一种光栅式的面入射型光探测器的制作方法

文档序号:22246556发布日期:2020-09-15 20:29
技术总结
本申请公开了一种光栅式的面入射型光探测器,包括:衬底;光栅主动层,设于所述衬底上,所述光栅主动层包括多个光栅凸起;所述衬底上靠近所述光栅主动层的上表层形成掺杂层,所述掺杂层包括多个交替排列的P型掺杂电极和N型掺杂电极,相邻的P型掺杂电极和N型掺杂电极之间具有未掺杂硅区域;所述光栅凸起覆盖所述未掺杂硅区域和所述未掺杂硅区域两侧的P型掺杂电极的一侧和N型掺杂电极的一侧。本申请采用光学光栅式的增强吸收层和硅层接触电极的设计,实现了面入射的光耦合方式,避免了波导式光探测器受光耦合器限制的问题,实现了高速、低暗电流、低损耗、偏振不敏感的高灵敏度光探测器,而且具有更大的光接收角度。

技术研发人员:曾治国;陈国良;李显尧;孙雨舟;萧越
受保护的技术使用者:苏州旭创科技有限公司
技术研发日:2019.03.06
技术公布日:2020.09.15

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