技术特征：
1.一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，包括以下步骤：(1)将载有硅片的舟送入炉管中；(2)抽真空，检漏；(3)升温至800-810℃，通入n2，炉管压力为150-180mbar；(4)在800-810℃下，通入n2，o2，进行氧化；(5)升温至800-810℃后，通入n2、o2、硼源，炉管压力为150-180mbar；(6)升温至830-840℃后，通入n2、o2、硼源，炉管压力为150-180mbar；(7)升温至850-860℃后，通入n2、o2、硼源，炉管压力为150-180mbar；(8)升温至950-960℃，升温过程中通入n2，炉管压力为400-450mbar；(9)950-960℃恒温推进，用时时20-23min，推进过程中通入n2，炉管压力为400-450mbar；(10)升温到1040～1050℃，升温过程中通入n2、o2，炉管压力为600-650mbar；(11)在1040-1050℃下进行氧化20-22min，氧化过程中通入n2，o2，炉管压力为600-650mbar；(12)在1040-1050℃下进行氧化40-42min，氧化过程中通入h2，o2，炉管压力为250-300mbar；(13)从1040-1050℃降温至800℃，降温过程中通入氮气，氧气，压力600-650mbar；(14)破真空至常压。(15)出舟。2.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(3)中，由700℃-710℃斜率升温至800-810℃，用时12-15min。3.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(4)中，通入n2、o2的流量分别为1000-1100sccm、2000-2100sccm，通入10-12min。4.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(5)中，硼源为bcl3或/和bbr3。5.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(5)中，通入n2、o2、硼源的流量分别为：1500-1600sccm、540-560sccm、200-250sccm，通入时间为2-3min。6.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(10)中，由950-960℃斜率升温到1040～1050℃，用时10-12min。7.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(10)中，通入n2、o2的流量分别为：1000-1100sccm、10000-11000sccm，通入时间为10-13min。8.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(11)中，通入n2、o2的流量分别为1000-1100sccm、10000-11000sccm。9.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(12)中，通入h2，o2的流量分别为1500-1700sccm、3500-3700sccm。10.根据权利要求1所述的一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，步骤(13)中，通入氮气、氧气的流量分别为100-500sccm、10000-11000sccm，通入时间为30-35min。
技术总结
本发明公开了一种新型硼扩散湿氧工艺，本发明采用H2+O2进行湿法氧化工艺，两者在一定的压力和温度下生成水蒸气，水蒸气可以溶解管壁上的B2O3，再通过尾排泵的抽空系统排出管外，多余的水蒸气会经过尾排管路，同样对尾排管路和泵中残余的B2O3进行清理，进一步延长了设备的维护时间。设备的维护时间。设备的维护时间。
技术研发人员：林佳继 祁文杰 刘群 梁笑 毛文龙 范伟
受保护的技术使用者：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2022/6/28