一种准分子激光退火腔室的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种准分子激光退火腔室，解决了现有技术中惰性气体与准分子激光器所发射的线状激光从同一缝隙中通过而导致的显示面板晶化不均匀的问题。在本实用新型提供的准分子激光退火腔室中，腔室的顶部包括透光区域和气体注入区域，透光区域和气体注入区域分开设置。

技术研发人员：朱声建
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2018.03.12
技术公布日：2018.09.04