一种用于多晶硅片的脱胶机的制作方法

文档序号:28350118发布日期:2022-01-05 11:39阅读:160来源:国知局
一种用于多晶硅片的脱胶机的制作方法

1.本实用新型涉及多晶硅片领域,具体是一种用于多晶硅片的脱胶机。


背景技术:

2.以硅原料作为原材料进行加工时,需要经过多道步骤,在生产操作中,需要将多晶硅片进行脱胶和清洗后才能够进行使用,且对于这一步骤一般会使用脱胶机进行操作。
3.现有的脱胶机由于内部的喷淋设备不能够调节移动,使得需要操作人员手动对其进行调整,导致脱胶的效率降低,且同时增加了操作人员的工作量,延长了生产时间,进一步增大了制作成本;因此,针对上述问题提出一种用于多晶硅片的脱胶机。


技术实现要素:

4.为了弥补现有技术的不足,解决脱胶效率低下的问题,本实用新型提出一种用于多晶硅片的脱胶机。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种用于多晶硅片的脱胶机,包括脱胶装置和装载盒;所述脱胶装置内部设置有装载盒;所述脱胶装置内部设置有喷淋机构,且喷淋机构包括电机、第一往复丝杆、第二往复丝杆、固定板、管道、喷淋设备和循环泵,所述电机固接于脱胶装置外壁,所述第一往复丝杆转动连接于脱胶装置内部,所述第二往复丝杆转动连接于脱胶装置内部,所述固定板内部通过螺纹连接于第一往复丝杆外壁,所述管道连通固接于脱胶装置外壁,所述喷淋设备固接于管道另一端,所述循环泵固接于管道外壁,所述第一往复丝杆与第二往复丝杆之间通过第一传动组件连接,通过设置有喷淋设备,使得能够对装载盒内部的多晶硅片进行冲洗。
6.优选的,所述脱胶装置内部设置有除杂机构,且除杂机构包括滤网、第三往复丝杆、刮板和吸污泵,所述滤网设置于脱胶装置内部,所述第三往复丝杆转动连接于脱胶装置内部,所述刮板内部通过螺纹连接于第三往复丝杆外壁,所述吸污泵连通固接于脱胶装置外壁,所述第一往复丝杆与第三往复丝杆之间通过第二传动组件连接,通过刮板令脱胶装置内部底端的沉淀物进行刮除,避免脱胶装置内部底端污垢过多,导致后续操作人员清理不便。
7.优选的,所述滤网一端插设于脱胶装置内部,且滤网内部插设有插杆,所述插杆顶端固接有弹簧,使得滤网能够取下,并可以进行清洁,避免滤网长时间使用后产生堵塞,提高滤网的使用效果。
8.优选的,所述喷淋设备下端设置有雾化喷头,通过设置有雾化喷头,使得能够进一步对药剂进行雾化,从而对多晶硅片表面清除的更加彻底。
9.优选的,所述刮板外壁设置有清洁毛刷,通过刮板外壁设置有清洁毛刷,使得能够提高刮板对脱胶装置内部底端的清洁效果。
10.优选的,所述插杆外壁胶粘有橡胶套,通过插杆外壁设置有橡胶垫套,使得操作人员在进行拉取插杆时,手部能够更加舒适。
11.本实用新型的有益之处在于:
12.1.本实用新型通过启动电机带动第一往复丝杆转动,通过第一传动组件使得第二往复丝杆同步转动,令固定板进行移动,通过设置有喷淋设备,使得能够对装载盒内部的多晶硅片进行冲洗,实现了喷淋设备往复清洁的功能,解决了脱胶效率低下的问题,提高了脱胶装置的效率;
13.2.本实用新型通过设置有滤网,使得能够避免脱胶装置内部的杂物进入管道内部,通过第二传动机构,带动第三往复丝杆进行转动,使得刮板进行移动,通过刮板令脱胶装置内部底端的沉淀物进行刮除,实现了杂物清除的功能,解决了脱胶装置内部沉淀污垢清理不便的问题,提高了脱胶装置的适应性。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
15.图1为实施例一的脱胶装置立体结构示意图;
16.图2为实施例一的脱胶装置正视剖面结构示意图;
17.图3为实施例一的第一往复丝杆和第二往复丝杆俯视结构示意图;
18.图4为实施例一的图2中a处结构示意图;
19.图5为实施例二的滑珠的结构示意图。
20.图中:1、脱胶装置;2、装载盒;3、电机;4、第一往复丝杆;5、第二往复丝杆;6、固定板;7、管道;8、喷淋设备;9、循环泵;10、滤网;11、第三往复丝杆;12、刮板;13、吸污泵;14、插杆;15、弹簧;16、滑珠。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.实施例一
23.请参阅图1

4所示,一种用于多晶硅片的脱胶机,包括脱胶装置1和装载盒2;所述脱胶装置1内部设置有装载盒2;所述脱胶装置1内部设置有喷淋机构,且喷淋机构包括电机3、第一往复丝杆4、第二往复丝杆5、固定板6、管道7、喷淋设备8和循环泵9,所述电机3固接于脱胶装置1外壁,所述第一往复丝杆4转动连接于脱胶装置1内部,所述第二往复丝杆5转动连接于脱胶装置1内部,所述固定板6内部通过螺纹连接于第一往复丝杆4外壁,所述管道7连通固接于脱胶装置1外壁,所述喷淋设备8固接于管道7另一端,所述循环泵9固接于管道7外壁,所述第一往复丝杆4与第二往复丝杆5之间通过第一传动组件连接;工作时,通过把需加工的多晶硅片放置在装载盒2内部,启动电机3带动第一往复丝杆4转动,通过第一传动组件使得第二往复丝杆5同步转动,令固定板6进行移动,通过设置有喷淋设备8,使得能够
对装载盒2内部的多晶硅片进行冲洗,且由于装载盒2内置于脱胶装置1内部,导致多晶硅片一部分可浸泡于清洁药剂内部,配合喷淋设备8使用可令脱胶的效果提高,通过设置有雾化喷头,使得能够进一步对药剂进行雾化,从而对多晶硅片表面清除的更加彻底,通过设置有循环泵9,使得通过管道7汲取脱胶装置1内部的药剂对多晶硅片表面进行清除,提高了药剂的使用效果。
24.所述脱胶装置1内部设置有除杂机构,且除杂机构包括滤网10、第三往复丝杆11、刮板12和吸污泵13,所述滤网10设置于脱胶装置1内部,所述第三往复丝杆11转动连接于脱胶装置1内部,所述刮板12内部通过螺纹连接于第三往复丝杆11外壁,所述吸污泵13连通固接于脱胶装置1外壁,所述第一往复丝杆4与第三往复丝杆11之间通过第二传动组件连接;工作时,通过设置有滤网10,使得能够避免脱胶装置1内部的杂物进入管道7内部从而引发堵塞的问题,通过第二传动机构,带动第三往复丝杆11进行转动,使得刮板12进行移动,通过刮板12令脱胶装置1内部底端的沉淀物进行刮除,避免脱胶装置1内部底端污垢过多,导致后续操作人员清理不便,通过刮板12外壁设置有清洁毛刷,使得能够提高刮板12对脱胶装置1内部底端的清洁效果。
25.所述滤网10一端插设于脱胶装置1内部,且滤网10内部插设有插杆14,所述插杆14顶端固接有弹簧15;工作时,通过拉取插杆14,使得插杆14对弹簧15产生挤压,令插杆14脱离滤网10内部,从而使得滤网10可进行拆除,令滤网10能够取下后进行清洁,避免滤网10长时间使用后产生堵塞,提高滤网10的使用效果,通过插杆14外壁设置有橡胶垫套,使得操作人员在进行拉取插杆14时,手部能够更加舒适。
26.所述喷淋设备8下端设置有雾化喷头;工作时,通过设置有雾化喷头,使得能够进一步对药剂进行雾化,从而对多晶硅片表面清除的更加彻底。
27.所述刮板12外壁设置有清洁毛刷;工作时,通过刮板12外壁设置有清洁毛刷,使得能够提高刮板12对脱胶装置1内部底端的清洁效果。
28.所述插杆14外壁胶粘有橡胶套;工作时,通过插杆14外壁设置有橡胶垫套,使得操作人员在进行拉取插杆14时,手部能够更加舒适。
29.所述第一传动组件包括第一皮带轮、第二皮带轮和第一传送带,所述第一往复丝杆4外壁固接有第一皮带轮,所述第二往复丝杆5外壁固接有第二皮带轮,所述第一皮带轮与第二皮带轮之间缠绕有第一传送带。
30.所述第二传动组件包括第三皮带轮、第四皮带轮和第二传送带,所述第一往复丝杆4外壁固接有第三皮带轮,所述第三往复丝杆11外壁固接有第四皮带轮,所述第三皮带轮与第四皮带轮之间缠绕有第二传送带。
31.实施例二
32.请参阅图5所示,对比实施例一,作为本实用新型的另一种实施方式,所述刮板12内部通过转轴活动连接有滑珠16,且滑珠16底端贴合于脱胶装置1内壁;工作时,通过设置有滑珠16,使得刮板12在脱胶装置1内部移动时,能够通过滑珠16的转动减少刮板12与脱胶装置1之间的摩擦,从而减少刮板12受到的磨损,进一步延长装置的使用寿命。
33.工作原理,通过把需加工的多晶硅片放置在装载盒2内部,启动电机3带动第一往复丝杆4转动,通过第一传动组件使得第二往复丝杆5同步转动,令固定板6进行移动,通过设置有喷淋设备8,使得能够对装载盒2内部的多晶硅片进行冲洗,且由于装载盒2内置于脱
胶装置1内部,导致多晶硅片一部分可浸泡于清洁药剂内部,配合喷淋设备8使用可令脱胶的效果提高,通过设置有雾化喷头,使得能够进一步对药剂进行雾化,从而对多晶硅片表面清除的更加彻底,通过设置有循环泵9,使得通过管道7汲取脱胶装置1内部的药剂对多晶硅片表面进行清除,提高了药剂的使用效果。
34.通过设置有滤网10,使得能够避免脱胶装置1内部的杂物进入管道7内部从而引发堵塞的问题,通过拉取插杆14,使得插杆14对弹簧15产生挤压,令插杆14脱离滤网10内部,从而使得滤网10可进行拆除,令滤网10能够取下后进行清洁,避免滤网10长时间使用后产生堵塞,提高滤网10的使用效果,通过插杆14外壁设置有橡胶垫套,使得操作人员在进行拉取插杆14时,手部能够更加舒适,通过第二传动机构,带动第三往复丝杆11进行转动,使得刮板12进行移动,通过刮板12令脱胶装置1内部底端的沉淀物进行刮除,避免脱胶装置1内部底端污垢过多,导致后续操作人员清理不便,通过刮板12外壁设置有清洁毛刷,使得能够提高刮板12对脱胶装置1内部底端的清洁效果。
35.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
36.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
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