技术特征:
技术总结
本发明涉及芯片制作技术领域,具体公开了一种带有Ag反射层结构的倒装LED芯片,其中,所述带有Ag反射层结构的倒装LED芯片包括:衬底,所述衬底上设置发光外延层,所述发光外延层背离所述衬底的表面设置透明导电层,所述透明导电层背离所述发光外延层的表面设置Ag反射层,所述Ag反射层背离所述透明导电层的表面设置钝化层,所述Ag反射层包括从所述发光外延层至所述钝化层方向依次设置Ti、Ag、Ti、Al和Ti。本发明还公开了一种带有Ag反射层结构的倒装LED芯片的制作方法。本发明提供的带有Ag反射层结构的倒装LED芯片不仅具有较高的反射率,而且还具有较好的粘附性以及稳定性。
技术研发人员:王书宇;黄慧诗;华斌
受保护的技术使用者:江苏新广联半导体有限公司
技术研发日:2018.11.23
技术公布日:2019.03.26