一种夹取晶圆的镊子的制作方法

文档序号:18875787发布日期:2019-10-15 17:54阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种夹取晶圆的镊子,包括上夹持臂、下夹持臂、保护层、L型限位块、一型限位块和固定销;上夹持臂的末端和下夹持臂的末端相互连接;保护层呈L型并通过固定销活动连接在上夹持臂的前端,上夹持臂具有台阶,下夹持臂具有台面,台阶和台面形成夹持晶圆的空腔;一型限位块固定在台面的侧边,L型限位块固定在上夹持臂台阶的下方并延伸至一型限位块的下方。本实用新型能够在封装制程中较为安全的进行晶圆传输,具有晶圆不破裂,凸点不损伤的优点。

技术研发人员:吴斌;林志东
受保护的技术使用者:厦门市三安集成电路有限公司
技术研发日:2019.03.22
技术公布日:2019.10.15

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