本实施例的轮挡2加深了台阶孔21的深度，方便后续缓冲装置5的安装。

固定螺栓4，穿过台阶孔21伸入安装通孔12中，并于设置于安装通孔12中的螺母3连接固定；台阶孔21包括第一台阶211和第二台阶212。

固定螺栓4和轮挡2之间设有缓冲装置5。即缓冲装置5设置在第一台阶的上表面处，固定螺栓4和缓冲装置5用于将轮挡2固定在基座1上。

进一步地，在上述实施例中，固定螺栓4可以是中空结构，中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键41。

进一步地，在上述实施例中，内花键41可以是内六角，当然也可以是其他形状的花键。当固定螺栓4损坏需要进行更换时，可以通过固定螺栓4中心的内六角内花键41将固定螺栓4取出，操作简单有效。

进一步地，在上述实施例中，需要更换固定螺栓4或缓冲装置5时，只需要通过拆卸工具就可以将设置有内六角的固定螺栓4拆卸下来，则可以直接将缓冲装置5从基座1中拿出，无需拆卸整个基座1。

进一步地，在上述实施例中，安装通孔12的下半部分设有用于安装螺母3的凹槽31。

进一步地，在上述实施例中，安装通孔12的直径小于凹槽31的长度。

进一步地，在上述实施例中，安装通孔12和台阶孔21的中心位置与基座1的中心位置处于同一直线上。方便固定螺栓4顺利穿过台阶孔21伸入安装通孔12中，避免固定螺栓4因为安装通孔12和台阶孔21没对齐造成的零件磨损。

进一步地，在上述实施例中，缓冲装置5可以是弹簧垫圈。

进一步地，在上述实施例中，缓冲装置5可装卸地设置在固定螺栓4和轮挡2之间。在后期的维护中方便对缓冲装置5进行更换。

综上，在上述实施例中，当安装轮挡2时，先将轮挡2放置在基座1的凹陷11中，此时轮挡2的下表面与基座1的凹陷11的上表面贴合，安装通孔12和凹槽31的中心位置与基座1的中心位置处于同一直线上，再将缓冲装置5放在台阶孔21的第一台阶的上表面处，然后固定螺栓4由上至下插入轮挡2的台阶孔21和基座1的安装通孔12中，并旋转固定，从而完成轮挡2的固定安装过程。

以上仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

技术特征：

技术总结
本发明提供一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。本发明的有益效果在于无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

技术研发人员：朱亮;柳小敏;陈伟
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：2018.11.02
技术公布日：2019.02.12