1.一种用于在衬底处理系统中的处理期间控制衬底温度的系统，其包括：
限定中心区域和径向外部区域的衬底支撑件，
其中，在处理期间，将所述衬底布置在所述中心区域和所述径向外部区域两者上；
第一加热器，其被配置为加热所述中心区域；
第二加热器，其被配置为加热所述径向外部区域；
第一散热器，其具有与所述中心区域热连通的一端；和
第二散热器，其具有与所述径向外部区域热连通的一端，
其中在所述处理期间，所述中心区域和所述径向外部区域之间的温度差大于10℃。
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述衬底通过重力被保持在所述衬底支撑件上，并且不是通过机械夹持保持，也不是通过静电卡盘保持。
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述衬底支撑件包括：
第一部件，其包括：
具有第一厚度的中心部分；和
径向突出部分，其具有小于所述第一厚度的第二厚度；
第二部件，其布置在所述第一部件的下方并且在所述第一部件的径向外侧，并且包括：
环形部分；和
轴向突出部分，该轴向突出部分连接到所述第二部件的所述环形部分和所述第一部件的所述径向突出部分的径向外边缘。
4.根据权利要求3所述的系统，其中，在所述第一部件的所述中心部分和所述第二部件的所述中心部分之间在轴向方向上限定第一间隙，并且其中在所述中心部分的径向外表面和所述轴向突出部分的径向内表面之间限定第二间隙。
5.根据权利要求3所述的系统，其中，所述中心部分的上表面至少部分地限定所述中心区域，其中，所述轴向突出部分的上表面至少部分地限定所述径向外部区域。
6.根据权利要求3所述的系统，其中：
所述第二部件包括多个孔；并且
所述第一散热器包括连接到所述第一部件并穿过所述多个孔的多个突起。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述衬底支撑件包括：
第一部件，其包括至少部分地限定所述中心区域的上表面；和
第二部件，其布置在所述第一部件的径向外侧和下方，
其中所述第一部件和所述第二部件间隔开并且限定在它们之间的间隙，并且
其中所述第二部件包括至少部分地限定所述径向外部区域的上表面。
8.根据权利要求7所述的系统，其中，所述第一部件具有圆锥形状，而所述第二部件具有倒圆锥形状。
9.根据权利要求1所述的系统，其还包括多个间隔件，所述多个间隔件布置在所述衬底支撑件中，以在处理期间在所述衬底与所述衬底支撑件之间提供预定的间隙。
10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第二散热器包括波纹管散热器。
11.根据权利要求1所述的系统，其中，所述衬底支撑件包括多个凹口，所述多个凹口限定在所述中心区域和所述径向外部区域中，并且从所述衬底支撑件的外边缘径向向内延伸。
12.根据权利要求1所述的系统，其还包括与所述第一散热器和所述第二散热器的相对端热连通的温度受控的热物质。
13.根据权利要求1所述的系统，其中，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。
14.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理包括光致抗蚀剂灰化，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。
15.一种用于在衬底处理系统中的处理期间控制衬底温度的系统，其包括：
衬底支撑件，其包括：
第一部件，其包括：
中心部分，其具有第一厚度并部分地限定中心区域；和
径向突出部分，其具有大于所述第一厚度的第二厚度，和
第二部件，其布置在所述第一部件的下方并且在所述第一部件的径向外侧，并且包括：
环形部分；和
轴向突出部分，其连接到所述第二部件的所述环形部分以及所述第一部件的所述径向突出部分的径向外边缘，并且部分地限定了径向外部区域，其中，在处理期间，将所述衬底布置在所述中心区域和所述径向外部区域两者之上；
第一加热器，其被配置为加热所述第一部件；
第二加热器，其被配置为加热所述第二部件；
第一散热器，其具有与所述第一部件热连通的一端；和
第二散热器，其具有与所述第二部件热连通的一端，
其中在所述处理期间，所述第一部件和所述第二部件之间的温度差在从比10℃至100℃的范围内。
16.根据权利要求15所述的系统，其中，所述衬底通过重力被保持在所述衬底支撑件上，而不是通过机械夹持保持，也不是通过静电卡盘保持。
17.根据权利要求15所述的系统，其中，所述中心部分的上表面对应于所述中心区域，并且其中，所述轴向突出部分的上表面对应于所述径向外部区域。
18.根据权利要求15所述的系统，其中：
所述第二部件包括多个孔；并且
所述第一散热器包括连接到所述第一部件并穿过所述多个孔的多个突起。
19.根据权利要求15所述的系统，其还包括多个间隔件，所述多个间隔件布置在所述中心区域中，以在处理期间在所述衬底与所述衬底支撑件之间提供预定的间隙。
20.根据权利要求15所述的系统，其中，所述衬底支撑件包括多个凹口，所述多个凹口从所述衬底支撑件的外边缘径向向内伸出。
21.根据权利要求15所述的系统，其还包括与所述第一散热器和所述第二散热器的相对端热连通的温度受控的热物质。
22.根据权利要求15所述的系统，其中，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。
23.根据权利要求15所述的系统，其中，所述处理包括光致抗蚀剂灰化，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。
24.根据权利要求15所述的系统，其中，所述衬底通过重力被保持在所述衬底支撑件上，而不是通过机械夹持保持，也不是通过静电卡盘保持。
25.一种用于在衬底处理系统中的处理期间控制衬底温度的系统，其包括：
衬底支撑件，其包括：
第一部件，其包括至少部分地限定中心区域的上表面；
第二部件，其布置在所述第一部件的径向外侧和下方，
其中所述第一部件和所述第二部件间隔开并限定在它们之间的间隙，以及
其中所述第二部件包括至少部分地限定径向外部区域的上表面；
第一加热器，其被配置为加热所述第一部件；
第二加热器，其被配置为加热所述第二部件；
第一散热器，其具有与所述第一部件热连通的一端；和
第二散热器，其具有与所述第二部件热连通的一端，
其中在所述处理期间，所述第一部件和所述第二部件之间的温度差在从比10℃至100℃的范围内。
26.根据权利要求25所述的系统，其中，所述衬底通过重力被保持在所述衬底支撑件上，而不是通过机械夹持保持，也不是通过静电卡盘保持。
27.根据权利要求25所述的系统，其中，所述第一部件具有圆锥形状，而所述第二部件具有倒圆锥形状。
28.根据权利要求25所述的系统，其中，所述第二散热器包括波纹管型散热器。
29.根据权利要求25所述的系统，其还包括多个间隔件，所述多个间隔件布置在所述中心区域中，以在处理期间在所述衬底与所述衬底支撑件之间提供预定的间隙。
30.根据权利要求25所述的系统，其中，所述衬底支撑件包括多个凹口，所述多个凹口从所述衬底支撑件的外边缘径向向内伸出。
31.根据权利要求25所述的系统，其还包括与所述第一散热器和所述第二散热器的相对端热连通的温度受控的热物质。
32.根据权利要求25所述的系统，其中，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。
33.根据权利要求25所述的系统，其中，所述处理包括光致抗蚀剂灰化，所述中心区域和所述径向外部区域中的至少一个保持在从90℃到350℃的范围内的温度，并且其中所述温度差在从18℃到100℃的范围内。