一种低电阻的高导电金属化薄膜的制作方法

文档序号:17878625发布日期:2019-06-13 10:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低电阻的高导电金属化薄膜,设于基材及电极之间,其特征在于,包括第一导电层及第二导电层,所述第一导电层设于所述基材的一侧面,所述第二导电层设于所述第一导电层另一侧表面,所述第二导电层另一侧面则与所述电极接触,用作所述第一导电层与所述电极之间的导电媒介。

2.根据权利要求1所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第一导电层的厚度介于100nm~500nm。

3.根据权利要求2所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第一导电层的厚度为300nm。

4.根据权利要求2-3任一所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第一导电层为非结晶透明导电薄膜。

5.根据权利要求1所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第二导电层的厚度介于25nm~150nm。

6.根据权利要求5所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第二导电层的厚度为50nm。

7.根据权利要求5-6任一所述的一种低电阻的高导电金属化薄膜,其特征在于:所述第二导电层为结晶薄膜。

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