本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种半导体器件传送装置及半导体器件点胶机。
背景技术：
在现有的半导体器件制造过程中，通常需要对如电路板、半导体芯片一类的半导体器件进行点胶处理。现有的半导体点胶机通常也具有用于传送半导体器件的传送装置，该传送装置可实现对半导体器件的水平和/或竖直方向的移动。对于目前的传送装置而言，其多数采用丝杆传动副来实现半导体器件的水平移动，在此过程中，丝杆往往裸露在外，进而容易将异物卷入，或者灰尘等杂质掉落在丝杆的螺纹，进而导致丝杆传动过程不稳定，容易发生故障。
技术实现要素：
本实用新型的主要目的是提出一种半导体器件传送装置，旨在减少异物被卷入横向丝杆或灰尘落入横向丝杆的螺纹上的几率，保证横向丝杆和横向滑块的配合稳定性。
为实现上述目的，本实用新型提出的半导体器件传送装置，包括支架、横向传送机构、纵向传送机构以及夹料机构，所述纵向传送机构上设置有所述夹料机构，所述横向传送机构包括：
横向导向盒，安装于所述支架，横向导向盒沿水平方向延伸，所述横向导向盒的呈上下方向延伸的一侧壁呈敞口设置；
横向丝杆，沿水平方向设置，且转动安装于所述横向导向盒内；
横向滑块，容置于所述横向导向盒内，且所述横向滑块适配套设于所述横向丝杆，所述横向滑块朝向所述横向导向盒的敞口的一侧朝外凸设有横向连接部，所述横向连接部连接所述纵向传送机构；以及
第一电机，安装于所述横向导向盒，所述第一电机与所述横向丝杆相连接，以驱动所述横向丝杆带动所述横向滑块沿水平方向移动。
优选地，所述横向导向盒和所述横向滑块之间设置有霍尔组件，以限制所述横向滑块的行程。
优选地，所述霍尔组件包括一位于所述横向滑块上的半导体感应件和多个位于所述横向导向盒的感应磁铁，多个所述感应磁铁沿横向导向盒的延伸方向间隔设置，且靠近所述横向导向盒的端部的位置至少设有一所述感应磁铁。
优选地，所述支架包括横梁和位于所述横梁两端的支撑板，所述支撑板沿竖直方向延伸，所述横向导向盒背对其敞口的一侧与所述横梁连接。
优选地，所述横向传送机构还包括部分盖合所述横向导向盒的横向限位盖板，所述横向限位盖板沿竖直方向设置，所述横向限位盖板的水平两端分别与所述横向导向盒连接，所述横向限位盖板的上下两侧边缘分别与所述横向导向盒的敞口的边缘呈间隔设置，以在所述横向限位盖板的上下两侧各自形成一横向避让通槽；
所述横向连接部设有两个，两所述横向连接部沿竖直方向间隔排布，两所述横向连接部从两所述横向避让通槽一一对应地活动穿出，两所述横向连接部的自由端均与所述纵向传送机构相连接。
优选地，所述纵向传送机构包括：
安装板，所述安装板沿竖直方向延伸，所述安装板的一侧与所述横向连接部连接；
纵向导向盒，安装于安装板背对所述横向连接部的一侧，所述纵向导向盒沿竖直方向延伸，所述纵向导向盒背对所述安装板的一侧呈敞口设置；
纵向丝杆，沿竖直方向设置，且转动安装于所述纵向导向盒内；
纵向滑块，容置于所述纵向导向盒内，且所述纵向滑块适配套设于所述纵向丝杆，所述纵向滑块朝向所述纵向导向盒的敞口的一侧朝外凸设有纵向连接部，所述纵向连接部连接所述夹料机构；以及
第二电机，安装于所述纵向导向盒，所述第一电机与所述纵向丝杆的上端相连接，以驱动所述纵向丝杆带动所述纵向滑块沿竖直方向移动。
优选地，所述纵向传送机构还包括部分盖合所述纵向导向盒的纵向限位盖板，所述纵向限位盖板沿竖直方向设置，所述纵向限位盖板的水平两端分别与所述纵向导向盒连接，所述纵向限位盖板的上下两侧边缘分别与所述纵向导向盒的敞口的边缘呈间隔设置，以在所述纵向限位盖板的水平两侧各自形成一纵向避让通槽；
所述纵向连接部设有两个，两所述纵向连接部沿水平方向间隔排布，两所述纵向连接部从两所述纵向避让通槽一一对应地活动穿出，两所述纵向连接部的自由端均与所述夹料机构连接。
优选地，所述安装板朝向所述横向传送机构的一侧对应所述横向连接部设有安装沉槽，所述横向连接部与所述安装沉槽的槽底螺钉连接。
本实用新型还提出一种半导体器件点胶机，包括机台、送料装置、点胶装置、集料装置及半导体器件传送装置，其中，所述半导体器件传送装置包括支架、横向传送机构、纵向传送机构以及夹料机构，所述纵向传送机构上设置有所述夹料机构，所述横向传送机构包括：
横向导向盒，安装于所述支架，横向导向盒沿水平方向延伸，所述横向导向盒的呈上下方向延伸的一侧壁呈敞口设置；
横向丝杆，沿水平方向设置，且转动安装于所述横向导向盒内；
横向滑块，容置于所述横向导向盒内，且所述横向滑块适配套设于所述横向丝杆，所述横向滑块朝向所述横向导向盒的敞口的一侧朝外凸设有横向连接部，所述横向连接部连接所述纵向传送机构；以及
第一电机，安装于所述横向导向盒，所述第一电机与所述横向丝杆相连接，以驱动所述横向丝杆带动所述横向滑块沿水平方向移动；
所述送料装置、所述点胶装置、所述集料装置及所述半导体器件传送装置均安装于所述机台上，所述半导体器件传送装置用于将所述送料装置处的半导体器件转运至所述点胶装置处，然后再将点胶处理的的半导体器件转运至所述集料装置处。
本实用新型技术方案通过采用横向导向盒内沿其长度方向设有横向丝杆，横向丝杆在第一电机的驱动下在横向导向盒内转动，进而带动横向滑块、纵向传送机构以及夹料装置，进而实现对半导体器件的水平和竖直两方向的移动，由于设置有横向导向盒，对位于横向导向盒内横向丝杆具有一定的防护作用，可避免外界灰尘等异物掉落、堆积在横向丝杆的螺纹上，也避免了异物被卷入横向丝杆的风险，进而以利于横向丝杆与横向滑块的可靠配合，保证半导体器件传送装置的正常运行。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本实用新型半导体器件点胶机一实施例在一视角的示意图；
图2为图1中半导体器件点胶机在另一视角的示意图；
图3为图1中半导体器件点胶机的半导体器件传送装置的结构示意图；
图4为图3中半导体器件传送装置在一视角的结构示意图；
图5为图3中半导体器件传送装置在另一视角的结构示意图；
图6为图5中半导体器件传送装置的爆炸图；
图7为图3中半导体器件传送装置在又一视角的结构示意图；
图8为图7中半导体器件传送装置的爆炸图；
图9为图3中半导体器件传送装置的横向导向盒与横向丝杆的装配示意图；
图10为图9中半导体器件传送装置的横向导向盒的内部结构示意图；
图11为图3中半导体器件传送装置的纵向导向盒与纵向丝杆的装配示意图；
图12为图11中半导体器件传送装置的纵向导向盒的内部结构示意图。
附图标号说明：
本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
本实用新型提出一种半导体器件传送装置，用于在半导体器件进行点胶处理过程中实现对半导体器件的移动。其中，该半导体器件通常为电路板或半导体芯片。
在本实用新型一实施例中，参照图1至图10，该半导体器件传送装置10包括支架100、横向传送机构110、纵向传送机构120以及夹料机构，所述纵向传送机构120上设置有所述夹料机构，所述横向传送机构110包括：
横向导向盒111，安装于所述支架100，横向导向盒111沿水平方向延伸，所述横向导向盒111的呈上下方向延伸的一侧壁呈敞口设置；
横向丝杆112，沿水平方向设置，且转动安装于所述横向导向盒111内；
横向滑块113，容置于所述横向导向盒111内，且所述横向滑块113适配套设于所述横向丝杆112，所述横向滑块113朝向所述横向导向盒111的敞口的一侧朝外凸设有横向连接部113a，所述横向连接部113a连接所述纵向传送机构120；以及
第一电机114，安装于所述横向导向盒111，所述第一电机114与所述横向丝杆112相连接，以驱动所述横向丝杆112带动所述横向滑块113沿水平方向移动。
具体的，该半导体器件传送装置10一般应用于半导体器件点胶机1，半导体器件传送装置10包括支架100、横向传送机构110、纵向传送机构120以及夹料机构，其中，支架100作为支撑件而固定安装在机台20上，横向传送机构110位于机台20的工作台面之上，横向传送机构110沿水平方向延伸，横向传送机构110包括横向导向盒111、横向丝杆112和第一电机114，横向导向盒111水平安装在支架100上，横向导向盒111内沿其长度方向设有横向丝杆112，第一电机114安装在横向导向盒111上，第一电机114与横向丝杆112连接，进而以驱动横向丝杆112在横向导向盒111内转动；横向滑块113位于横向导向盒111内，且横向滑块113适配套设于横向丝杆112，在横向丝杆112转动时，横向滑块113在横向导向盒111内沿横向丝杆112的轴向移动。横向导向盒111的呈上下方向延伸的一侧壁呈敞口设置，横向滑块113朝向横向导向盒111的敞口的一侧朝外凸设有横向连接部113a，横向连接部113a连接纵向传送机构120，如此，在横向滑块113可带动纵向传送机构120实现水平移动。夹料装置130可以为机械爪或者吸盘，夹料装置130可将待传送的半导体器件拿取，夹料装置130安装在纵向传送机构120上，在纵向传送机构120的驱动下，夹料装置130上的半导体器件可相对机台20沿竖直方向移动。由于纵向传送机构120与横向滑块113相连接，进而在横向滑块113水平移动时，也可带动夹料装置130上的半导体器件相对机台20沿水平方向移动。
可以理解的是，横向丝杆112安装在横向导向盒111内，横向导向盒111具有一定的防护作用，可避免外界灰尘等异物掉落在横向丝杆112的螺纹上，进而保证横向丝杆112与横向滑块113的良好配合。
本实用新型技术方案通过采用横向导向盒111内沿其长度方向设有横向丝杆112，横向丝杆112在第一电机114的驱动下在横向导向盒111内转动，进而带动横向滑块113、纵向传送机构120以及夹料装置130，进而实现对半导体器件的水平和竖直两方向的移动，由于设置有横向导向盒111，对位于横向导向盒111内横向丝杆112具有一定的防护作用，可避免外界灰尘等异物掉落、堆积在横向丝杆112的螺纹上，也避免了异物被卷入横向丝杆112的风险，进而以利于横向丝杆112与横向滑块113的可靠配合，保证半导体器件传送装置10的正常运行。
为了实现对横向滑块113移动行程的有效控制，本实施例中，横向导向盒111和横向滑块113之间设置有霍尔组件115，通过霍尔组件115作为位置传感器，来限位横向滑块113的行程。其中，该霍尔组件115包括一位于横向滑块113上的半导体感应件115a和多个位于横向导向盒111的感应磁铁115b，多个感应磁铁115b沿横向导向盒111的延伸方向间隔设置，且靠近横向导向盒111的端部的位置至少设有一感应磁铁115b。可以理解，霍尔组件115与第一电机114相连接，进而横向滑块113上的半导体感应件115a靠近横向导向盒111上的感应磁铁115b时，第一电机114收到相应的控制指令，进而控制横向滑块113的移动。
在本实施例中，支架100包括横梁101和位于横梁101两端的支撑板102，支撑板102沿竖直方向延伸，横向导向盒111背对其敞口的一侧与横梁101连接。通过设置横梁101，使得横向导向盒111可牢靠地安装在支架100上。
进一步地，为了保证横向滑块113与横向丝杆112的可靠配合，本实施例中，横向传送机构110还包括部分盖合横向导向盒111的横向限位盖板116，横向限位盖板116沿竖直方向设置，横向限位盖板116的水平两端分别与横向导向盒111连接，横向限位盖板116的上下两侧边缘分别与横向导向盒111的敞口的边缘呈间隔设置，以在横向限位盖板116的上下两侧各自形成一横向避让通槽117；横向连接部113a设有两个，两横向连接部113a沿竖直方向间隔排布，两横向连接部113a从两横向避让通槽117一一对应地活动穿出，两横向连接部113a的自由端均与纵向传送机构120相连接。如此两横向连接部113a分别位于横向盖板的上下两侧，进而可防止横向滑块113脱离横向导向盒111。
纵向传送机构120的结构有多种实现方式，例如齿轮齿条机构或者气缸装置，在本实施例中，参照图5至图8，并结合图11和图12，该纵向传送机构120优选通过如下结构来实现：
纵向传送机构120包括安装板121、纵向导向盒122、纵向丝杆123、纵向滑块124以及第二电机125，其中，安装板121沿竖直方向延伸，安装板121的一侧与横向连接部113a连接；纵向导向盒122安装于安装板121背对横向连接部113a的一侧，纵向导向盒122沿竖直方向延伸，纵向导向盒122背对安装板121的一侧呈敞口设置；纵向丝杆123沿竖直方向设置，且转动安装于纵向导向盒122内；纵向滑块124容置于纵向导向盒122内，且纵向滑块124适配套设于纵向丝杆123，纵向滑块124朝向纵向导向盒122的敞口的一侧朝外凸设有纵向连接部124a，纵向连接部124a连接夹料机构；第二电机125安装于纵向导向盒122，第二电机125与纵向丝杆123的上端相连接，以驱动纵向丝杆123带动纵向滑块124沿竖直方向移动。
在第二电机125的驱动下，纵向滑块124相对机台20沿竖直方向移动，进而可带动安装在纵向滑块124上的夹料装置130沿竖直方向移动，实现对半导体器件的竖直移动。
进一步地，纵向传送机构120还包括部分盖合纵向导向盒122的纵向限位盖板126，纵向限位盖板126沿竖直方向设置，纵向限位盖板126的水平两端分别与纵向导向盒122连接，纵向限位盖板126的上下两侧边缘分别与纵向导向盒122的敞口的边缘呈间隔设置，以在纵向限位盖板126的水平两侧各自形成一纵向避让通槽127；纵向连接部124a设有两个，两纵向连接部124a沿水平方向间隔排布，两纵向连接部124a从两纵向避让通槽127一一对应地活动穿出，两纵向连接部124a的自由端均与夹料机构连接。
为了便于纵向传送机构120与横向传送机构110的安装，本实施例中，安装板121朝向横向传送机构110的一侧对应横向连接部113a设有安装沉槽121a，横向连接部113a与安装沉槽121a的槽底螺钉连接。如此，可便于横向连接部113a与安装板121的装配，实现两者的快速安装。
参照图1和图2，本实用新型还提出一种半导体器件点胶机1，该半导体器件点胶机1包括机台20、送料装置30、点胶装置、集料装置40及半导体器件传送装置10，所述送料装置30、所述点胶装置、所述集料装置40及所述半导体器件传送装置10均安装于所述机台20上，所述半导体器件传送装置10用于将所述送料装置30处的半导体器件转运至所述点胶装置处，然后再将点胶处理的的半导体器件转运至所述集料装置40处。该半导体器件传送装置10的具体结构参照上述实施例，由于本半导体器件点胶机1采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。