1.一种离子注入设备，其特征在于，包括离子源装置，离子源装置产生用于离子注入的离子束，所述离子源装置通过引出系统连接离子注入腔室，引出系统为引出缝和引出电极，离子源装置产生的离子束经由引出缝后由引出电极发送至离子注入腔室，离子注入腔室的离子束入口连接引出电极，离子注入腔室内还设有基板承载台用于承载待注入基板，离子注入设备还包括为离子注入腔室注入金属气体源的注入源，注入源连接加热装置将注入源内的金属氧化物气化，同时注入源连接离子注入腔室的进气口送入气体源，基板承载台处设有放电系统为提供等离子体供应电源，离子注入腔室的出气口连接组合泵组成尾气排放系统，出气口与组合泵之间的管道为硬管，该硬管为5mm厚的亚克力材质硬管，进气口边缘处设有挡板，挡板尺寸超过进气口的尺寸。
2.根据权利要求1所述的离子注入设备，其特征在于，挡板在进气口边缘处设有转轴，挡板相对转轴进行转动。
3.根据权利要求1所述的离子注入设备，其特征在于，所述放电系统包括射频电源和脉冲电源。