准分子灯、光照射装置及臭氧产生装置的制作方法

本发明涉及准分子灯、光照射装置及臭氧产生装置。

背景技术：

以往，周知有使用了紫外线灯的臭氧产生装置。作为用于产生臭氧的紫外线灯，周知有水银灯、准分子灯(例如，氙准分子灯)。

紫外线灯例如配置于管路和风路的途中，通常在照度较低的环境下点亮及使用。因此，要求即使在黑暗环境下也可靠的启动性(黑暗启动性)。

在专利文献1中公开了如下准分子灯(参照权利要求1等)：具有填充有生成准分子的放电用气体的放电空间和用于使所述放电用气体感应放电的一对电极，构成为使电介质介于所述电极中的至少一方与所述放电空间之间，并在所述放电空间产生紫外线。

在专利文献2中公开有如下发明(参照权利要求1，段落【0017】等)：在封入有稀有气体的玻璃管的外表面配设有一对电极，并且在将导电性物质配置于该玻璃管内表面的一部分的外部电极型稀有气体放电灯中，所述导电性物质以将一方的电极存在的位置与另一方的电极存在的位置连结的方式位于玻璃管内部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-126934号公报

专利文献2：日本特开2008-034272号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

在专利文献1、专利文献2中，使两个电极间(高电压侧的电极与低电压侧的电极之间)的距离实质性地缩短进而改善启动性。因此，在放电路径内，也就是在高电压侧的电极与低电压侧的电极之间设置导电性物质等。

然而，在专利文献1、专利文献2的结构中，在点亮之后，存在导电性物质等遮光从而使照度下降的担忧。另外还存在在点亮之后在导电性物质等的附近放电出现偏离，发生照度不均的担忧。另外，在点亮之后只要不熄灯，在导电性物质等中电流持续流动，因而存在电力损失增加，向光的转换效率降低的担忧。特别地在1～数w程度的功率较小的准分子灯中，这些不良情况成为显著的问题。

本发明鉴于上述的课题被做出，其目的在于提供一种能够在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时确保在黑暗环境下的启动性的准分子灯。

另外，本发明提供一种具备该准分子灯的光照射装置。

另外，本发明提供一种具备该准分子灯的臭氧产生装置。

用于解决课题的技术方案

本发明者对准分子灯进行了锐意研究。结果，当将启动辅助部件设置于发光管内表面中的比高电压侧的电极靠外侧的区域时，惊奇地发现在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时，在黑暗环境下的启动性变得良好，从而完成了本发明。

即，本发明的准分子灯的特征在于，具备：

发光管，封入有发光气体；

一对电极，设置于所述发光管的外表面；和

启动辅助部件，设置于所述发光管的内表面，

所述启动辅助部件至少设置于比所述一对电极靠外侧的区域x，

与所述启动辅助部件较近的一方的电极与所述启动辅助部件之间的距离a比所述一对电极间的距离y小。

如上所述，以往作为准分子灯的启动性改善的方法，考虑到在放电路径内即在高电压侧的电极与低电压侧的电极之间设置导电性物质等。而本申请发明的思想与上述以往技术的思想完全不同。即，本申请发明是通过当将启动辅助部件设置于发光管内表面中的比高电压侧的电极靠外侧的区域时，惊奇地发现了在黑暗环境下的启动性变得良好，从而完成的发明。这样的效果从后述的实施例的记载也可以清楚。

根据本发明的准分子灯，如果使一对电极中与所述启动辅助部件较近的一方的电极为高电压侧的电极，则在黑暗环境下的启动性变得良好。而即使使一对电极中距所述启动辅助部件较远的一方的电极为高电压侧的电极，在黑暗环境下的启动性也不会变得良好。

本发明者将本发明与未设置启动辅助部件的情况相比较，作为在黑暗环境下的启动性变得良好的理由，推测出以下的(1)、(2)两方或任意一方。

(1)电子容易飞向与高电压侧的电极距离较近的启动辅助部件，当在高电压侧的电极与启动辅助部件之间发生一次放电时，其后，在一对电极间放电会稳定地持续。

(2)当发光管放置于黑暗环境下时，用于放电开始的电子变少。通过在高电压侧的电极附近设置启动辅助部件，启动辅助部件带电且电子变得容易飞出。由于电子变得容易飞出因而放电容易发生。

另外，通常在准分子灯中利用从发光管的电极间部分射出的光。根据本发明的准分子灯，启动辅助部件被设置于比一对电极靠外侧的区域x，因此能够减少遮住射出的光的范围。结果，能够抑制照度下降。

另外，在所述区域x，在点亮之后放电几乎不会发生。因此，能够在所述区域x在点亮之后抑制放电的偏离出现。另外，在所述区域x，在点亮之后放电几乎不会发生，因此能够减少在点亮之后的电力损失。

这样，根据本发明的准分子灯，如果使一对电极中与启动辅助部件较近的一方的电极为高电压侧的电极，则能够在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时，确保在黑暗环境下的启动性。

在所述结构中，优选所述发光管具有：圆筒部，具有第一端部及第二端部；第一缩径部，从所述第一端部起连续地形成，并且随着远离所述第一端部而直径变小；第二缩径部，从所述第二端部起连续地形成，并且随着远离所述第二端部直径变小，

所述一对电极由第一电极和第二电极构成，

第一电极设置于所述第一端部的外周面，

第二电极设置于所述第二端部的外周面。

根据所述结构，也可以在第一缩径部或第二缩径部设置启动辅助部件。因此，能够容易地在第一缩径部或第二缩径部设置启动辅助部件。

在所述结构中，优选所述启动辅助部件以与形成电极的区域不重叠的方式形成。

当启动辅助部件以与形成电极的区域不重叠的方式形成时，从实施例也可知，在黑暗环境下的启动性变得更加优良。

在所述结构中，优选所述启动辅助部件为碳。

在准分子灯的制造工序中，存在在将启动辅助部件设置于发光管内表面之后，例如进行用于消除应变的加热等的情况。在此，碳的稳定性较高。因此，当所述启动辅助部件为碳时，能够抑制因加热等使启动辅助部件蒸发的情况等，能够提高作为准分子灯的可靠性。

另外，本发明的光照射装置，其特征在于，

具备所述准分子灯，

所述启动辅助部件至少设置于比高电压侧的电极靠外侧的区域x。

根据所述结构，能够提供一种光照射装置，其具备所述准分子灯，由于所述启动辅助部件至少设置于比高电压侧的电极靠外侧的区域x，因而能够在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时，确保在黑暗环境下的启动性。

另外，本发明的臭氧产生装置，其特征在于，

具备所述准分子灯，

所述启动辅助部件至少设置于比高电压侧的电极靠外侧的区域x。

根据所述结构，能够提供一种臭氧产生装置，其具备所述准分子灯，由于所述启动辅助部件至少设置于比高电压侧的电极靠外侧的区域x，因而能够在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时，确保在黑暗环境下的启动性。

发明效果

根据本发明，能够提供一种准分子灯，其能够在减少照度降低、放电偏离及电力损失的同时，确保在黑暗环境下的启动性。另外，能够提供具备该准分子灯的光照射装置。另外，能够提供具备该准分子灯的臭氧产生装置。

附图说明

图1是示意地表示本实施方式的臭氧产生装置的立体图。

图2是表示在图1中表示的臭氧产生装置中为了说明而将壳体的近前半部分去除后的样子的主视图。

图3(a)是在图1中表示的臭氧产生装置所具备的准分子灯的管轴方向截面图，(b)是其z1-z1截面图，(c)是其z2-z2截面图。

图4是在图3(a)中表示的准分子灯所具备的发光管的主视图。

图5是用于评价点亮延迟的劳厄图。

图6是用于评价点亮延迟的劳厄图。

具体实施方式

首先，参照附图对本发明的一种实施方式的臭氧产生装置在以下进行说明。需要说明的是，由于准分子灯配备于臭氧产生装置中，因而在臭氧产生装置的说明中来对准分子灯进行说明。

图1是示意性地表示本实施方式的臭氧产生装置的立体图。图2是表示在图1所表示的臭氧产生装置中为了说明而将壳体的近前半部分除去后的样子的主视图。

如图1、图2所示，臭氧产生装置10具备壳体12和准分子灯20。

图3(a)是在图1中表示的臭氧产生装置所具备的准分子灯的管轴方向截面图，图3(b)是其z1-z1截面图，图3(c)是其z2-z2截面图。图4是在图3(a)所表示的准分子灯所具备的发光管的主视图。

准分子灯20具有封入有发光气体的发光管22、第一电极24a、第二电极24b和设置于发光管22的内表面的启动辅助部件29。

发光管22具有圆筒部30、第一缩径部33a和第二缩径部33b(参照图4)。

圆筒部30是截面为圆环形的中空圆筒状，在一端(图4中左端)具有第一端部31a，在另一端(图4中右端)具有第二端部31b。

第一缩径部33a向远离第一端部31a的方向(在图4中为左方向)从第一端部31a起连续地形成。第一缩径部33a随着远离第一端部31a而直径变小，并由端面34a封闭。

第二缩径部33b向远离第二端部31b的方向(在图4中为右方向)从第二端部31b起连续地形成。第二缩径部33b随着远离第二端部31b而直径变小，并由端面34b封闭。

端面34a、端面34b只要封闭，其形状就不做特别地限定，既可以是曲面也可以是平面。另外，在封闭时产生的突起等存在也可以。

在本实施方式中，对准分子灯20为利用了介质阻挡放电的准分子灯的情况进行了说明，然而在本发明中准分子灯只要是射出来自准分子的光的灯即可，而非限定于利用介质阻挡放电的情况。

作为发光管22的形状，只要是内部密闭的管状，其形状就不被限定，然而优选如本实施方式这样为密封两端而成的圆管状。

作为发光管22的材质，虽然不做特别地限定，但优选透射紫外线的材质，例如，可以举出石英玻璃等。

作为所述发光气体，只要是能够射出能够通过向氧照射来产生臭氧的波长的光的发光气体，就不特别限定。作为所述发光气体能够举出氙(出射波长：172nm)。

第一电极24a设置于第一端部31a的外周面。第二电极24b设置于第二端部31b的外周面。在本实施方式中，第一电极24a为高电压侧的电极，第二电极24b为低电压侧的电极。需要说明的是，施加于第一电极24a(高电压侧的电极)的电压无论是正高压还是负高压都可以。

虽然第一电极24a及第二电极24b的形状不特别限定，但优选如本实施方式这样为圆筒状。原因是如果为圆筒状能够更适合地引起介质阻挡放电。作为第一电极24a及第二电极24b的形状的其他例子，可以举出例如截面c字状或线圈状。

作为第一电极24a及第二电极24b覆盖发光管22的外周面的面积，从启动性的观点出发，优选较大。因此，优选如本实施方式这样为圆筒状。

在本实施方式中，第一电极24a未延伸设置于第一缩径部33a上。即，第一电极24a仅与发光管22的圆筒部30相接而不与第一缩径部33a相接。另外，第二电极24b未延伸设置于第二缩径部33b上。即，第二电极24b仅与发光管22的圆筒部30相接而不与第二缩径部33b相接。

作为第一电极24a、第二电极24b的材质，虽未特别地限定，但从高温环境下的抗氧化性、耐热冲击性的观点出发，优选不锈钢、康泰尔(kanthal)(铁铬合金)。

启动辅助部件29设置于比一对电极(第一电极24a及第二电极24b)靠外侧的区域x。更具体而言，启动辅助部件29以覆盖从第一电极24a空开距离a的位置起到端面34的方式设置于发光管22的内表面。

需要说明的是，在本说明书中距离a是指从电极的最外侧的位置到启动辅助部件的最内侧的位置的最短距离。

所述距离a比一对电极间的距离y(第一电极24a与第二电极24b的距离)近。推测由于所述距离a比所述距离y小，因而电子容易飞向距高电压侧的电极(第一电极24a)的距离较近的启动辅助部件29，当在高电压侧的电极(第一电极24a)与启动辅助部件29之间产生一次放电时，其后在一对电极间放电会稳定地持续。

需要说明的是，在本说明书中，距离y是指从一方的电极的最靠近另一方的电极的位置到另一方的电极的最靠近所述一方的电极的位置。在本实施方式中，距离y是指从第一电极24a的最靠近第二电极24b的位置(在图3(a)中为第一电极24a的右端)到第二电极24b的最靠近第一电极24a的位置(在图3(a)中为第二电极24b的左端)的距离。

优选所述距离a在为正值的情况下较小。所述距离a越小，则在黑暗环境下的启动性越良好。该情况从后述的实施例可以明确。作为其理由，本发明者推测是由于启动辅助部件29越靠近高电压侧的电极(第一电极24a)，电子越容易从第一电极24a飞向启动辅助部件29。

另外，当所述距离a为正值时，启动辅助部件29配置于无法遮住从发光管22射出的光的位置。其结果，能够抑制照度下降。

另外，当所述距离a为正值时，在所述区域x，在点亮之后几乎不会产生放电。因此，能够抑制在所述区域x在点亮之后出现放电偏离。另外，由于在所述区域x，在点亮之后几乎不会产生放电，因而能够减少在点亮之后的电力损失。

启动辅助部件29如果设置于比第一电极24a靠外侧的区域x的至少一部分，则所述距离a也可以为0(零值)。即，启动辅助部件29也可以以与形成第一电极24a的区域重叠的方式形成。即使在该情况下，与未形成启动辅助部件29的情况相比，在黑暗环境下的启动性也较好。作为其理由，通过与第一电极24a重叠地设置启动辅助部件29，启动辅助部件29带电，电子容易飞出。推测由于电子容易飞出，因此放电容易产生。

另外，启动辅助部件29如果设置于比第一电极24a靠外侧的区域x的至少一部分，则也可以设置于比第一电极24a靠内侧的区域。即使在该情况下，与未形成启动辅助部件29的情况相比，在黑暗环境下的启动性也较好。作为其理由，通过与第一电极24a重叠地设置启动辅助部件29，启动辅助部件29带电，电子容易飞出。推测由于电子容易飞出，因此放电容易产生。

然而，当将启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠内侧的区域时，该部分会遮挡住从发光管22射出的光。因此，在将启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠内侧的情况下，优选该区域狭窄到一定程度。例如，在将启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠内侧的情况下，如果使所述距离y的长度为100％时，所述区域的长度为10％以下(进一步优选长度为5％以下)的话，则也可以将启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠内侧的区域。另外，在将启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠内侧的情况下，也可以为后述的保护部14内。

作为启动辅助部件29的材料可以举出导电性物质、易发射电子物质。作为所述导电性物质可以举出碳(carbon)、铂、金、银、镍、ito(indiumtinoxide：氧化铟锡)、fto(f-dopedtinoxide：掺氟氧化锡)等。另外，作为所述易发射电子物质，能够举出氧化镁(mgo)、氧化镧(la2o3)、氧化铈(ceo2)、氧化钇(y2o3)、氧化锆(zro2)或六硼化镧(lab6)等的金属化合物等。其中作为启动辅助部件29的材料优选碳。由于碳热稳定性较高，因此能够抑制附设后的启动辅助部件29因加热等而蒸发等，并能够提高作为准分子灯20的可靠性。

作为向发光管22的发光气体的封入方法的一例，首先准备截面为圆环状、开放两端的中空圆筒状的筒。接下来，通过热熔融将所述筒的一方的端部封闭。由此得到缩径部。其次，在成为区域x的部分形成启动辅助部件29。作为形成启动辅助部件29的方法，可以举出将启动辅助部件29的材料蒸镀的方法、涂布的方法。接下来，使封闭了一方的端部的所述筒内减压(优选形成为真空)，并向所述筒内导入发光气体。其后，迅速地以热熔融的方式封闭所述筒的另一方的端部。通过以上步骤，能够将发光气体封入发光管22内。

根据准分子灯20，由于启动辅助部件29设置于比第一电极24a靠外侧的区域x，因此如果使第一电极24a为高电压侧的电极，则在黑暗环境下的启动性良好。

在准分子灯20中，当在电极24间施加交流的高压电时，在发光管22内的空间28中产生激发介质阻挡放电。并且，由此激发发光气体，成为准分子状态，在从准分子状态回到初始状态(基态)时，发出所述准分子特有的光谱的光(准分子发光)。

准分子灯20电极不在发光管的内部，而仅存在于外周面。因此，准分子灯20在发光管22内设置启动辅助部件29并封入发光气体，其后在外周面设置电极24即可，制造容易。

另外，准分子灯20的电极不在发光管的内部，不需要将发光管的内部与外部电连接的配线。因此，不存在贯穿发光管22的壁面的部件。因此，能够较高地维持准分子灯20的可靠性。

如上所述，准分子灯20电极不在发光管的内部，而仅存在于外周面。因此，准分子灯20容易制造为较小型的设备。从小型化容易的观点出发，作为准分子灯20的各种尺寸，优选管轴方向的全长为10～150mm，更优选为10～100mm，进一步优选为10～50mm。另外，电极间距离优选为3～130mm，更优选为3～80mm，进一步优选为3～30mm。需要说明的是，所述的电极间距离是指各电极的最近的部分相互之间的距离。另外，在为圆筒状的情况下，外径优选为3～20mm，更优选为3～15mm，进一步优选为3～10mm。另外，作为发光管22的壁厚优选为0.1～2mm，更优选为0.1～1mm，进一步优选为0.1～0.5mm。

需要说明的是，准分子灯20的各种尺寸在不是特别需要进行小型化等的情况下，不限定于上述尺寸。但是，由于存在当电极间距离变大时在发光管22内无法产生绝缘击穿的情况，因而优选在与施加电压相平衡的情况下设定各种尺寸。

壳体12为u字状。壳体12具有以覆盖一方的电极24(第一电极24a)的方式设置的第一保护部14a和以覆盖另一方的电极24(第二电极24b)的方式设置的第二保护部14b。另外，壳体12具有将第一保护部14a与第二保护部14b连接的连接部16。即，壳体12一体地形成有第一保护部14a、连接部16和第二保护部14b，构成u字状的壳体12。另外，第一保护部14a与第二保护部14b分离。

在臭氧产生装置10中，由第一保护部14a覆盖第一电极24a，由第二保护部14b覆盖第二电极24b，由于第一保护部14a与第二保护部14b分离，因而第一电极24a与第二电极24b由保护部14(第一保护部14a，第二保护部14b)覆盖，发光管22的管轴方向中央部露出。通过形成这样的结构，能够不大范围地遮挡从发光管22射出的光，而由保护部14(第一保护部14a、第二保护部14b)覆盖电极(第一电极24a、第二电极24b)。由此，能够在较高地维持臭氧产生效率的同时防止电极因臭氧而劣化。另外，也能够避免存在于使用环境的水分到达电极部。

在保护部14(第一保护部14a，第二保护部14b)形成与发光管22的管径对应的开口18。由于在保护部14形成与发光管22的管径对应的开口18，因而能够使发光管22配置于开口18。另外，由于开口18是与发光管22的管径对应的开口，能够尽可能地防止在壳体12外产生的臭氧进入壳体12内。

发光管22与连接部16分离，在发光管22与连接部16之间形成通风区域32。由于发光管22与连接部16分离，形成有通风区域32，因而能够使从发光管22射出的光从发光管22的所有方向有效地照射氧，从而能够使臭氧的产生量进一步增多。另外，由于发光管22与连接部16分离，因而能够防止连接部16因从发光管22射出的光而劣化。即，在通风区域32从发光管22射出的光照射氧，所述光减弱，因而能够防止连接部16的劣化。

作为发光管22与连接部16的分离距离，从防止连接部16的劣化及增加臭氧的产生量的观点出发，优选为1mm以上，更优选为5mm以上，进一步优选为10mm以上。另外，所述分离距离从臭氧产生装置10的小型化的观点出发，优选为30mm以下，更优选为25mm以下，进一步优选为20mm以下。需要说明的是，发光管与连接部的分离距离是指发光管与连接部的最近的部分之间的距离。

如图2所示，在壳体12内收容有变换器等用于向准分子灯供电的电装体36。电装体36与准分子灯20的电极24通过配线38而电连接。由于电装体36收容于壳体12内，因而能够防止电装体36因外部噪声而受到影响。另外，能够防止从电装体36产生的噪声向外部漏出。在壳体12的内表面也可以设置以往公知的电磁波屏蔽层(例如，用于电磁波屏蔽的膜等)。

以上，对臭氧产生装置10进行了说明。

在上述的实施方式中，对保护部为壳体的一部分的情况进行了说明。即，对电极由壳体的一部分的保护部覆盖的情况进行了说明。然而，本发明中的保护部不限定于壳体。例如，所述保护部也可以是在电极涂布粘合剂并使其硬化而成的结构。即，所述保护部也可以是以覆盖电极的方式设置的硬化后的粘合剂。

上述的臭氧产生装置的用途(设置场所)虽然没有特别地进行限定，但由于能够小型化，因而在设置空间受限制的场所也适用。例如，在空气调节装置的内部或在带有除臭功能的卫生间等中也能够适用。

在上述的实施方式中，对从准分子灯射出能够使臭氧产生的波长的光(紫外线)的情况进行了说明。即，对将准分子灯用于臭氧产生装置的情况进行了说明。然而，在本发明中从准分子灯射出的光不限定于该例，例如，使发光气体为氯化氪(出射波长为222nm)，溴化氪(出射波长为207nm)等也可以利用紫外光。另外，例如，也可以是可见光。具体而言，例如，也可以是在发光管的内表面涂布有当照射紫外线时射出可见光的荧光体而成的结构。在这些情况下，如果使设置启动辅助部件一侧的电极为高电压侧，则能够作为照明装置等的光照射装置来使用。

(实施例)

以下，使用实施例对本发明进行详细说明，但是本发明只要未超出其主旨，并不限定于以下的实施例。

<准分子灯的制作>

(实施例1)

首先，通过将直径10mm的石英制玻璃管的一方的端部热熔融而封闭，得到缩径部。接下来，将直径0.5mm的蒸镀用的碳芯切为3mm，并使缩径部为下侧放入所述玻璃管。之后，以高频将所述碳芯加热。在高频下的加热中，仅碳被加热而玻璃管不被加热。因此，碳蒸发并附着于冷的玻璃内表面。其后，将氙与氖的混合气体(xe：ne＝3：7)封入100torr，并通过热熔融将另一方的端部封闭。通过以上步骤，得到了全长为40mm的发光管。需要说明的是，氖是对发光没有贡献的缓冲气体。

接下来，以使电极的间隔(距离y(参照图3(a)))为20mm的方式来左右均等地设置一对电极。通过以上步骤，得到实施例1的准分子灯。需要说明的是，电极的宽度为3mm。其结果，靠近于碳的一方的电极与碳之间的距离a为3mm。制作10个实施例1的准分子灯。

(实施例2)

除了将蒸镀用的碳芯切成5mm以外，与实施例1同样得到实施例2的准分子灯。其结果，靠近于碳的一方的电极与碳的距离a为1mm。制作10个实施例2的准分子灯。

(实施例3)

除了将蒸镀用的碳芯切成6mm以外，与实施例1同样得到实施例3的准分子灯。其结果，靠近于碳的一方的电极与碳的距离a为0mm。需要说明的是，在比靠近于碳的一方的电极靠内侧不存在碳膜。制作10个实施例3的准分子灯。

(实施例4)

除了将蒸镀用的碳芯切成8mm以外，与实施例1同样得到实施例4的准分子灯。结果，靠近于碳的一方的电极与碳的距离a为0mm。进一步地，在比靠近于碳的一方的电极靠内侧处存在2mm的碳膜。制作10个实施例4的准分子灯。

(比较例1)

除了未形成碳的蒸镀膜这一点以外，与实施例1同样得到比较例1的准分子灯。制作10个比较例1的准分子灯。

<启动延迟时间的测定>

对实施例、比较例的准分子灯(各10个)测定从施加高电压开始到绝缘击穿为止的时间(启动延迟时间)。此时，对于实施例1～4，使形成蒸镀膜的一侧的电极为高电压侧。具体而言，首先，在亮光下放置14小时，其后，移动至黑暗环境下由点亮电源施加高电压。作为点亮电源，使用由反激式的变换器、开路电压为+4kv、频率为20kv的电源。将结果显示于图5、图6。

图5、图6是用于评价点亮延迟的劳厄图。横轴表示点亮延迟时间，纵轴使用概率表示点亮延迟时间比由横轴表示的点亮延迟时间慢的准分子灯的个数。图6是将图5的横轴变更后的图。

如图5所示，不具有碳蒸镀膜的比较例1的准分子灯与在比高电压侧电极靠外侧的区域具有碳蒸镀膜的实施例1～4的准分子灯相比较，为启动延迟时间较长的灯较多的趋势。

另外，如图6所示，在实施例1～4的准分子灯中，按照从启动延迟时间较短的灯起的顺序，为实施例2、实施例1、实施例3、实施例4。从实施例1、2与实施例3、4的比较可知距离a(参照图3(a))优选大于0。另外，从实施例1和实施例2的比较可知在距离a为正值的情况下，距离a越小则越优选。另外，从实施例3与实施例4的比较可知优选在比电极靠内侧处不存在碳膜。

标号说明

10臭氧产生装置

12壳体

14保护部(第一保护部14a、第二保护部14b)

16连接部

18开口

20准分子灯

22发光管

24电极(第一电极24a、第二电极24b)

28空间

29启动辅助部件

30圆筒部

31a第一端部

31b第二端部

33a第一缩径部

33b第二缩径部

34a、34b端面

32通风区域

36电装体

38配线