1.一种夹取晶圆的镊子,包括上夹持臂和下夹持臂,上夹持臂的末端和下夹持臂的末端相互连接;其特征在于:还包括保护层、L型限位块、一型限位块和固定销;保护层呈L型并通过固定销活动连接在上夹持臂的前端,上夹持臂具有台阶,下夹持臂具有台面,台阶和台面形成夹持晶圆的空腔;一型限位块固定在台面的侧边,L型限位块固定在上夹持臂台阶的下方并延伸至一型限位块的下方。
2.根据权利要求1所述的一种夹取晶圆的镊子,其特征在于:上夹持臂的前端呈弧形,保护层沿着弧形的上夹持臂设置。
3.根据权利要求1所述的一种夹取晶圆的镊子,其特征在于:在下夹持臂的前端也设有保护层,保护层沿台面延伸覆盖至一型限位块处。
4.根据权利要求1所述的一种夹取晶圆的镊子,其特征在于:在上夹持臂的台阶处也设有保护层。
5.根据权利要求1所述的一种夹取晶圆的镊子,其特征在于:保护层为防静电材料制得。
6.根据权利要求1所述的一种夹取晶圆的镊子,其特征在于:L型限位块与台阶一体成型,一型限位块与台面一体成型。